CS200

型號

CS200-H

閥類型

常閉

無

流量規(guī)格(N2)

(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30)  SLM

準(zhǔn)確度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

線性

±0.5% F.S.

重復(fù)精度

±0.2% F.S.

響應(yīng)時間

≤ 1sec

工作壓差范圍

0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM
0.1～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM

＜0.02 MPa

工作壓力

0.45MPa

溫度系數(shù)

零點: ≤±0.1% F.S./℃；調(diào)節(jié)時: ≤±0.1% F.S./℃

耐壓強度

3MPa

漏率

1×10^-11 Pa·m³ / sec He

密封材料

金屬密封

工作環(huán)境溫度

質(zhì)量流量控制器/流量計:（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃

輸入信號

數(shù)字: RS485 或 DeviceNet
模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA

無

輸出信號

數(shù)字:RS485或 DeviceNet  
模擬:(0～5)VDC或(4～20)mA

零漂

在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年

電源

±8 ～ ±16 VDC (雙極)或 +14 ～ +28 VDC (單極)

表面化學(xué)成分

Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃）

表面粗糙度

10 Ra

標(biāo)準(zhǔn)接頭形式

雙卡套φ6；雙卡套1/4；VCR1/4陽接頭；1.5´´C型密封接頭
1.5´´ W型密封接頭

電源接頭形式

D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭

連接高溫電纜

2m

重量

1.2Kg

1Kg