HUPF 過濾器采用了緊湊型設計，材質選用超純 PFA，提供出色的機械特性和抗化學性能，無需使

用任何金屬組件 , 適用于微電子半導體制程強酸、強堿等濕電子化學品過濾。

產品特點

緊湊型設計，安裝空間要求低

存液量低，物料浪費少

無金屬組件

化學相容性廣泛

鎖緊環(huán)緊固濾芯

極低的金屬離子析出

在潔凈室內清洗和包裝

典型應用

強酸、強堿過濾

高溫過濾

刻蝕液、清洗液過濾

技術參數(shù)

• 底座材質：PFA
• 筒體材質：PFA
• 堵頭：PFA
• 鎖緊卡圈：PVDF
• 螺母：PVDF
• 安裝方式：進 / 出口：3/4"、1"；排氣 / 排液口：1/4"、1/2"
• 接口形式：擴口，入珠
• 濾芯插孔：222
• 工作壓力：3bar@100℃；7.6bar@25℃
• 使用溫度：100℃