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高純氣體過(guò)濾器 FG10 / 15

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：張培查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2026-05-26 08:28:55瀏覽次數(shù)：106次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：183條

所在地區(qū)：江蘇無(wú)錫市

聯(lián)系人：張培 （醫(yī)藥行業(yè)經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FG10/15超純氣體過(guò)濾器專為電子級(jí)氣體超純凈化開發(fā)設(shè)計(jì)，過(guò)濾精度可達(dá)1.5nm

詳細(xì)介紹

FG10/15 超純氣體過(guò)濾器專為電子級(jí)氣體超純凈化開發(fā)設(shè)計(jì)，過(guò)濾精度可達(dá) 1.5nm。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，

強(qiáng)度高，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性。推薦用于惰性和反應(yīng)性氣體。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

316L 不銹鋼電子級(jí)拋光外殼

高通量低壓損

優(yōu)異的化學(xué)相容性

耐高溫、高壓

100％完整性測(cè)試

100％氦氣泄漏測(cè)試

潔凈室制造和包裝

 

典型應(yīng)用

晶圓制程 PVD、

CVD、刻蝕、

離子注入等工藝氣體過(guò)濾

 

技術(shù)參數(shù)

  • 濾材：聚四氟乙烯（PTFE）
  • 骨架與端蓋：可熔性聚四氟乙烯（PFA）
  • O型圈：全氟醚橡膠（FFKM）
  • 殼體：方案一：低硫316L；方案二：超純316L（VAR/VIM+VAR）
  • 表面處理：外表面：Ra<1.6μm；內(nèi)表面：電解拋光，Ra<0.2μm
  • 顆粒攔截粒徑：≥1.5nm
  • 顆粒攔截效率：≥99.9999999%（9 LRV）@30 slpm
  • 氮?dú)庑孤堵剩候?yàn)證漏率：2×10?¹?atm.cc/sec；測(cè)試漏率：1×10??atm.cc/sec
  • 進(jìn)口壓力：207bar@23℃
  • 正向壓差：4bar@23℃
  • 反向壓差：0.7bar@23℃
  • 使用溫度：120℃
  • 流量范圍：0~60slpm
  • 下游潔凈度：顆粒釋放：<0.03 particles/liter（<1 particle/ft³）@>0.01μm；揮發(fā)物：<10 ppb moisture

 

關(guān)鍵詞：過(guò)濾器
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