產(chǎn)品描述：SJRE系列干式增強螺桿真空泵機組采用羅茨泵+增強型干式螺桿真空泵機組，處理粉塵能力更強，且熱穩(wěn)定性高，適合CVD、ALD等工藝。...

干式螺桿真空泵/羅茨真空泵/真空泵機組
用途概述
干式螺桿真空泵、羅茨真空泵、螺桿羅茨真空泵機組憑借其創(chuàng)新設(shè)計與性能，成為半導體、制藥、石化、化工等高要求行業(yè)的理想選擇。針對復雜真空工藝需求，該系列通過提供清潔無油的真空環(huán)境，適配腐蝕性氣體、可凝性蒸氣及含粉塵顆粒氣體的抽除場景，助力企業(yè)及科研實驗實現(xiàn)高效生產(chǎn)與環(huán)保目標。其廣泛適用于真空釬焊、鍍膜、退火、干燥等關(guān)鍵工藝，并在航空航天、電子、冶金、醫(yī)藥等領(lǐng)域推動技術(shù)升級，逐步替代傳統(tǒng)油封機械泵與液環(huán)泵，成為綠色智能制造的核心裝備。
產(chǎn)品特點
技術(shù)特點
※水冷循環(huán)散熱技術(shù)，可消除風扇高速運轉(zhuǎn)引發(fā)的空氣擾動揚塵問題；
※工作腔內(nèi)無潤滑油，杜絕油氣污染，確保真空環(huán)境純凈度，顯著提升產(chǎn)品良率；
※工藝氣體回收利用率高，尾氣處理更便捷，助力企業(yè)降低環(huán)保成本，符合嚴苛排放標準；
智能操控
※泵腔及轉(zhuǎn)子表面可選配多種防腐涂層，耐受強酸、強堿等惡劣介質(zhì)，使用壽命延長；
※多級螺旋轉(zhuǎn)子設(shè)計精準適配腐蝕性氣體、可凝性蒸氣及含微粒粉塵的復雜氣體環(huán)境；
※間隙密封結(jié)構(gòu)對微小顆粒不敏感，直通式泵腔設(shè)計避免粉塵沉積，保障連續(xù)穩(wěn)定運行；
高效節(jié)能
※優(yōu)化轉(zhuǎn)子平衡技術(shù)與多層減震結(jié)構(gòu)設(shè)計，實現(xiàn)超低振動與低噪運行；
※工作溫度低，有效較少冷卻水的消耗，契合綠色工廠低碳目標，運行噪聲低；
※螺桿嚙合傳動效率優(yōu)化，能耗較傳統(tǒng)泵有效降低，搭配智能變頻配置進一步節(jié)能；
羅茨真空
※羅茨真空泵適用于蒸餾蒸發(fā)、冷凍干燥等含大量水蒸氣的復雜工況；
※當作為前級泵時，可高效抽除水蒸氣混合氣體，保障生產(chǎn)流程的連續(xù)性與穩(wěn)定性；
※工作壓力范圍寬，可從大氣壓平滑過渡至高真空狀態(tài)，靈活適配多行業(yè)多階段工藝需求
可選配置
①氮氣吹掃：針對少量粉塵環(huán)境優(yōu)化，通過特殊密封結(jié)構(gòu)及氮氣吹掃裝置，可耐受生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的細微顆粒（如硅粉、石墨粉塵），避免堵塞或磨損，顯著延長設(shè)備壽命，減少維護頻率，降低停機損失，為生產(chǎn)研發(fā)的連續(xù)性提供堅實保障。
②PLC控制：可實時監(jiān)測真空度、壓力及生產(chǎn)負載變化，動態(tài)調(diào)節(jié)泵組轉(zhuǎn)速與功率輸出。
設(shè)備啟動迅速，可按需供能，既能避免過度抽氣造成的能源浪費，又能為高敏感工藝營造穩(wěn)定真空環(huán)境，如在單晶硅拉制過程中，持續(xù)提供恒定低壓條件，確保晶體生長品質(zhì)。
