在現(xiàn)代半導(dǎo)體制造、新材料研發(fā)、精密電子元器件生產(chǎn)等核心工業(yè)領(lǐng)域,導(dǎo)電性能參數(shù)的精準(zhǔn)檢測直接決定了最終產(chǎn)品的品質(zhì)上限與使用可靠性。從晶圓級的半導(dǎo)體基片、各類精密金屬涂層,到微米級厚度的導(dǎo)電薄膜,再到工業(yè)場景中大量使用的電阻元器件,其電阻率、方塊電阻、電阻值的檢測精度往往要求達(dá)到萬分之一甚至更高的量級,普通的常規(guī)電阻測試設(shè)備早已無法適配這類高精度的檢測需求。作為專注于導(dǎo)電材料性能驗(yàn)證的專業(yè)級檢測設(shè)備,金屬導(dǎo)電電阻率測試儀BEST-300C依托四探針測試法、雙電測核心原理的技術(shù)優(yōu)勢,實(shí)現(xiàn)了遠(yuǎn)超行業(yè)平均水準(zhǔn)的測量精度與穩(wěn)定性,已經(jīng)成為生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研院所檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體、半導(dǎo)體材料質(zhì)量的核心工具。
一、高精度金屬與半導(dǎo)體電阻率檢測的行業(yè)剛需與技術(shù)背景
電阻率作為導(dǎo)電材料最核心的基礎(chǔ)物理參數(shù)之一,其數(shù)值的精準(zhǔn)度直接關(guān)聯(lián)到下游所有應(yīng)用場景的產(chǎn)品性能表現(xiàn)。在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中,晶圓基片的電阻率均勻度直接決定了后續(xù)制成的集成電路芯片的良率,哪怕是極微小的電阻率偏差,都可能導(dǎo)致大量芯片出現(xiàn)性能不達(dá)標(biāo)甚至直接失效的問題,據(jù)半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)部統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示,晶圓原材料電阻率檢測的誤差超出允許范圍1%時,最終芯片的生產(chǎn)良率可能會出現(xiàn)5%以上的下滑,給制造企業(yè)帶來數(shù)以億計(jì)的經(jīng)濟(jì)損失;在新能源行業(yè)的涂層電極生產(chǎn)環(huán)節(jié),金屬導(dǎo)電涂層的方阻均勻度直接影響電池的充放電效率、循環(huán)壽命與安全性,方阻分布不均的電極材料會導(dǎo)致電池內(nèi)部出現(xiàn)局部過熱、充放電速度不匹配的問題,大幅降低動力電池的使用壽命,甚至引發(fā)熱失控的安全隱患;在精密電子元器件制造領(lǐng)域,直流電阻的測試精度直接決定了電阻器的性能等級,精密電阻的阻值偏差要求控制在萬分之幾的范圍內(nèi),普通測試設(shè)備根本無法完成這類高精度的校準(zhǔn)與質(zhì)檢工作。
傳統(tǒng)的二探針測試方法早已無法滿足這類高精度檢測的需求,傳統(tǒng)測試過程中探針與被測材料的接觸電阻、測試引線的自身電阻都會疊加到最終的測試結(jié)果中,往往接觸電阻的阻值就已經(jīng)超過了被測低阻材料本身的電阻值,導(dǎo)致最終測試結(jié)果出現(xiàn)極大偏差。而四端測試法也就是四探針測試技術(shù),是目前行業(yè)內(nèi)的低阻測試方案,通過在被測樣品上布置四根獨(dú)立的探針,外側(cè)兩根探針通入恒定測試電流,內(nèi)側(cè)兩根探針檢測電壓降,將測試引線電阻、探針接觸電阻從最終的測試結(jié)果中剔除,從原理層面消除了傳統(tǒng)二探針測試方法的固有誤差,為微歐姆級別的高精度低阻測試提供了可行的技術(shù)路徑。
金屬導(dǎo)電電阻率測試儀BEST-300C正是基于成熟的四探針雙電測技術(shù)開發(fā)而來,不僅覆蓋了常規(guī)四探針測試儀的所有功能,還額外增加了恒流源保護(hù)、正反向電流換向修正、溫度補(bǔ)償、自動厚度修正等大量針對性優(yōu)化的功能,從硬件設(shè)計(jì)到軟件算法全維度保障測試結(jié)果的高精度與高穩(wěn)定性,適配當(dāng)前所有材料制造領(lǐng)域?qū)?dǎo)電性能高精度檢測的剛需,無論是常規(guī)的金屬、半導(dǎo)體材料,還是各類新型導(dǎo)電薄膜、復(fù)合導(dǎo)電涂層,都可以依托這款設(shè)備完成精準(zhǔn)的性能檢測。

