普賽斯ATE-3146靜態(tài)測試機是一款專注于Si/SiC   MOSFET、IGBT、GaN HEMT等功率芯片及器件的靜態(tài)參數測試系統(tǒng)；采用PXIe通信架構方案，支持板卡靈活擴展與高精度電學特性分析；支持單卡1200V大電壓、單卡400A大電流輸出，且蕞大可擴展至3500V、2000A；可與探針臺(Prober)、分選機(Handler)等外設聯(lián)機使用，應用于半導體產線KGD、DBC及FT工站的芯片及器件的高效分選測試。

產品特點：

單工站MOS DC IV參數測試UPH高達9K(注：單工站，7個DC IV測試項)

單臺主機支持3工站IV+CV或4工站IV并行測

專用于Si/SiC MOSFET、二極管、三極管、IGBT等KGD、DBC及FT測試

采用PXIe板卡架構，可根據需求靈活搭配板卡實現(xiàn)精準把控測試成本

單卡高達2G局部通信總線帶寬支持PXIe，TrigBus同步觸發(fā)支持高達8線局部總線同步

6U標準板卡兼容3U板卡

提供單卡1200V大電壓、 單卡400A大電流輸出能力

支持擴展高壓、高流模組，蕞高可達3500V/2000A

內置精密測量電路,實現(xiàn)皮安級和uΩ級的精準測量

CV測試中速模式下基本精度高達0.05%

測試項目

二極管：反向擊穿電壓VR、反向漏電流IR、正向電壓VF、正向電流IF、電容值Cd

三極管：V(BR)CEO、V(BR)CBO、V(BR)EBO、ICBO、ICEO、IEBO、VCESAT、VBESAT、增益hFE、Cobo、Cibo

Si MOS/IGBT/SiC   MOS/GaN  FET：V(BR)DSS/V(BR)CES、IDSS/ICES、VCE(sat)、RDS(on)、VSD/VF、VGS(th)/VGE(th)、IGSS/IGES、柵極內阻Rg、輸入電容Ciss/Cies、輸出電容Coss/Coes、反向傳輸電容Crss/Cres、跨導gfs

系統(tǒng)組成

普賽斯ATE-3146靜態(tài)測試機，主要包括測試主機及板卡，測試夾具，工控機、上位機軟件等構成。整套系統(tǒng)采用普賽斯自主開發(fā)的測試主機，內置高壓模塊，低壓模塊，高流模塊，電容模塊、高壓采集卡、DIO卡等。      配合探針臺Prober、分選機Handler可以實現(xiàn)KGD裸芯片，DBC測試，F(xiàn)T測試等。結合專用上位機測試軟件，可根據測試項目需要，設置不同的電壓、電流等參數，以滿足不同測試需求。測試數據可保存與導出，支持各類格式。