JJF1682-2017光柵式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范

貨號(hào)：AUBAT-1682G

1.斜塊螺旋副式測(cè)微儀檢定器

校準(zhǔn)5μm級(jí)10μm級(jí)示值誤差； 范圍10μm內(nèi)示值誤差 ≦0.25μm

2.鋼性表架（有帶筋工作臺(tái)）AUBAT-C100T

校準(zhǔn)漂移

JJF1682-2017光柵式測(cè)微儀校準(zhǔn)規(guī)范適用于0.1μm級(jí)行程為0~10mm、0.2μm級(jí)行程為0~25mm、0.5μm級(jí)行程為0~50mm、1μm級(jí)~10μm級(jí)行程為0~100mm的光柵式測(cè)微儀校準(zhǔn)。光柵式測(cè)微儀 (簡(jiǎn)稱測(cè)微儀) 也稱光柵測(cè)微儀、光柵長(zhǎng)度計(jì)或光電測(cè)長(zhǎng)儀，是以光柵副作為測(cè)量元件，將線位移量轉(zhuǎn)換為光電信號(hào)，經(jīng)電路處理并以數(shù)字顯示位移量的一種長(zhǎng)度精密測(cè)量?jī)x器。測(cè)微儀按其結(jié)構(gòu)分為整體式和分體式兩類。整體式測(cè)微儀的傳感器與顯示單元在一整體上。分體式測(cè)微儀主要由傳感器(含信號(hào)電纜)和數(shù)顯表兩部分組成。

校準(zhǔn)方法:

1.量塊-測(cè)微儀檢定器組合法

適用于準(zhǔn)確度級(jí)別為 2μm級(jí)~10μm級(jí)測(cè)微儀示值誤

差范圍的校準(zhǔn)。將測(cè)微儀安裝在分度值為 0.2μm的斜塊螺旋副式測(cè)微儀檢定器 (簡(jiǎn)稱檢定器) 上，轉(zhuǎn)動(dòng)檢定器微分筒使檢定器示值為其量程中間位置 (零位)，在檢定器工作臺(tái)面上放置零位量塊 (1 mm 量塊)，調(diào)整表架使測(cè)微儀位于距*大量程約 0.1 mm 處測(cè)微儀測(cè)頭位于量塊中心，測(cè)微儀置零。取下零位量塊并依次在檢定器工作臺(tái)面上放置不同尺寸的量塊并記錄測(cè)微儀示值(按測(cè)微儀行程等間隔分布受檢點(diǎn)，受檢點(diǎn)不應(yīng)少于5 個(gè))，測(cè)微儀各測(cè)點(diǎn)示值誤差。

2.漂移

將測(cè)微儀安裝在鋼性表架（有帶筋工作臺(tái)），使測(cè)微儀測(cè)桿軸線垂直于帶筋工作臺(tái)，將測(cè)微儀測(cè)桿壓縮至測(cè)微儀 1/3 行程左右位置且測(cè)微儀測(cè)頭觸及帶筋工作臺(tái)筋條中心，開機(jī) 15 min后每 10 min 記錄一次測(cè)微儀示值，取 1 h 內(nèi)測(cè)微儀示值*大值與*小值之差作為校準(zhǔn)結(jié)果

3.垂直測(cè)量法

鋼性表架法（有帶筋工作臺(tái)）

將測(cè)微儀安裝在剛性表架上，使測(cè)微儀測(cè)桿軸線垂直于表架工作臺(tái)，在測(cè)頭與工作臺(tái)之間放置量塊，調(diào)整表架使測(cè)微儀位于 2/3 行程位置且測(cè)頭觸及量塊中心，提升測(cè)微儀測(cè)桿重復(fù)測(cè)量 9 次，以測(cè)微儀讀數(shù)*大值與*小值之差除以 3 作為校準(zhǔn)結(jié)果。