VacSys系列由干式螺桿前級泵和羅茨泵串聯組成全無油干式真空機組，全程無潤滑油參與抽氣流程，可輸出潔凈高真空環(huán)境，適配含溶劑蒸汽、水汽、輕微粉塵、弱腐蝕性介質的復雜工況，全面替代水環(huán)泵、油片旋片、滑閥泵等污染型真空設備。廣泛覆蓋多行業(yè)核心工藝：制藥領域用于原料藥真空干燥、濃縮蒸餾、溶媒回收，滿足GMP潔凈生產標準；精細化工適配反應精餾、高純物料精餾、有機廢氣閉環(huán)回收；新能源鋰電、光伏、半導體用于晶圓鍍膜、電池注液、硅片真空烘烤，杜絕油污污染提升良品率；冶金、真空熱處理配套真空退火、釬焊爐抽氣；同時應用食品凍干、航空航天真空測試、實驗室高真空實驗等場景，可連續(xù)24小時穩(wěn)定運行，兼顧工藝潔凈、溶劑回收、環(huán)保減排多重需求。