JJF1306-2011 X射線熒光鍍層測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范
貨號AUBAT-1306X
厚度標(biāo)準(zhǔn)塊（片）
1級或2級；校準(zhǔn)厚度測量重復(fù)性；示值誤差；示值穩(wěn)定性；
X 射線熒光鍍層測厚儀是一種基于能量色散方法的非破壞性定量分析儀器，具有分析測量多種金屬材料成份和多種鍍層厚度的功能，廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、首飾、材料分析等行業(yè)。X 射線熒光鍍層測厚儀測量鍍層厚度的原理:X 射線管產(chǎn)生的初級 X射線照射在被分析的樣品上，樣品受激發(fā)而輻射出二次 X 射線被探測器接收，此二次輻射具有該樣品材料的波長和能量特征，鍍層厚度和二次輻射強(qiáng)度有一定的關(guān)系，經(jīng)多道分析器及計算機(jī)進(jìn)行能譜分析處理后，計算被測樣品的鍍層厚度。
校準(zhǔn)方法：
1厚度測量重復(fù)性
在儀器的有效測量范圍內(nèi)，選取一個厚度標(biāo)準(zhǔn)塊 (片)，其厚度值大約分布在儀器二分之一量程處，厚度標(biāo)準(zhǔn)塊 (片) 的材料的選用與儀器實際測量應(yīng)用相一致，調(diào)用相應(yīng)測量程序，重復(fù)測量該厚度標(biāo)準(zhǔn)塊 (片) 10 次，記錄儀器測量顯示值 h， 計算實驗標(biāo)準(zhǔn)偏差。
2示值穩(wěn)定性
選用 1 塊厚度標(biāo)準(zhǔn)塊(片)，其厚度值大約分布在儀器二分之一量程處。在 1 h 內(nèi)每隔 15 min 測量 1組并記錄儀器讀數(shù)，每組測量 10 次，取其平均值作為該組測量結(jié)果，共測量 5 組，5 組測量結(jié)果中*大*小差值除以厚度標(biāo)準(zhǔn)塊 (片) 的實際厚度值的百分?jǐn)?shù)即為儀器的相對示值穩(wěn)定性。
單次測量時間應(yīng)不小于 30 s，準(zhǔn)直器大小的選擇應(yīng)與實際測量應(yīng)用時相一致。
3厚度測量示值誤差
貨號AUBAT-1306X
厚度標(biāo)準(zhǔn)塊（片）
1級或2級；校準(zhǔn)厚度測量重復(fù)性；示值誤差；示值穩(wěn)定性；
X 射線熒光鍍層測厚儀是一種基于能量色散方法的非破壞性定量分析儀器，具有分析測量多種金屬材料成份和多種鍍層厚度的功能，廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、首飾、材料分析等行業(yè)。X 射線熒光鍍層測厚儀測量鍍層厚度的原理:X 射線管產(chǎn)生的初級 X射線照射在被分析的樣品上，樣品受激發(fā)而輻射出二次 X 射線被探測器接收，此二次輻射具有該樣品材料的波長和能量特征，鍍層厚度和二次輻射強(qiáng)度有一定的關(guān)系，經(jīng)多道分析器及計算機(jī)進(jìn)行能譜分析處理后，計算被測樣品的鍍層厚度。
校準(zhǔn)方法：
1厚度測量重復(fù)性
在儀器的有效測量范圍內(nèi)，選取一個厚度標(biāo)準(zhǔn)塊 (片)，其厚度值大約分布在儀器二分之一量程處，厚度標(biāo)準(zhǔn)塊 (片) 的材料的選用與儀器實際測量應(yīng)用相一致，調(diào)用相應(yīng)測量程序，重復(fù)測量該厚度標(biāo)準(zhǔn)塊 (片) 10 次，記錄儀器測量顯示值 h， 計算實驗標(biāo)準(zhǔn)偏差。
2示值穩(wěn)定性
選用 1 塊厚度標(biāo)準(zhǔn)塊(片)，其厚度值大約分布在儀器二分之一量程處。在 1 h 內(nèi)每隔 15 min 測量 1組并記錄儀器讀數(shù)，每組測量 10 次，取其平均值作為該組測量結(jié)果，共測量 5 組，5 組測量結(jié)果中*大*小差值除以厚度標(biāo)準(zhǔn)塊 (片) 的實際厚度值的百分?jǐn)?shù)即為儀器的相對示值穩(wěn)定性。
單次測量時間應(yīng)不小于 30 s，準(zhǔn)直器大小的選擇應(yīng)與實際測量應(yīng)用時相一致。
3厚度測量示值誤差
首行儀器基準(zhǔn)光譜的標(biāo)定，再按儀器實際應(yīng)用范圍，選取相應(yīng)材料的 1~5 個標(biāo)準(zhǔn)厚度塊，分別對每個厚度標(biāo)準(zhǔn)塊重復(fù)測量 3 次并記錄儀器示值，計算算術(shù)平均值h作為該點位的測量結(jié)果，各點位的算術(shù)平均值h 與厚度標(biāo)準(zhǔn)塊的實際值 H,的差值，即為該點位的示值誤差。
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