二、核心特點(diǎn)全面解析
作為面向高精度導(dǎo)電材料檢測場景開發(fā)的專業(yè)級設(shè)備,BEST-300C的核心特點(diǎn)圍繞高精度、高穩(wěn)定性、操作便捷性的核心需求設(shè)計(jì),每一項(xiàng)功能都針對實(shí)際檢測場景的痛點(diǎn)進(jìn)行了優(yōu)化,具體特點(diǎn)明細(xì)如下:
測量精度表現(xiàn),儀器電阻精度可達(dá)0.01%,最小分辨率低至0.1uΩ;方電阻精度可達(dá)1%,最小分辨率同樣為0.1uΩ,遠(yuǎn)超同類型常規(guī)四探針測試儀的精度水平,可以滿足萬分之一級別的超高精度低阻測試需求,哪怕是阻值極低的金屬塊材、超厚導(dǎo)電鍍層,都可以精準(zhǔn)捕捉到其電阻參數(shù)的微小變化。
第二,雙電測核心原理加持,通過雙電測模式的特殊算法設(shè)計(jì),進(jìn)一步屏蔽了外界環(huán)境干擾、探針接觸不穩(wěn)定帶來的測試結(jié)果偏差,相比普通的單電流模式四探針測試儀,設(shè)備的長期穩(wěn)定性提升數(shù)倍,長時間連續(xù)開機(jī)進(jìn)行大批量樣品測試,也不會出現(xiàn)測試結(jié)果漂移的問題,適配工業(yè)生產(chǎn)流水線長時間不間斷的質(zhì)檢工作場景。
第三,測試探頭支持直排和矩形兩種不同構(gòu)型可選,直排四探針適配常規(guī)的均勻片狀、塊狀材料測試場景,矩形四探針則專門適配薄膜類、小尺寸樣品的方阻測試需求,用戶可以根據(jù)自己日常測試的樣品類型自由選擇對應(yīng)的探頭類型,也可以后續(xù)按需更換不同規(guī)格的探頭,無需更換整機(jī)設(shè)備就可以擴(kuò)展更多測試場景。
第四,通訊接口配置極為豐富,標(biāo)配RS232、LAN、IO三類通訊接口,既可以通過RS232接口連接普通工業(yè)電腦完成數(shù)據(jù)傳輸,也可以通過LAN接口直接接入企業(yè)內(nèi)部局域網(wǎng),實(shí)現(xiàn)多臺設(shè)備的數(shù)據(jù)集中上傳、遠(yuǎn)程控制,IO接口則可以直接對接自動化測試流水線的控制系統(tǒng),將儀器嵌入全自動化的樣品檢測產(chǎn)線中,無需人工干預(yù)即可完成全自動測試流程。
第五,配套專屬測試數(shù)據(jù)管理軟件,連接電腦后即可直接查看和記錄所有測試點(diǎn)位的測試數(shù)據(jù),不需要人工手動抄寫記錄,避免人工記錄帶來的數(shù)據(jù)誤差,所有數(shù)據(jù)自動歸檔存儲,方便后續(xù)進(jìn)行追溯與分析。
這些核心特點(diǎn)讓BEST-300C區(qū)別于市面上普通的經(jīng)濟(jì)型四探針測試設(shè)備,成為高精度材料檢測場景的選擇。
三、全場景適用范圍詳解
依托的硬件性能與靈活的配置能力,BEST-300C可以覆蓋數(shù)十類不同材料的導(dǎo)電性能檢測需求,適用范圍覆蓋從基礎(chǔ)材料研發(fā)到大批量生產(chǎn)質(zhì)檢的全鏈條環(huán)節(jié):
借助配套的四探針治具,儀器可以直接測試片狀或塊狀半導(dǎo)體材料、各類金屬涂層以及不同厚度的導(dǎo)電薄膜的電阻和電阻率,適配半導(dǎo)體晶圓、金屬導(dǎo)電鍍層、ITO導(dǎo)電玻璃薄膜、石墨烯導(dǎo)電膜等各類主流新型導(dǎo)電材料的測試需求,是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新型顯示產(chǎn)業(yè)、新材料研發(fā)領(lǐng)域的標(biāo)配檢測設(shè)備。
搭配開爾文測試夾,儀器可以直接測試各類電阻器的直流電阻,無論是常規(guī)的碳膜電阻、金屬膜電阻,還是高精度的線繞電阻、毫歐級小阻值精密電阻,都可以實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)測試,電阻元器件生產(chǎn)企業(yè)的出廠質(zhì)檢、高校實(shí)驗(yàn)室精密電阻校準(zhǔn)的需求。
