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飛潮（上海）新材料股份有限公司


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高純氣體過濾器 FG10 / 15

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產品型號

品       牌

廠商性質經銷商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：張培查看聯(lián)系方式

更新時間：2026-05-26 08:28:55瀏覽次數：106次

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經營模式：經銷商

商鋪產品：183條

所在地區(qū)：江蘇無錫市

聯(lián)系人：張培 （醫(yī)藥行業(yè)經理）

產品簡介

FG10/15超純氣體過濾器專為電子級氣體超純凈化開發(fā)設計，過濾精度可達1.5nm

詳細介紹

FG10/15 超純氣體過濾器專為電子級氣體超純凈化開發(fā)設計，過濾精度可達 1.5nm。設備結構緊湊，

強度高，與所有類別的半導體工藝氣體具有良好的兼容性。推薦用于惰性和反應性氣體。

 

產品特點

316L 不銹鋼電子級拋光外殼

高通量低壓損

優(yōu)異的化學相容性

耐高溫、高壓

100％完整性測試

100％氦氣泄漏測試

潔凈室制造和包裝

 

典型應用

晶圓制程 PVD、

CVD、刻蝕、

離子注入等工藝氣體過濾

 

技術參數

  • 濾材：聚四氟乙烯（PTFE）
  • 骨架與端蓋：可熔性聚四氟乙烯（PFA）
  • O型圈：全氟醚橡膠（FFKM）
  • 殼體：方案一：低硫316L；方案二：超純316L（VAR/VIM+VAR）
  • 表面處理：外表面：Ra<1.6μm；內表面：電解拋光，Ra<0.2μm
  • 顆粒攔截粒徑：≥1.5nm
  • 顆粒攔截效率：≥99.9999999%（9 LRV）@30 slpm
  • 氮氣泄露率：驗證漏率：2×10?¹?atm.cc/sec；測試漏率：1×10??atm.cc/sec
  • 進口壓力：207bar@23℃
  • 正向壓差：4bar@23℃
  • 反向壓差：0.7bar@23℃
  • 使用溫度：120℃
  • 流量范圍：0~60slpm
  • 下游潔凈度：顆粒釋放：<0.03 particles/liter（<1 particle/ft³）@>0.01μm；揮發(fā)物：<10 ppb moisture

 

關鍵詞：過濾器
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