產(chǎn)品描述：干式螺桿真空泵 /羅茨真空泵/真空泵機(jī)組 用途概述 干式螺桿真空泵、羅茨真空泵、螺桿羅茨真空泵機(jī)組憑借其創(chuàng)新設(shè)計(jì)與性能，成為半導(dǎo)體、制藥、石化、化工等高要求行業(yè)的理想選擇。...

干式螺桿真空泵/羅茨真空泵/真空泵機(jī)組
用途概述
干式螺桿真空泵、羅茨真空泵、螺桿羅茨真空泵機(jī)組憑借其創(chuàng)新設(shè)計(jì)與性能，成為半導(dǎo)體、制藥、石化、化工等高要求行業(yè)的理想選擇。針對(duì)復(fù)雜真空工藝需求，該系列通過(guò)提供清潔無(wú)油的真空環(huán)境，適配腐蝕性氣體、可凝性蒸氣及含粉塵顆粒氣體的抽除場(chǎng)景，助力企業(yè)及科研實(shí)驗(yàn)實(shí)現(xiàn)高效生產(chǎn)與環(huán)保目標(biāo)。其廣泛適用于真空釬焊、鍍膜、退火、干燥等關(guān)鍵工藝，并在航空航天、電子、冶金、醫(yī)藥等領(lǐng)域推動(dòng)技術(shù)升級(jí)，逐步替代傳統(tǒng)油封機(jī)械泵與液環(huán)泵，成為綠色智能制造的核心裝備。
產(chǎn)品特點(diǎn)
技術(shù)特點(diǎn)
※水冷循環(huán)散熱技術(shù)，可消除風(fēng)扇高速運(yùn)轉(zhuǎn)引發(fā)的空氣擾動(dòng)揚(yáng)塵問(wèn)題；
※工作腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑油，杜絕油氣污染，確保真空環(huán)境純凈度，顯著提升產(chǎn)品良率；
※工藝氣體回收利用率高，尾氣處理更便捷，助力企業(yè)降低環(huán)保成本，符合嚴(yán)苛排放標(biāo)準(zhǔn)；
智能操控
※泵腔及轉(zhuǎn)子表面可選配多種防腐涂層，耐受強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等惡劣介質(zhì)，使用壽命延長(zhǎng)；
※多級(jí)螺旋轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)精準(zhǔn)適配腐蝕性氣體、可凝性蒸氣及含微粒粉塵的復(fù)雜氣體環(huán)境；
※間隙密封結(jié)構(gòu)對(duì)微小顆粒不敏感，直通式泵腔設(shè)計(jì)避免粉塵沉積，保障連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行；
高效節(jié)能
※優(yōu)化轉(zhuǎn)子平衡技術(shù)與多層減震結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)超低振動(dòng)與低噪運(yùn)行；
※工作溫度低，有效較少冷卻水的消耗，契合綠色工廠低碳目標(biāo)，運(yùn)行噪聲低；
※螺桿嚙合傳動(dòng)效率優(yōu)化，能耗較傳統(tǒng)泵有效降低，搭配智能變頻配置進(jìn)一步節(jié)能；
羅茨真空
※羅茨真空泵適用于蒸餾蒸發(fā)、冷凍干燥等含大量水蒸氣的復(fù)雜工況；
※當(dāng)作為前級(jí)泵時(shí)，可高效抽除水蒸氣混合氣體，保障生產(chǎn)流程的連續(xù)性與穩(wěn)定性；
※工作壓力范圍寬，可從大氣壓平滑過(guò)渡至高真空狀態(tài)，靈活適配多行業(yè)多階段工藝需求
可選配置
①氮?dú)獯祾撸横槍?duì)少量粉塵環(huán)境優(yōu)化，通過(guò)特殊密封結(jié)構(gòu)及氮?dú)獯祾哐b置，可耐受生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的細(xì)微顆粒（如硅粉、石墨粉塵），避免堵塞或磨損，顯著延長(zhǎng)設(shè)備壽命，減少維護(hù)頻率，降低停機(jī)損失，為生產(chǎn)研發(fā)的連續(xù)性提供堅(jiān)實(shí)保障。
②PLC控制：可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空度、壓力及生產(chǎn)負(fù)載變化，動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)泵組轉(zhuǎn)速與功率輸出。