儀器配套不同的測量裝置,還可以測試不同材料的電導(dǎo)率,從高純度金屬塊材的高電導(dǎo)率測試,到半導(dǎo)電復(fù)合材料的中低電導(dǎo)率測試,都可以直接輸出精準(zhǔn)結(jié)果,無需人工額外換算,儀器內(nèi)部自動完成單位轉(zhuǎn)換。
正因?yàn)閺V泛的適用性,這款儀器被大量應(yīng)用在各類材料相關(guān)的生產(chǎn)企業(yè)、高等院校的材料學(xué)院、物理學(xué)院、微電子學(xué)院實(shí)驗(yàn)室,以及新材料相關(guān)的科研院所,成為檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的重要工具,在大量重點(diǎn)科研項(xiàng)目、核心工業(yè)產(chǎn)品研發(fā)過程中都能看到這款儀器的應(yīng)用場景。
在實(shí)際測試過程中,儀器自帶的4.3吋大液晶屏幕可以清晰展示所有測量結(jié)果,不需要人工手動計(jì)算,設(shè)備內(nèi)置的溫度補(bǔ)償功能可以自動修正溫度漂移帶來的測試偏差,電導(dǎo)率單位可以根據(jù)測試結(jié)果自動選擇適配,儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程,不需要人工多次重復(fù)設(shè)置參數(shù),哪怕是初次接觸這類設(shè)備的操作人員,也可以在極短的時間內(nèi)掌握使用方法。儀器支持中文或英文兩種語言操作界面選擇,既可以滿足國內(nèi)用戶的中文操作習(xí)慣,也可以適配海外客戶的使用需求,沒有語言使用障礙。
四探針電阻測試儀本身就是運(yùn)用四探針原理測量方塊電阻的專用儀器,BEST-300C進(jìn)一步升級了測試算法,讓電阻率和電導(dǎo)率可以同時直接顯示,測試范圍覆蓋0-10MΩ,適配絕大多數(shù)低阻、中阻導(dǎo)電材料的測試場景。
四、主要參數(shù)
所有核心性能參數(shù)經(jīng)過針對性優(yōu)化設(shè)計(jì),匹配高精度導(dǎo)電材料測試的相關(guān)要求,具體明細(xì)如下:
便于查看的顯示/直觀的操作性:高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示;操作易學(xué),直觀使用;
基本設(shè)置操作簡單,方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果;多種參數(shù)同時顯示。
精度高:電阻基本準(zhǔn)確度: 0.01%;方阻基本準(zhǔn)確度:1%;電阻率基本準(zhǔn)確度:1%
整機(jī)測量相對誤差:≤±1%;整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤±1%
五、BEST-300C與BEST-300基礎(chǔ)款設(shè)備的性能優(yōu)勢對比
為了讓用戶清晰了解不同配置設(shè)備的差異,我們將全功能高配版的BEST-300C和基礎(chǔ)款BEST-300的各項(xiàng)性能指標(biāo)進(jìn)行對比,可以直觀看到BEST-300C的全面升級優(yōu)勢:
是整機(jī)誤差與不確定度的差異,BEST-300的整機(jī)測量相對誤差為≤±3%,整機(jī)不確定度為≤±3%,僅能滿足普通精度要求的常規(guī)測試場景,而BEST-300C的整機(jī)測量相對誤差≤±1%,整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤±1%,精度水平提升了3倍,可以滿足高精度科研場景、半導(dǎo)體制造場景的苛刻檢測要求。
第二是測試檔位的豐富度差異,BEST-300C擁有從20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10MΩ共計(jì)10個測試檔位,支持手動測試和自動測試雙模式,同時還支持實(shí)現(xiàn)HIGH/IN/LOW分選功能,而BEST-300僅擁有2000mΩ /20 Ω /200 Ω /2000 Ω /20kΩ/200kΩ共計(jì)6個檔位,不具備分選功能,檔位數(shù)量的缺失讓BEST-300無法覆蓋超小阻值、超大阻值的測試需求。
