FPLF 系列光化學(xué)過濾器為三角形排布接口，搭配管路接頭均可實(shí)現(xiàn)快速拆裝，適用于去離子水、顯影液、

光抗蝕劑等光化學(xué)試劑，應(yīng)用范圍廣泛。

化學(xué)兼容性： 顯影液、光抗蝕劑等光化學(xué)試劑

產(chǎn)品特點(diǎn)

低析出： 金屬離子、有機(jī)物、非揮發(fā)性

殘留物物質(zhì)低析出管控。

超凈工藝： 加強(qiáng)清洗技術(shù)減少顆粒脫落和微氣泡形成。

靈活適配： 多種膜材料（UPE、Nylon、

PTFE）和截留精度（3 nm 至 200 nm）可選。

典型應(yīng)用

光刻膠

顯影液

溶劑類

技術(shù)參數(shù)

濾材

超高分子量聚乙烯、尼龍、

疏水聚四氟乙烯（UPE、Nylon、PTFE）

骨架與端蓋

聚乙烯（PP）

支撐與分水層

聚乙烯（PP）

密封圈

全氟醚（FFKM）

使用溫度40℃

正向壓差

2.7bar@25℃

操作壓力

3.4bar@25℃

有效過濾面積

800 cm² 至 3200 cm²