過濾精度0.003μm *流量500~3,000L/min
● 超大流量
適用于輸入側(cè)一次性流量在500~3,000?/min的大型氣體管線場合。
● 高過濾精度
0.003μm的高過濾精度,使用脈動性強的陶瓷元素,幾乎不會堵塞,因此幾乎沒有必要進行定期性的維護。
● 高性能
的200℃烘烤加熱器(可選項),能把水分、氧等成分控制在ppb以下。
規(guī)格:

過濾精度0.003μm *流量500~3,000L/min
● 超大流量
適用于輸入側(cè)一次性流量在500~3,000?/min的大型氣體管線場合。
● 高過濾精度
0.003μm的高過濾精度,使用脈動性強的陶瓷元素,幾乎不會堵塞,因此幾乎沒有必要進行定期性的維護。
● 高性能
的200℃烘烤加熱器(可選項),能把水分、氧等成分控制在ppb以下。
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