第三是測量范圍的巨大差異,BEST-300C的電阻測試范圍為10^-7Ω~10^+8Ω,方阻測試范圍為10^-7Ω/□~10^+8 Ω/□,覆蓋的阻值范圍極廣,而BEST-300的電阻測試范圍僅為10^-5Ω~10^+5Ω,方阻測試范圍為10^-4Ω/□~10^+5Ω/□,大量超小阻值的低阻材料、超高阻值的半絕緣半導(dǎo)體材料的測試需求根本無法滿足。
第四是顯示語言的差異,BEST-300C支持中/英文界面自由切換,適配不同地區(qū)用戶的使用需求,而BEST-300僅支持英文單一語言,國內(nèi)普通操作人員使用存在較高的門檻。
第五是校準(zhǔn)與附加功能的差異,BEST-300C支持手動或自動選擇測試量程,支持全量程自動清零,還可以自動進(jìn)行電流換向,完成正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量并顯示平均值,測試薄片樣品的時候還可以自動進(jìn)行厚度修正,而BEST-300不具備上述所有附加功能,操作流程繁瑣,測試結(jié)果的誤差來源更多。
的性能對比可以看出,BEST-300C屬于全功能高配的高精度四探針電阻率測試儀,在精度、測試范圍、功能豐富度、操作便捷性上都對基礎(chǔ)款設(shè)備實(shí)現(xiàn)了全面超越,哪怕是要求重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室檢測場景、半導(dǎo)體大生產(chǎn)線質(zhì)檢場景,都可以輕松勝任。
六、BEST-300C儀器核心功能細(xì)節(jié)全解讀
除了公開的核心性能參數(shù)之外,BEST-300C還有大量面向?qū)嶋H測試場景優(yōu)化的細(xì)節(jié)功能,這些功能極大提升了設(shè)備的易用性與測試結(jié)果的可靠性,解決了傳統(tǒng)四探針測試設(shè)備長期存在的諸多痛點(diǎn):
正反向電流源修正測量電阻誤差的功能,傳統(tǒng)的單向恒流源測試模式下,很容易因?yàn)楸粶y材料自身的熱電勢、接觸電勢的干擾,導(dǎo)致最終的測試結(jié)果出現(xiàn)固定偏差,BEST-300C的專屬算法會自動進(jìn)行電流換向,分別測量正向電流和反向電流作用下的電阻數(shù)值,通過算法將兩次測試結(jié)果取平均值,直接抵消熱電勢帶來的系統(tǒng)誤差,從算法層面進(jìn)一步提升測試結(jié)果的準(zhǔn)確度。
第二是可調(diào)控的高精度恒流源設(shè)計(jì),儀器內(nèi)置的恒流源電流量程覆蓋DC100mA-1A,配備了專屬的恒流源開關(guān),從根本上解決了傳統(tǒng)四探針測試儀探針接觸被測樣品瞬間容易打火的問題,操作人員可以先讓探針頭穩(wěn)穩(wěn)壓觸在被測材料上,之后再打開恒流源開關(guān),避免接觸瞬間的電火花打壞被測樣品,特別是針對晶圓這類極易被靜電打火損壞的高價值樣品,這個功能可以大幅降低樣品測試損耗,避免昂貴的樣品因?yàn)闇y試操作不當(dāng)直接報(bào)廢。如果日常測試的樣品對電壓觸碰不敏感,操作人員也可以把恒流源開關(guān)長期處于開啟狀態(tài),進(jìn)一步提升大批量測試的工作效率。
第三是靈活的適配拓展能力,儀器可以配合多種不同規(guī)格的探頭進(jìn)行測試,用戶既可以選擇直排四探針、矩形四探針,也可以按需搭配二探針、開爾文測試夾等不同的配件,適配不同場景的測試需求;同時儀器也可以直接對接各類手動、自動測試臺,配合測試臺的移動功能完成樣品不同點(diǎn)位的全自動掃描測試,獲取整個樣品表面的電阻率均勻度分布數(shù)據(jù),不需要人工手動移動探針測試不同點(diǎn)位,大幅提升掃描測試的效率。
第四是厚度預(yù)設(shè)自動修正功能,操作人員只需要提前將被測薄片樣品的厚度數(shù)值預(yù)設(shè)到儀器中,儀器在完成基礎(chǔ)的方阻測試之后,不需要人工查表、手動輸入公式計(jì)算,就可以自動修正樣品厚度對應(yīng)的參數(shù),直接輸出最終的精準(zhǔn)電阻率數(shù)值,省去了傳統(tǒng)設(shè)備需要人工查表換算的繁瑣流程,避免人工換算過程中出現(xiàn)的計(jì)算錯誤。