③噪音控制：若工藝環(huán)境對噪音敏感（如實驗室、精密車間等），可加裝消音器；
④鈑金外殼：提供防護（防塵、防濺）、提升設(shè)備整體美觀度及結(jié)構(gòu)強度；
一、介質(zhì)特性：明確抽取介質(zhì)的具體類型（如氣體、液體混合物等），是否包含以下特殊成分，喆圖技術(shù)部
據(jù)此可確定泵體涂層方案（如耐腐蝕涂層、耐磨涂層等），并判斷是否需額外配置過濾器（針對粉塵/顆粒物）
蒸汽（需確認蒸汽類型及含量）
粉塵（需確認粒徑范圍及濃度）
腐蝕性介質(zhì)（需說明具體腐蝕性物質(zhì)及濃度，如酸/堿/有機溶劑等）
二、性能參數(shù)：被抽容器的有效容積（需明確具體數(shù)值），目標真空度（需注明是極限真空還是工作真空范圍）達到目標真空度所需的時間要求（單位：分鐘/小時，如“30分鐘內(nèi)抽至10Pa”）。
三、安裝空間：安裝位置的實際可用空間尺寸（寬*深*高）以及現(xiàn)場安裝環(huán)境（通風條件、周邊設(shè)備間距等）
DS、DVS：干式螺桿真空泵
RZ、RZP：羅茨真空泵
JRZ：干式螺桿羅茨真空泵機組
SJ：適合中小工藝直接抽真空的應用，包括鋰電新能源、化工制藥、鋼鐵治煉等。
SJR：采用羅茨泵+干式螺桿真空泵的多段抽空機組，可選2段、3段式真空泵，粉塵和液體處理能力強，適用于常規(guī)抽空、拉晶、鋰電新能源及部分ALD等應用。
SJRE：采用羅茨泵+增強型干式螺桿真空泵機組，處理粉塵能力更強，且熱穩(wěn)定性高，適合CVD、ALD等工藝。
RM：采用羅茨泵+多級羅茨干泵的機組，能耗小、過程溫度可控、噪音低，適合實驗室，鍍膜、半導體等應用
SBJ：采用變徑變距的干式螺桿真空泵的單泵機組，更加節(jié)能、低噪和低排氣溫度，適用于鋰電新能源、化工、制藥、光伏、半導體等應用。
SBJR：采用羅茨泵+變徑變距的干式螺桿真空泵的多段抽空機組，可選2段式、3段式機組，更加節(jié)能、低噪和低排氣溫度，適用于電新能源、化工、制藥、光伏、半導體等應用。
技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱	干式等徑等距螺桿真空泵
型號	極限壓力	抽氣速率		進氣口徑	排氣口徑	冷卻方式	功率	質(zhì)量
DS-6	5Pa	20m³/h	≈ 6L/s	KF25	KF25	風冷	1100W	55kg
DS-14	5Pa	50m³/h	≈ 14L/s	KF40	KF25	風冷	1500W	90kg
DS-22	5Pa	80m³/h	≈ 22L/s	KF40	KF40	風冷	2200W	110kg
DS-50	2Pa	180m³/h	≈ 50L/s	40mm	40mm	2.5L/min	7500W	295kg
DS-69	2Pa	250m³/h	≈ 69L/s	80mm	80mm	2.6L/min	7500W	350kg
DS-111	2Pa	400m³/h	≈ 111L/s	100mm	100mm	2.8L/min	15000W	480kg
DS-150	2Pa	540m³/h	≈ 150L/s	150mm	150mm	3L/min	18500W	520kg
DS-200	2Pa	720m³/h	≈ 200L/s	200mm	200mm	4L/min	22000W	680kg
DS-300	2Pa	1080m³/h	≈ 300L/s	250mm	200mm	5.5L/min	30000W	950kg

