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高純氣體過濾器 FG30

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：張培查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-05-26 08:33:58瀏覽次數(shù)：84次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：183條

所在地區(qū)：江蘇無錫市

聯(lián)系人：張培 （醫(yī)藥行業(yè)經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

FG30在線式超純氣體過濾器，專為大流量電子級氣體超純凈化開發(fā)設(shè)計，過濾精度可達(dá)1.5nm

詳細(xì)介紹

FG30 在線式超純氣體過濾器，專為大流量電子級氣體超純凈化開發(fā)設(shè)計，過濾精度可達(dá) 1.5nm。

設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，強度高，與多數(shù)類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性。推薦用于大宗氣體及惰

性氣體。

 

產(chǎn)品特點

316L 不銹鋼電子級拋光外殼

高通量低壓損

優(yōu)異的化學(xué)相容性

耐高溫、高壓

100％完整性測試

100％氦氣泄漏測試

潔凈室制造和包裝

 

技術(shù)參數(shù)

  • 濾材：聚四氟乙烯（PTFE）
  • 骨架：聚丙烯（PP）
  • O - 型圈：三元乙丙橡膠（EPDM）
  • 殼體：方案一：低硫316L；方案二：超純316L（VAR/VIM+VAR）
  • 表面處理：外表面：車加工原面，Ra＜1.6μm；內(nèi)表面：拋光+電解，Ra＜0.6μm
  • 顆粒攔截粒徑：≥1.5nm
  • 顆粒攔截效率：≥99.999999%（9 LRV）@300 slpm（參考MPPS，所有顆粒）
  • 氦氣泄露率：驗證漏率：2 × 10?¹? atm.cc/sec；測試漏率：1 × 10?? atm.cc/sec
  • 正向壓差：4.1 bar@23℃
  • 反向壓差：0.7bar@23℃
  • 使用溫度：60℃
  • 流量范圍：N款：0~1500slpm；L款：0~3000slpm

關(guān)鍵詞：過濾器
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