設(shè)備啟動(dòng)迅速，可按需供能，既能避免過(guò)度抽氣造成的能源浪費(fèi)，又能為高敏感工藝營(yíng)造穩(wěn)定真空環(huán)境，如在單晶硅拉制過(guò)程中，持續(xù)提供恒定低壓條件，確保晶體生長(zhǎng)品質(zhì)。
③噪音控制：若工藝環(huán)境對(duì)噪音敏感（如實(shí)驗(yàn)室、精密車間等），可加裝消音器；
④鈑金外殼：提供防護(hù)（防塵、防濺）、提升設(shè)備整體美觀度及結(jié)構(gòu)強(qiáng)度；
一、介質(zhì)特性：明確抽取介質(zhì)的具體類型（如氣體、液體混合物等），是否包含以下特殊成分，喆圖技術(shù)部
據(jù)此可確定泵體涂層方案（如耐腐蝕涂層、耐磨涂層等），并判斷是否需額外配置過(guò)濾器（針對(duì)粉塵/顆粒物）
蒸汽（需確認(rèn)蒸汽類型及含量）
粉塵（需確認(rèn)粒徑范圍及濃度）
腐蝕性介質(zhì)（需說(shuō)明具體腐蝕性物質(zhì)及濃度，如酸/堿/有機(jī)溶劑等）
二、性能參數(shù)：被抽容器的有效容積（需明確具體數(shù)值），目標(biāo)真空度（需注明是極限真空還是工作真空范圍）達(dá)到目標(biāo)真空度所需的時(shí)間要求（單位：分鐘/小時(shí)，如“30分鐘內(nèi)抽至10Pa”）。
三、安裝空間：安裝位置的實(shí)際可用空間尺寸（寬*深*高）以及現(xiàn)場(chǎng)安裝環(huán)境（通風(fēng)條件、周邊設(shè)備間距等）
DS、DVS：干式螺桿真空泵
RZ、RZP：羅茨真空泵
JRZ：干式螺桿羅茨真空泵機(jī)組
SJ：適合中小工藝直接抽真空的應(yīng)用，包括鋰電新能源、化工制藥、鋼鐵治煉等。
SJR：采用羅茨泵+干式螺桿真空泵的多段抽空機(jī)組，可選2段、3段式真空泵，粉塵和液體處理能力強(qiáng)，適用于常規(guī)抽空、拉晶、鋰電新能源及部分ALD等應(yīng)用。
SJRE：采用羅茨泵+增強(qiáng)型干式螺桿真空泵機(jī)組，處理粉塵能力更強(qiáng)，且熱穩(wěn)定性高，適合CVD、ALD等工藝。
RM：采用羅茨泵+多級(jí)羅茨干泵的機(jī)組，能耗小、過(guò)程溫度可控、噪音低，適合實(shí)驗(yàn)室，鍍膜、半導(dǎo)體等應(yīng)用
SBJ：采用變徑變距的干式螺桿真空泵的單泵機(jī)組，更加節(jié)能、低噪和低排氣溫度，適用于鋰電新能源、化工、制藥、光伏、半導(dǎo)體等應(yīng)用。
SBJR：采用羅茨泵+變徑變距的干式螺桿真空泵的多段抽空機(jī)組，可選2段式、3段式機(jī)組，更加節(jié)能、低噪和低排氣溫度，適用于電新能源、化工、制藥、光伏、半導(dǎo)體等應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱	干式等徑等距螺桿真空泵
型號(hào)	極限壓力	抽氣速率		進(jìn)氣口徑	排氣口徑	冷卻方式	功率	質(zhì)量
DS-6	5Pa	20m³/h	≈ 6L/s	KF25	KF25	風(fēng)冷	1100W	55kg
DS-14	5Pa	50m³/h	≈ 14L/s	KF40	KF25	風(fēng)冷	1500W	90kg
DS-22	5Pa	80m³/h	≈ 22L/s	KF40	KF40	風(fēng)冷	2200W	110kg
DS-50	2Pa	180m³/h	≈ 50L/s	40mm	40mm	2.5L/min	7500W	295kg
DS-69	2Pa	250m³/h	≈ 69L/s	80mm	80mm	2.6L/min	7500W	350kg
DS-111	2Pa	400m³/h	≈ 111L/s	100mm	100mm	2.8L/min	15000W	480kg
DS-150	2Pa	540m³/h	≈ 150L/s	150mm	150mm	3L/min	18500W	520kg
DS-200	2Pa	720m³/h	≈ 200L/s	200mm	200mm	4L/min	22000W	680kg
DS-300	2Pa	1080m³/h	≈ 300L/s	250mm	200mm	5.5L/min	30000W	950kg

