
1.磁懸浮分子泵是為滿足半導體刻蝕、離子注入、
薄膜沉積、太陽能光伏、鋰電負荷集流體、真空鍍膜、科學研究等領域開發(fā)的真空獲得設備
2.磁軸承控制技術(shù):為五自由度電磁軸承,利用控制理論,采用動態(tài)主動閉路磁浮控制技術(shù),實現(xiàn)動態(tài)反應迅速、調(diào)節(jié)及時,保證高速運轉(zhuǎn)軸系具有懸浮穩(wěn)定、運轉(zhuǎn)可靠等顯著優(yōu)點
3.電機驅(qū)動控制技術(shù):系列磁懸浮分子泵全部采用高效高速直流電機和伺服控制系統(tǒng),使得電機能量轉(zhuǎn)化、軸系轉(zhuǎn)速自動補償,實現(xiàn)啟動平穩(wěn)、運轉(zhuǎn)可靠、動態(tài)能量自動調(diào)節(jié)功能
適用于:
半導體
太陽能電池
玻璃
加速器
等離子技術(shù)
制燈
真空檢漏


















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