型號(hào) 

K1000A

K1000B

K1000C

流量規(guī)格(N2換算流量)

   Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM  

Bin 2: 30 SCCM ~100SCCM　

         Bin 6: 3SLM ~10SLM

     60SLM 、100SLM、

200SLM、300SLM、

   Bin 3: 100SCCM~300SCCM

         Bin 7: 10SLM~ 30SLM

                  Bin 8: 30 SLM ~50SLM

   150SLM、200SLM

400SLM、500SLM

600SLM、1000SLM（N2, H2, Air 等)

Bin 4: 300 SCCM ~1SLM

    Bin 5: 1SLM ~3SLM

閥類型

N/O：常開型、N/C：常閉型

N/C：常閉型

流量控制范圍

2%～99%F.S.

準(zhǔn)確度

99%～25%：±1.0% of S.P.，
25%～2%：±0.25%F.S.
（精度保證范圍15～35℃）

±1%F.S.(精度保證范圍15～35℃)

±2%F.S.(精度保證范圍15～35℃)

工作環(huán)境溫度

5～50℃

5～45℃

響應(yīng)時(shí)間

≦1sec

≦3sec

線性

±0.5%F.S.

重復(fù)精度

±0.2%F.S.

工作壓差范圍

 N/O 　 100～300KPa (3SLM～10SLM)

　　         　50～300KPa

 N/O 　150～300KPa (11SLM～30SLM)

200～300KPa

　　?。ˋr: 100～300KPa）

N/C 　100～300KPa (3SLM～30SLM)

（Ar: 250～450KPa）

　　100～300KPa

　　150～300KPa

300～450kPa  (H2：150～300kPa)

（Ar 200～3500KPa）

溫度系數(shù)

Zero:±0.1%F.S./℃   Span: ±0.1%F.S./℃

工作壓力

400KPa（Ar:500KPa）

700KPa

耐壓

1MPa  

漏率

金屬密封：1×10^－11Pa?m³/sec He (1×10^－10 atm?cc/sec He)

橡膠圈密封：1×10^-7Pa?m³/sec He (1×10^－6 atm?cc/sec He)

橡膠圈密封：1×10^－7Pa?m³/sec He (1×10^－6 atm?cc/sec He)

密封材料

金屬密封；氟橡膠；氯丁橡膠

氟橡膠；氯丁橡膠

通訊形式

模擬：0~5V DC   數(shù)字：RS485、DeviceNet、EtherCAT

模擬：0~5V DC   數(shù)字：RS485、DeviceNet、

電源

模擬/數(shù)字：+15VDC 50mA，-15VDC 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

VCR 1/4陽接頭、雙卡套1/4陽接頭 、 1.5'' W-Seal、1.125'' W-Seal、 1.125'' C-Seal

VCR 3/8陽接頭、雙卡套3/8陽接頭 

VCR 1/2陽接頭、雙卡套1/2陽接頭 

重量

1.0kg

3.0kg

3.7kg