產(chǎn)品名稱	干式等徑變距螺桿真空泵
型號	極限壓力	抽氣速率		進氣口徑	排氣口徑	冷卻方式	功率	質(zhì)量
DVS-69	2Pa	250m³/h	≈ 69L/s	65mm	40mm	2.5L/min	7500W	295kg
DVS-111	2Pa	400m³/h	≈ 111L/s	80mm	40mm	2.6L/min	7500W	350kg
DVS-160	2Pa	576m³/h	≈ 160L/s	100mm	65mm	2.8L/min	15000W	480kg
DVS-220	2Pa	792m³/h	≈ 220L/s	150mm	65mm	3L/min	18500W	520kg
DVS-330	2Pa	1188m³/h	≈ 330L/s	150mm	65mm	4L/min	30000W	680kg
DVS-450	2Pa	1620m³/h	≈450L/s	200mm	80mm	6L/min	45000W	950kg
DVS-280	100Pa	1008m³/h	≈ 280L/s	150mm	65mm	3.2L/min	22000W	520kg
DVS-300	100Pa	1080m³/h	≈ 300L/s	150mm	65mm	4L/min	22000W	520kg
DVS-400	100Pa	1440m³/h	≈400L/s	150mm	65mm	5L/min	37000W	680kg

產(chǎn)品名稱	羅茨真空泵
型號	極限壓力		抽氣速率	進氣口徑	排氣口徑	溢流閥	功率	質(zhì)量
RZ-150	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	150L/s	100mm	100mm	無	2200W	180kg
RZ-300	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	300L/s	150mm	150mm	無	4000W	250kg
RZ-600	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	600L/s	200mm	200mm	無	7500W	550kg
RZ-1200	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	1200L/s	250mm	200mm	無	11000W	730kg
RZ-5000	0.8Pa	5 .6×10-³Pa	5000L/s	400mm	400mm	無	30000W	1800kg
RZP-70	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	70L/s	80mm	80mm	有	1100W	110kg
RZP-150	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	150L/s	100mm	100mm	有	2200W	190kg
RZP-300	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	300L/s	150mm	150mm	有	4000W	265kg
RZP-600	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	600L/s	200mm	200mm	有	7500W	570kg
RZP-1200	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	1200L/s	250mm	200mm	有	11000W	770kg
RZP-2500	0.75Pa	5 .6×10-³Pa	2500L/s	320mm	320mm	有	18500W	1350kg

產(chǎn)品名稱	干式螺桿羅茨真空泵機組
型號	JRZ-150-S3	JRZ-150-S2	JRZ-300-S3	JRZ-300-S2	JRZ-600-S4	JRZ-600-S3	JRZ-1200-VS4
前級螺桿泵	DS50	DS70	DS110	DS150	DS150	DS200	DVS300
羅茨主泵	RZ150	RZ150	RZ300	RZ300	RZ600	RZ600	RZ1200
抽氣速率	150L/s	150L/s	300L/s	300L/s	600L/s	600L/s	1200L/s
抽速比	3	2 .14	2 .73	2	4	3	4
極限壓力	0 . 5Pa	0 .1Pa	0 .1Pa	0 .1Pa	0 .1Pa	0 .1Pa	0 .2Pa
主泵功率	3000W	3000W	3500W	3500W	4500W	4500W	11000W
前級泵功率	7500W	7500W	4500W	4500W	4500W	7500W	7500W
進氣口徑	100mm	100mm	150mm	150mm	145mm	145mm	250mm
排氣口徑	40mm	40mm	50mm	50mm	40mm	40mm	40mm
冷卻水量	4L/min	4L/min	5L/min	5L/min	6L/min	7L/min	9L/min
重量	600kg	600kg	650kg	650kg	650kg	700kg	1250kg

名稱	干式等徑變距螺桿真空泵
型號	抽速		極限壓力	進氣口	排氣口	電壓	功率	N2吹掃	冷源
SJ-80	80m³/h	22L/s	≤1Pa(≤1*10-²mbar/≤7.5*10-³Torr）	NW50	NW40	220V或380V	3kW	標配	選配
SJ-180	180m³/h	50L/s		NW50	NW40		4.5kW	標配	選配
SJ-200	200m³/h	56L/s		ISO63	NW40		6kW	標配	選配
SJ-300	300m³/h	83L/s		ISO63	NW40		6kW	標配	選配
SJ-380	380m³/h	106L/s		ISO63	NW40		7.5kW	標配	選配
SJ-450	450m³/h	125L/s		ISO63	ISO63		11kW	標配	選配
SJ-580	580m³/h	161 L/s		ISO100	ISO63		11kW	標配	選配
SJ-680	680m³/h	189L/s		ISO100	ISO63		15kW	標配	選配
SJ-950	950m³/h	264L/s		ISO100	ISO80		22kW	標配	選配
SJ-1200	1200m³/h	333L/s		ISO160	ISO80		22kW	標配	選配
SJ-1500	1500m³/h	417L/s		ISO160	ISO80		37kW	標配	選配
SJ-2500	2500m³/h	694L/s		ISO160	ISO100		55kW	標配	選配

名稱	干式等徑變距螺桿真空泵機組
型號	抽速		極限壓力	進氣口	排氣口	電壓	功率	N2吹掃	冷源
SJR-600	600m³/h	167L/s	≤1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-?Torr）	ISO160	NW40	220V或380V	4.5/2kW	標配	選配
SJR-1200	1200m³/h	333L/s		ISO160	NW40		4.5/4.5kW	標配	選配
SJR-1500	1500m³/h	417L/s		ISO160	NW40		4.5/4.5kW	標配	選配
SJR-2100	2100m³/h	583L/s		ISO160	NW40		6/4.5kW	標配	選配
SJR-4200	4200m³/h	1167L/s		ISO200	NW40		6/6kW	標配	選配
SJR-4500	4500m³/h	1250L/s		ISO250	ISO63		11/7.5kW	標配	選配
SJR-5400	5400m³/h	1 500L/s		ISO250	ISO63		15/7.5kW	標配	選配
SJR-6300	6300m³/h	1750L/s		ISO250	ISO63		15/11 kW	標配	選配
SJR-7200	7200m³/h	2000L/s		ISO250	ISO80		22/15kW	標配	選配

