詳細(xì)介紹
FG10/15 超純氣體過濾器專為電子級(jí)氣體超純凈化開發(fā)設(shè)計(jì),過濾精度可達(dá) 1.5nm。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊,
強(qiáng)度高,與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性。推薦用于惰性和反應(yīng)性氣體。
產(chǎn)品特點(diǎn)
316L 不銹鋼電子級(jí)拋光外殼
高通量低壓損
優(yōu)異的化學(xué)相容性
耐高溫、高壓
100%完整性測(cè)試
100%氦氣泄漏測(cè)試
潔凈室制造和包裝
典型應(yīng)用
晶圓制程 PVD、
CVD、刻蝕、
離子注入等工藝氣體過濾
技術(shù)參數(shù)
- 濾材:聚四氟乙烯(PTFE)
- 骨架與端蓋:可熔性聚四氟乙烯(PFA)
- O型圈:全氟醚橡膠(FFKM)
- 殼體:方案一:低硫316L;方案二:超純316L(VAR/VIM+VAR)
- 表面處理:外表面:Ra<1.6μm;內(nèi)表面:電解拋光,Ra<0.2μm
- 顆粒攔截粒徑:≥1.5nm
- 顆粒攔截效率:≥99.9999999%(9 LRV)@30 slpm
- 氮?dú)庑孤堵剩候?yàn)證漏率:2×10?¹?atm.cc/sec;測(cè)試漏率:1×10??atm.cc/sec
- 進(jìn)口壓力:207bar@23℃
- 正向壓差:4bar@23℃
- 反向壓差:0.7bar@23℃
- 使用溫度:120℃
- 流量范圍:0~60slpm
- 下游潔凈度:顆粒釋放:<0.03 particles/liter(<1 particle/ft³)@>0.01μm;揮發(fā)物:<10 ppb moisture
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