小型等離子體清洗設(shè)備，傳統(tǒng)等離子體清洗設(shè)備設(shè)計(jì)理念，采用頂置真空倉(cāng)，上開(kāi)蓋下壓式鉸鏈開(kāi)關(guān)方式，上置式360度自由取放樣品托盤設(shè)計(jì)，具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積，使用成本低，性價(jià)比高，處理快速高效，特別適合于大學(xué)，科研院所和光電企業(yè)實(shí)驗(yàn)室使用。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

u 數(shù)字流量計(jì)控制，控制更準(zhǔn)確。

u 電容式等離子激發(fā)方式。

u 符合人體功能學(xué)的60度傾角操作界面設(shè)計(jì)，操作方便，界面友好。

u 頂置真空倉(cāng)，上開(kāi)蓋設(shè)計(jì)，下壓式鉸鏈開(kāi)關(guān)方式。

u 上置式360度自由水平取放樣品托盤設(shè)計(jì)，符合人體功能學(xué)，操作更方便。