產(chǎn)品名稱	干式等徑變距螺桿真空泵
型號(hào)	極限壓力	抽氣速率		進(jìn)氣口徑	排氣口徑	冷卻方式	功率	質(zhì)量
DVS-69	2Pa	250m³/h	≈ 69L/s	65mm	40mm	2.5L/min	7500W	295kg
DVS-111	2Pa	400m³/h	≈ 111L/s	80mm	40mm	2.6L/min	7500W	350kg
DVS-160	2Pa	576m³/h	≈ 160L/s	100mm	65mm	2.8L/min	15000W	480kg
DVS-220	2Pa	792m³/h	≈ 220L/s	150mm	65mm	3L/min	18500W	520kg
DVS-330	2Pa	1188m³/h	≈ 330L/s	150mm	65mm	4L/min	30000W	680kg
DVS-450	2Pa	1620m³/h	≈450L/s	200mm	80mm	6L/min	45000W	950kg
DVS-280	100Pa	1008m³/h	≈ 280L/s	150mm	65mm	3.2L/min	22000W	520kg
DVS-300	100Pa	1080m³/h	≈ 300L/s	150mm	65mm	4L/min	22000W	520kg
DVS-400	100Pa	1440m³/h	≈400L/s	150mm	65mm	5L/min	37000W	680kg

產(chǎn)品名稱	羅茨真空泵
型號(hào)	極限壓力		抽氣速率	進(jìn)氣口徑	排氣口徑	溢流閥	功率	質(zhì)量
RZ-150	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	150L/s	100mm	100mm	無(wú)	2200W	180kg
RZ-300	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	300L/s	150mm	150mm	無(wú)	4000W	250kg
RZ-600	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	600L/s	200mm	200mm	無(wú)	7500W	550kg
RZ-1200	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	1200L/s	250mm	200mm	無(wú)	11000W	730kg
RZ-5000	0.8Pa	5 .6×10-³Pa	5000L/s	400mm	400mm	無(wú)	30000W	1800kg
RZP-70	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	70L/s	80mm	80mm	有	1100W	110kg
RZP-150	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	150L/s	100mm	100mm	有	2200W	190kg
RZP-300	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	300L/s	150mm	150mm	有	4000W	265kg
RZP-600	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	600L/s	200mm	200mm	有	7500W	570kg
RZP-1200	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	1200L/s	250mm	200mm	有	11000W	770kg
RZP-2500	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	2500L/s	320mm	320mm	有	18500W	1350kg

產(chǎn)品名稱	干式螺桿羅茨真空泵機(jī)組
型號(hào)	JRZ-150-S3	JRZ-150-S2	JRZ-300-S3	JRZ-300-S2	JRZ-600-S4	JRZ-600-S3	JRZ-1200-VS4
前級(jí)螺桿泵	DS50	DS70	DS110	DS150	DS150	DS200	DVS300
羅茨主泵	RZ150	RZ150	RZ300	RZ300	RZ600	RZ600	RZ1200
抽氣速率	150L/s	150L/s	300L/s	300L/s	600L/s	600L/s	1200L/s
抽速比	3	2 .14	2 .73	2	4	3	4
極限壓力	0 . 5Pa	0 .1Pa	0 .1Pa	0 .1Pa	0 .1Pa	0 .1Pa	0 .2Pa
主泵功率	3000W	3000W	3500W	3500W	4500W	4500W	11000W
前級(jí)泵功率	7500W	7500W	4500W	4500W	4500W	7500W	7500W
進(jìn)氣口徑	100mm	100mm	150mm	150mm	145mm	145mm	250mm
排氣口徑	40mm	40mm	50mm	50mm	40mm	40mm	40mm
冷卻水量	4L/min	4L/min	5L/min	5L/min	6L/min	7L/min	9L/min
重量	600kg	600kg	650kg	650kg	650kg	700kg	1250kg

