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詳細摘要： K1000為高精度，高穩(wěn)定性的熱式質(zhì)量流量控制器。它的量程范圍從10sccm到1000sccm，K1000A為小流量量程MFC（從10sccm~50slm），具...

詳細摘要： DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對半導(dǎo)體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導(dǎo)體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器，用于半導(dǎo)體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的...

詳細摘要： D07-60是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量...

詳細摘要： D07-15是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量...

詳細摘要： D07-9是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流...

詳細摘要： D07-11是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量...

詳細摘要： D07-19是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量...

詳細摘要： D07-23F是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)...

詳細摘要： D07-7是熱式質(zhì)量流量計，質(zhì)量流量控制器可以應(yīng)用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質(zhì)量流量，質(zhì)量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質(zhì)量流...

詳細摘要： CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計專門為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的...

詳細摘要： CS330產(chǎn)品是七星華創(chuàng)流量計新研發(fā)的數(shù)字型產(chǎn)品，流量可達200SLM氮氣，并可實現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式；產(chǎn)品采用了新型全金屬密封結(jié)構(gòu)形式、大流量、低壓損電磁調(diào)節(jié)...

詳細摘要： CS230產(chǎn)品是七星流量計研發(fā)的中大流量產(chǎn)品,流量可達300SLM氮氣,并可實現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式;產(chǎn)品采用高速控制算法使整個流量計的響應(yīng)時間方面更加出色,最多...

詳細摘要： CS200H氣體質(zhì)量流量控制是七星流量計生產(chǎn)的數(shù)字型高溫產(chǎn)品，其電氣和機械部分采用分體式的設(shè)計，通過高溫線纜連接，可以實現(xiàn)在高溫環(huán)境下工作，能夠滿足復(fù)雜多變的半...

詳細摘要： CS100產(chǎn)品是基于七星流量計CS系列產(chǎn)品技術(shù)平臺開發(fā)，在擁有恒功率傳感器技術(shù)，數(shù)字傳感器平衡技術(shù)，VCP線控制技術(shù)的基礎(chǔ)上，采用客戶定制化設(shè)計，客戶可根據(jù)需要...

詳細摘要： CS200氣體質(zhì)量流量控制器，采用傳感器和溫度補償技術(shù)，因此產(chǎn)品精度可以達到設(shè)定值1%以內(nèi)，并且低溫度系數(shù)可以保證產(chǎn)品適應(yīng)不同的環(huán)境溫度。同時，產(chǎn)品采用高速控制...