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英國Oxford OpAL 開放式樣品載入原子沉積(ALD)設備

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市藍星宇電子科技有限公司
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2021/7/13 20:22:48
  • 訪問次數(shù)295
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深圳市藍星宇電子科技有限公司,經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術沉淀,可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務,研發(fā)設計組裝:紫外臭氧清洗機(UV清洗機),準分子清洗機,等離子清洗機/去膠機等科研以及生產(chǎn)設備,擁有自主品牌及注冊商標。 同時我們代理歐美日多家高科技設備廠家高性價比產(chǎn)品, 始終堅持創(chuàng)新, 技術, 服務, 誠信的企業(yè)文化,為廣大中國及海外客戶提供的儀器設備和材料的整體解決方案。 應用領域: 半導體/微納,光電/光學, 生命科學/生物醫(yī)療等領域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構(gòu)等。 半導體/微納,光電/光學 產(chǎn)品主要有: 德國ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機,電子束光刻機, 激光直寫光刻機,紫外光刻機,微納3D打印機,德國Sentech刻蝕機/鍍膜機及原子沉積,英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機,微波離子沉積機MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機,電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機/UV清洗燈,美國Jelight紫外清洗機/紫外燈管,德國Diener等離子清洗機等*技術產(chǎn)品。 生命科學/生物醫(yī)療 產(chǎn)品主要有:PCR儀,核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測儀,電子顯微鏡,紫外設備,光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實驗耗材等。 并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關產(chǎn)品。我們以高性價比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務,為高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構(gòu)等客戶提供儀器設備和材料。
電子顯微鏡
英國Oxford OpAL 開放式樣品載入原子沉積(ALD)設備,提供了專業(yè)的熱ALD設備,可以簡單明了的升級使用等離子體,使得在同一緊湊設備中集成了等離子體和熱ALD。
英國Oxford OpAL 開放式樣品載入原子沉積(ALD)設備 產(chǎn)品信息

英國Oxford OpAL 開放式樣品載入原子沉積(ALD)設備


緊湊型開放式樣品載入原子層沉積(ALD)系統(tǒng)

OpAL提供了專業(yè)的熱ALD設備,可以簡單明了的升級使用等離子體,使得在同一緊湊設備中集成了等離子體和熱ALD。

開放式樣品載入熱ALD,集成等離子體技術
現(xiàn)場升級到可使用等離子體
從小晶片到200mm大晶片

適用于學術、產(chǎn)業(yè)、研發(fā)的熱和/或等離子體化學產(chǎn)品,可用于:

氧化物: HfO2, Al2O3, TiO2, SiO2, ZnO, Ta2O5
氮化物:TiN, Si3N4
金屬: Ru, Pt

ALD應用舉例:

納米電子學
高k柵極氧化物
存儲電容器絕緣層-銅連線間的高縱橫比擴散勢壘區(qū)
有機發(fā)光二極管和聚合物的無針孔鈍化層
鈍化晶體硅太陽能電池
應用于微流體和MEMS的高保形涂層
納米孔結(jié)構(gòu)的涂層
生物微機電系統(tǒng)
燃料電池

直觀性強的的軟件提高性能

使用與牛津儀器的值得信賴的Plasmalab ®產(chǎn)品家族相同的軟件平臺, OpAL的程序驅(qū)動、多用戶級別、PC2000TM控制的軟件易于操作且可為快速ALD做相應修改。

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