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墊片式高純氣體過濾器 FGKS

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飛潮（上海）新材料股份有限公司

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產(chǎn)品簡介

墊片式過濾器是一種緊湊的全金屬過濾器，可適用于氣體分配系統(tǒng)中標準的1/4，3/8和1/2VCR墊圈

詳細介紹

墊片式過濾器是一種緊湊的全金屬過濾器，可適用于氣體分配系統(tǒng)中標準的 1/4 ″ ，3/8 ″和 1/2 ″

VCR 墊圈。墊片式過濾器可用于保護敏感氣體組件，例如質量流量控制器或閥門，在高達 400℃的

應用中免受顆粒損壞，延長其使用壽命，避免密封閥損壞造成泄露。墊片式過濾器是防止污染的經(jīng)

濟保障，可以避免對關鍵部件產(chǎn)生不利影響。

產(chǎn)品特點

的 S316L 不銹鋼材質

適用于低壓的系統(tǒng)管路

可以作為表面密封的過濾器，

所以不需要額外的工作（切割/ 焊接管道用于過濾器安裝）

適用于高溫環(huán)境應用

技術參數(shù)

濾材：S316L金屬氈
墊片：低硫316L
表面處理：外表面：Ra≤0.4μm；密封面：拋光+電解，Ra≤0.2μm
顆粒攔截粒徑：≥0.3 μm / ≥1.0 μm
顆粒攔截效率：>99%
使用壓力：0.98Mpa
使用溫度：400℃
流量范圍：0-100slpm
下游潔凈度：顆粒釋放：<0.03 particles/liter（<1 particle/ft³）greater than 0.01 μm；Volatile：<10 ppb moisture

關鍵詞：過濾器控制器

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