FG30 在線式超純氣體過濾器，專為大流量電子級(jí)氣體超純凈化開發(fā)設(shè)計(jì)，過濾精度可達(dá) 1.5nm。

設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，強(qiáng)度高，與多數(shù)類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性。推薦用于大宗氣體及惰

性氣體。

產(chǎn)品特點(diǎn)

316L 不銹鋼電子級(jí)拋光外殼

高通量低壓損

優(yōu)異的化學(xué)相容性

耐高溫、高壓

100％完整性測試

100％氦氣泄漏測試

潔凈室制造和包裝

技術(shù)參數(shù)

• 濾材：聚四氟乙烯（PTFE）
• 骨架：聚丙烯（PP）
• O - 型圈：三元乙丙橡膠（EPDM）
• 殼體：方案一：低硫316L；方案二：超純316L（VAR/VIM+VAR）
• 表面處理：外表面：車加工原面，Ra＜1.6μm；內(nèi)表面：拋光+電解，Ra＜0.6μm
• 顆粒攔截粒徑：≥1.5nm
• 顆粒攔截效率：≥99.999999%（9 LRV）@300 slpm（參考MPPS，所有顆粒）
• 氦氣泄露率：驗(yàn)證漏率：2 × 10?¹? atm.cc/sec；測試漏率：1 × 10?? atm.cc/sec
• 正向壓差：4.1 bar@23℃
• 反向壓差：0.7bar@23℃
• 使用溫度：60℃
• 流量范圍：N款：0~1500slpm；L款：0~3000slpm