FPLE 系列光化學(xué)過濾器為一字型排布接口，搭配管路接頭均可實(shí)現(xiàn)快速拆裝，適用于去離子水、顯影液、

光抗蝕劑等光化學(xué)試劑，應(yīng)用范圍廣泛。

產(chǎn)品特點(diǎn)

化學(xué)兼容性： 顯影液、光抗蝕劑等光化學(xué)試劑

低析出： 金屬離子、有機(jī)物、非揮發(fā)性

殘留物物質(zhì)低析出管控。

超凈工藝： 加強(qiáng)清洗技術(shù)減少顆粒脫落

和微氣泡形成。

靈活適配： 多種膜材料（UPE、Nylon、

PTFE）和截留精度（3 nm 至 200 nm）可選

技術(shù)參數(shù)

• ‌濾材‌：超高分子量聚乙烯、尼龍、疏水聚四氟乙烯（UPE、Nylon、PTFE）
• ‌骨架與端蓋‌：高密度聚乙烯（HDPE）
• ‌支撐與分水層‌：高密度聚乙烯（HDPE）
• ‌密封圈‌：全氟醚（FFKM）
• ‌使用溫度‌：40℃
• ‌操作壓力‌：3.4bar@25℃
• ‌正向壓差‌：2.7bar@25℃
• ‌有效過濾面積‌：3000 cm² 至 3200 cm²