名稱	干式等徑變距螺桿真空泵
型號(hào)	抽速		極限壓力	進(jìn)氣口	排氣口	電壓	功率	N2吹掃	冷源
SJ-80	80m³/h	22L/s	≤1Pa(≤1*10-²mbar/≤7.5*10-³Torr）	NW50	NW40	220V或380V	3kW	標(biāo)配	選配
SJ-180	180m³/h	50L/s		NW50	NW40		4.5kW	標(biāo)配	選配
SJ-200	200m³/h	56L/s		ISO63	NW40		6kW	標(biāo)配	選配
SJ-300	300m³/h	83L/s		ISO63	NW40		6kW	標(biāo)配	選配
SJ-380	380m³/h	106L/s		ISO63	NW40		7.5kW	標(biāo)配	選配
SJ-450	450m³/h	125L/s		ISO63	ISO63		11kW	標(biāo)配	選配
SJ-580	580m³/h	161 L/s		ISO100	ISO63		11kW	標(biāo)配	選配
SJ-680	680m³/h	189L/s		ISO100	ISO63		15kW	標(biāo)配	選配
SJ-950	950m³/h	264L/s		ISO100	ISO80		22kW	標(biāo)配	選配
SJ-1200	1200m³/h	333L/s		ISO160	ISO80		22kW	標(biāo)配	選配
SJ-1500	1500m³/h	417L/s		ISO160	ISO80		37kW	標(biāo)配	選配
SJ-2500	2500m³/h	694L/s		ISO160	ISO100		55kW	標(biāo)配	選配

名稱	干式等徑變距螺桿真空泵機(jī)組
型號(hào)	抽速		極限壓力	進(jìn)氣口	排氣口	電壓	功率	N2吹掃	冷源
SJR-600	600m³/h	167L/s	≤1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-?Torr）	ISO160	NW40	220V或380V	4.5/2kW	標(biāo)配	選配
SJR-1200	1200m³/h	333L/s		ISO160	NW40		4.5/4.5kW	標(biāo)配	選配
SJR-1500	1500m³/h	417L/s		ISO160	NW40		4.5/4.5kW	標(biāo)配	選配
SJR-2100	2100m³/h	583L/s		ISO160	NW40		6/4.5kW	標(biāo)配	選配
SJR-4200	4200m³/h	1167L/s		ISO200	NW40		6/6kW	標(biāo)配	選配
SJR-4500	4500m³/h	1250L/s		ISO250	ISO63		11/7.5kW	標(biāo)配	選配
SJR-5400	5400m³/h	1 500L/s		ISO250	ISO63		15/7.5kW	標(biāo)配	選配
SJR-6300	6300m³/h	1750L/s		ISO250	ISO63		15/11 kW	標(biāo)配	選配
SJR-7200	7200m³/h	2000L/s		ISO250	ISO80		22/15kW	標(biāo)配	選配

名稱	干式增強(qiáng)螺桿真空泵機(jī)組
型號(hào)	抽速		極限壓力	進(jìn)氣口	排氣口	電壓	功率	N2吹掃	冷源
SJRE-600	600m³/h	167L/s	≤1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-?Torr）	ISO100	NW40	220V或380V	4.5/2kW	標(biāo)配	選配
SJRE-1200	1200m³/h	333L/s		ISO160	NW40		4.5/4.5kW	標(biāo)配	選配
SJRE-1800	1800m³/h	500L/s		ISO160	NW40		4.5/4.5kW	標(biāo)配	選配
SJRE-3000	3000m³/h	833L/s		ISO200	NW40		11 /6kW	標(biāo)配	選配
SJRE-4500	4500m³/h	1250L/s		ISO250	NW40		11 /7.5kW	標(biāo)配	選配
SJRE-5400	5400m³/h	1500L/s		ISO250	NW40		11/11kW	標(biāo)配	選配

