JJF1944-2021電容式測微儀校準(zhǔn)規(guī)范

貨號：AUBAT-1944D

斜塊式測微儀檢定器

小角度檢查儀

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JJF1944-2021電容式測微儀校準(zhǔn)規(guī)范用于量程為 20 pm~10 mm，分辨力為 1nm~1μm 的電容式測微儀的校準(zhǔn)。電容式測微儀(簡稱測微儀) 是采用電容調(diào)頻或電容運算原理的一種非接觸式尺寸精密測量儀器，適用于航空、醫(yī)療、精密制造等行業(yè)中的幾何量測量。

計量特性

1.重復(fù)性 測微儀的重復(fù)性應(yīng)不大于 0.01% FS。

2.示值誤差 測微儀的*大允許誤差 MPE: 0.1% FS

3.穩(wěn)定性 測微儀的穩(wěn)定性在 4 h 內(nèi)應(yīng)不大于 2 nm+0.02% FS。

校準(zhǔn)方法：

1.重復(fù)性

斜塊式測微儀檢定器法將裝夾在斜塊式測微儀檢定器上的測頭，對準(zhǔn)放在工作臺上的(3~5)mm 范圍內(nèi)意一塊 5 等量塊，調(diào)整測頭垂直位移，使儀器示值顯示在測量范圍內(nèi)。在工作條件不變的情況下推動量塊，對同一受檢點連續(xù)測量 5 次，以公式 計算重復(fù)性。

2.示值誤差

量塊測量法適用于分辨力大于或等于 10 nm，景程2 mm 的測微儀，見圖 3所示校準(zhǔn)前，在小角度檢查儀的左右兩指示計等架孔中，分別裝上接觸式干涉儀光管.并將孔距為(50士0.02)mm 的夾具，裝在左端接觸式干涉儀光管上。在夾具左端的孔中裝上測微儀的測頭，經(jīng)調(diào)整，使測頭軸線與兩個接觸式干涉儀光管軸線共面。小角度檢查儀經(jīng)過上述調(diào)整，構(gòu)成了 50:500 即 1:10 的杠桿機(jī)構(gòu)，借助框式水平儀調(diào)整橋形工作臺使其臺面基本水平。儀器調(diào)整好后，根據(jù)被校儀器的分辨力和量程選用相應(yīng)尺寸的量塊進(jìn)行校準(zhǔn)。受校點應(yīng)不少于 5點，在量程內(nèi)均勻分布。

3.穩(wěn)定性

將測微儀裝夾和調(diào)整好傳感器，示值穩(wěn)定后，記錄測微儀的**次示值，然后每隔 1 h 記錄一次示值，連續(xù)觀察 4 ，取測微儀示值的*大值與*小值之差為穩(wěn)定性。允許使用滿足要求的其他穩(wěn)定性校準(zhǔn)裝置