法國Plassys微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng) SSDR 150

SSDR150 微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)專門用于合成 CVD 金剛石薄膜，能夠制備高純單晶(需高純氣源）、厚單晶、大單晶、多晶薄膜、光學級窗口。SSDR150 不斷優(yōu)化的微波及等離子體設(shè)計，是一款可靠的、穩(wěn)定的、長時間運行的金剛石薄膜生長系統(tǒng)，能夠地適用于高校科研和企業(yè)生產(chǎn)。

SSDR150 系統(tǒng)特點

。 鋁合金腔體+內(nèi)置石英管反應(yīng)室，支持長時間高功率下工作

。工藝氣壓可達 350 mbar 或更高，可以高速率生長單晶

。微波源為 2.45GHz、功率 6 kW，高耦合效率

。標準配置 4 條氣路，最多可增加至 7 條氣路（摻雜氣路）

。2 英寸水冷樣品臺，高度電動可調(diào)、精度優(yōu)于 10μm (可選)

。雙色紅外高溫計測試樣品表面溫度，范圍 475-1475 °C

。愛德華茲分子泵+ 干泵，真空度≤ 3×10-7 mbar

。高水平金剛石生長工藝培訓及演示（內(nèi)容根據(jù)應(yīng)用而定）

。全自動控制、半自動和手動可用，圖形化操作界面（GUI）

。多級用戶設(shè)置和管理、遠程診斷和維護、數(shù)據(jù)導出接口

。多用途：高純度單晶、厚單晶、大單晶、摻雜、光學窗口

。設(shè)備維護少、安全、可靠、穩(wěn)定、性價比高

應(yīng)用領(lǐng)域

。切削刀具、耐磨涂層、熱沉材料、SAW

。光學窗口、激光晶體、電化學電極、CNT

。生物傳感器、微機電系統(tǒng)、光電探測器

。商用寶石、低壓高溫退火處理、量子計算

SSDR150 性能表現(xiàn)

多晶金剛石:

• 液氮溫度下 PL 檢測 無明顯氮
• 生長速率: 高達 10 μm/h, 取決于生長工藝