名稱	干式增強螺桿真空泵機組
型號	抽速		極限壓力	進氣口	排氣口	電壓	功率	N2吹掃	冷源
SJRE-600	600m³/h	167L/s	≤1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-?Torr）	ISO100	NW40	220V或380V	4.5/2kW	標配	選配
SJRE-1200	1200m³/h	333L/s		ISO160	NW40		4.5/4.5kW	標配	選配
SJRE-1800	1800m³/h	500L/s		ISO160	NW40		4.5/4.5kW	標配	選配
SJRE-3000	3000m³/h	833L/s		ISO200	NW40		11 /6kW	標配	選配
SJRE-4500	4500m³/h	1250L/s		ISO250	NW40		11 /7.5kW	標配	選配
SJRE-5400	5400m³/h	1500L/s		ISO250	NW40		11/11kW	標配	選配

名稱	干式多級羅茨真空泵機組
型號	抽速		極限壓力	進氣口	排氣口	電壓	功率	N2吹掃	冷源
RM-600	600m³/h	167L/s	≤1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-?Torr）	ISO160	NW40	220V或380V	4.5/2kW	標配	選配
RM-1200	1200m³/h	333L/s		ISO160	NW40		4.5/4.5kW	標配	選配
RM-1800	1800m³/h	500L/s		ISO160	NW40		4.5/4.5kW	標配	選配
RM-3000	3000m³/h	833L/s		ISO250	NW40		11 /6kW	標配	選配
RM-4500	4500m³/h	1250L/s		ISO250	NW40		11 /7.5kW	標配	選配
RM-5400	5400m³/h	1 500L/s		ISO250	NW40		11/11kW	標配	選配

名稱	干式變徑變距真空泵機組
型號	抽速		極限壓力	進氣口	排氣口	電壓	功率	N2吹掃	冷源
SBJ-160	160m³/h	44L/s	≤0.1Pa(≤1*10-³mbar/≤7.5*10-?Torr）	ISO63	NW40	220V或380V	4.5kW	標配	選配
SBJ-300	300m³/h	83L/s		ISO63	NW40		6kW	標配	選配
SBJ-500	500m³/h	139L/s		ISO100	NW50		11kW	標配	選配
SBJ-800	800m³/h	222L/s		ISO100	NW50		22kW	標配	選配

名稱	干式變徑變距螺桿真空泵機組
型號	抽速		極限壓力	進氣口	排氣口	電壓	功率	N2吹掃	冷源
SBJR-1200	1200m³/h	333L/s	≤0.1Pa(≤1*10-²mbar/≤7.5*10-³Torr）	ISO160	NW40	220V或380V	4.5/4.5kW	標配	選配
SBJR-2100	2100m³/h	583L/s		ISO160	NW40		6/4.5kW	標配	選配
SBJR-3000	3000m³/h	833L/s		ISO200	NW40		6/6kW	標配	選配
SBJR-4200	4200m³/h	1167L/s		ISO250	NW40		6/7.5kW	標配	選配
SBJR-5400	5400m³/h	1500L/s		ISO250	NW50		15/7.5kW	標配	選配
SBJR-7200	7200m³/h	2000L/s		ISO250	NW50		22/115kW	標配	選配

名稱	超高真空復合分子泵
型號	抽速		極限壓力	進氣口	排氣口	電源電壓	功率	N2吹掃	冷源
UHV-7200	7200m³/h	2000L/s	5*10-?Pa前級2Torr	ISO250	NW40	220V50Hz	1kW	標配	標配
UHV-16200	16200m³/h	4500L/s		ISO400	NW40		1kW	標配	標配

名稱	磁懸浮復合分子泵
型號	抽速		極限壓力	進氣口	排氣口	電源電壓	功率	N2吹掃	冷源
MFP-4320	4320m³/h	2000L/s	5*10-?Pa前級2Torr	ISO200	NW40	220V50Hz	0.75kW	標配	標配
MFP-9720	9720m³/h	2700L/s	1*10-?Pa前級2Torr	ISO250	NW40	220V50Hz	1.8kW	標配	標配
MFP-11880	11880m³/h	3300L/s	1*10-?Pa前級2Torr	ISO320	NW40	220V50Hz	1.8kW	標配	標配
MFP-16200	16200m³/h	4500L/s	1*10-?Pa前級2Torr	ISO400	NW40	220V50Hz	1.8kW	標配	標配