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DS300質(zhì)量流量控制器

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更新時間:2026-03-10 14:14:07瀏覽次數(shù):159

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產(chǎn)品簡介

DS300壓力式氣體質(zhì)量流量控制器是針對半導體行業(yè)開發(fā)的一款適用于半導體裝備的氣體質(zhì)量流量控制器,用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術和高精度壓電閥控制技術使產(chǎn)品具有零漂小,精度高,響應速度快,壓力不敏感的特點,產(chǎn)品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬,金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。

詳細介紹

優(yōu)勢

? 控制精度高,精度可達±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
? 響應速度快,響應時間≤ 0.5sec。
? 采用基于壓力原理的流量傳感器技術,使產(chǎn)品具有壓力不敏感特性,能夠適用較大的氣源壓力波動。
? DS300采用有效的機械加工技術與表面處理技術解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題,實現(xiàn)孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學拋光處理,符合SEMI標準要求。

技術參數(shù)

DS300C

型號

DS300C

閥類型

常閉

流量規(guī)格(N2)

(0~30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0~1,2,3,5,10)            SLM

準確度

±1% S.P. (≥10% F.S.)       
±1% F.S. (<10% F.S.)       

線性

±0.5% F.S.

重復精度

±0.2% F.S.

響應時間

≤ 0.5sec            

進口壓力

240~450KPa 流量規(guī)格≤5SLM
350~450KPa  流量規(guī)格>5SLM

出口壓力

≤1.2KPa    流量規(guī)格≤5SLM
≤13.3KPa  流量規(guī)格>5SLM

溫度系數(shù)

零點:≤±0.02% F.S./℃;
調(diào)節(jié)時:≤±0.1% F.S./℃

耐壓

3 MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

金屬密封

工作壓力

0.45MPa

工作環(huán)境溫度

(10~45)℃

輸入信號

數(shù)字:RS485 或 DeviceNet
模擬:(0~5)VDC

輸出信號

數(shù)字:RS485 或 DeviceNet  
模擬:(0~5)VDC

零漂

在沒有零點校正時<0.6%F.S./年

電源

±8~±16 VDC (雙極) 或 +14~+28 VDC (單極)

表面化學成分

Cr/Fe比例≥2.0;
CrO 厚度≥20 (埃)

表面粗糙度

Ra  5μinch

標準接頭形式

VCR1/4陽接頭;
1.125″C型密封接頭;
1.125″W型密封接頭;
Compression Fittingφ6

電源接頭形式

D型9針陽接頭;
D型15針陽接頭;
DeviceNet接頭

重量

1.2Kg

 

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