名稱	干式多級(jí)羅茨真空泵機(jī)組
型號(hào)	抽速		極限壓力	進(jìn)氣口	排氣口	電壓	功率	N2吹掃	冷源
RM-600	600m³/h	167L/s	≤1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-?Torr）	ISO160	NW40	220V或380V	4.5/2kW	標(biāo)配	選配
RM-1200	1200m³/h	333L/s		ISO160	NW40		4.5/4.5kW	標(biāo)配	選配
RM-1800	1800m³/h	500L/s		ISO160	NW40		4.5/4.5kW	標(biāo)配	選配
RM-3000	3000m³/h	833L/s		ISO250	NW40		11 /6kW	標(biāo)配	選配
RM-4500	4500m³/h	1250L/s		ISO250	NW40		11 /7.5kW	標(biāo)配	選配
RM-5400	5400m³/h	1 500L/s		ISO250	NW40		11/11kW	標(biāo)配	選配

名稱	干式變徑變距真空泵機(jī)組
型號(hào)	抽速		極限壓力	進(jìn)氣口	排氣口	電壓	功率	N2吹掃	冷源
SBJ-160	160m³/h	44L/s	≤0.1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-?Torr）	ISO63	NW40	220V或380V	4.5kW	標(biāo)配	選配
SBJ-300	300m³/h	83L/s		ISO63	NW40		6kW	標(biāo)配	選配
SBJ-500	500m³/h	139L/s		ISO100	NW50		11kW	標(biāo)配	選配
SBJ-800	800m³/h	222L/s		ISO100	NW50		22kW	標(biāo)配	選配

名稱	干式變徑變距螺桿真空泵機(jī)組
型號(hào)	抽速		極限壓力	進(jìn)氣口	排氣口	電壓	功率	N2吹掃	冷源
SBJR-1200	1200m³/h	333L/s	≤0.1Pa(≤1*10-²mbar/≤7.5*10-³Torr）	ISO160	NW40	220V或380V	4.5/4.5kW	標(biāo)配	選配
SBJR-2100	2100m³/h	583L/s		ISO160	NW40		6/4.5kW	標(biāo)配	選配
SBJR-3000	3000m³/h	833L/s		ISO200	NW40		6/6kW	標(biāo)配	選配
SBJR-4200	4200m³/h	1167L/s		ISO250	NW40		6/7.5kW	標(biāo)配	選配
SBJR-5400	5400m³/h	1500L/s		ISO250	NW50		15/7.5kW	標(biāo)配	選配
SBJR-7200	7200m³/h	2000L/s		ISO250	NW50		22/115kW	標(biāo)配	選配

名稱	超高真空復(fù)合分子泵
型號(hào)	抽速		極限壓力	進(jìn)氣口	排氣口	電源電壓	功率	N2吹掃	冷源
UHV-7200	7200m³/h	2000L/s	5*10-?Pa前級(jí)2Torr	ISO250	NW40	220V50Hz	1kW	標(biāo)配	標(biāo)配
UHV-16200	16200m³/h	4500L/s		ISO400	NW40		1kW	標(biāo)配	標(biāo)配

名稱	磁懸浮復(fù)合分子泵
型號(hào)	抽速		極限壓力	進(jìn)氣口	排氣口	電源電壓	功率	N2吹掃	冷源
MFP-4320	4320m³/h	2000L/s	5*10-?Pa前級(jí)2Torr	ISO200	NW40	220V50Hz	0.75kW	標(biāo)配	標(biāo)配
MFP-9720	9720m³/h	2700L/s	1*10-?Pa前級(jí)2Torr	ISO250	NW40	220V50Hz	1.8kW	標(biāo)配	標(biāo)配
MFP-11880	11880m³/h	3300L/s	1*10-?Pa前級(jí)2Torr	ISO320	NW40	220V50Hz	1.8kW	標(biāo)配	標(biāo)配
MFP-16200	16200m³/h	4500L/s	1*10-?Pa前級(jí)2Torr	ISO400	NW40	220V50Hz	1.8kW	標(biāo)配	標(biāo)配