第五是成熟的雙電測測試模式,基于雙電測的核心算法邏輯,儀器不需要提前校準(zhǔn)探針間距相關(guān)參數(shù),就可以自動抵消探針間距偏差、探針接觸位置微小偏移帶來的測試結(jié)果偏差,測量精度和長期穩(wěn)定性相比傳統(tǒng)模式的四探針設(shè)備有質(zhì)的提升,哪怕設(shè)備經(jīng)過長時間的使用,探針出現(xiàn)微小的磨損,也不會對最終的測試結(jié)果帶來明顯的影響,大幅降低了設(shè)備的日常維護(hù)校準(zhǔn)頻率。
第六是專業(yè)的溫度補(bǔ)償功能,半導(dǎo)體、金屬這類導(dǎo)電材料的電阻率會隨著環(huán)境溫度的變化出現(xiàn)明顯的漂移,普通的四探針測試儀沒有溫度補(bǔ)償機(jī)制,不同溫度環(huán)境下測試出來的結(jié)果沒有橫向可比性,BEST-300C內(nèi)置的溫度補(bǔ)償模塊可以實(shí)時采集測試環(huán)境溫度,自動根據(jù)對應(yīng)材料的溫度系數(shù)修正被測材料溫漂帶來的測試結(jié)果偏差,讓不同環(huán)境溫度下測試得到的結(jié)果都可以統(tǒng)一到標(biāo)準(zhǔn)溫度下的數(shù)值,大幅提升了測試結(jié)果的橫向可比性。
第七是直觀高效的分選判斷功能,儀器配備了獨(dú)立的比較器判斷燈,測試完成之后操作人員不需要查看屏幕上的復(fù)雜參數(shù),就可以通過指示燈直接判定樣品是否合格,作業(yè)效率得到大幅提升。儀器支持3檔分選功能,分別對應(yīng)超上限、合格、超下限三類結(jié)果,被測件的HI/LOW判定結(jié)果既可以直接在LCD屏幕上用標(biāo)志直觀顯示,也可以通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果,直接對接自動化流水線的分揀機(jī)構(gòu),自動將不同合格狀態(tài)的樣品分流到不同的區(qū)域,實(shí)現(xiàn)無人值守的自動化分選測試。
第八是雙模式測試的靈活選擇,儀器既可以不連接電腦,在單機(jī)模式下獨(dú)立完成所有測試操作,直接在屏幕上顯示所有測試結(jié)果,適配實(shí)驗(yàn)室桌面小批量測試的場景;也可以連接電腦進(jìn)行操作,借助電腦端的軟件實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜的數(shù)據(jù)分析、批量數(shù)據(jù)存儲功能,適配大量需要長期存檔測試數(shù)據(jù)的工業(yè)質(zhì)檢場景。
第九是選配的專業(yè)數(shù)據(jù)分析軟件功能,配套的專屬軟件可以自動記錄、保存樣品所有點(diǎn)位的測試數(shù)據(jù),支持用戶對所有數(shù)據(jù)進(jìn)行多維度的統(tǒng)計(jì)分析,自動生成對應(yīng)的測試圖表、標(biāo)準(zhǔn)測試報(bào)表,直接符合各類質(zhì)檢體系、實(shí)驗(yàn)室資質(zhì)認(rèn)定的數(shù)據(jù)歸檔要求,不需要人工手動整理報(bào)表,大幅降低了質(zhì)檢人員的工作負(fù)擔(dān)。
七、適配的全品類材料測試場景
依托的性能配置,BEST-300C幾乎覆蓋了所有低阻、中阻導(dǎo)電相關(guān)材料的檢測需求,不同行業(yè)的用戶都可以借助該設(shè)備完成符合要求的測試工作:
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,從單晶硅、多晶硅晶圓基片,到碳化硅、氮化鎵等第三代半導(dǎo)體材料,再到各類半導(dǎo)體外延片,都可以使用BEST-300C完成電阻率均勻度掃描測試,精準(zhǔn)判斷晶圓不同區(qū)域的導(dǎo)電性能是否均勻,為后續(xù)的芯片制造工藝提供準(zhǔn)確的基礎(chǔ)數(shù)據(jù)支撐;
在新型顯示產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,各類ITO導(dǎo)電玻璃、納米銀線導(dǎo)電薄膜、石墨烯導(dǎo)電膜等柔性顯示用到的導(dǎo)電薄膜,都可以用該設(shè)備完成方阻測試,精準(zhǔn)判斷薄膜鍍層的均勻度,篩選出方阻不達(dá)標(biāo)的不合格產(chǎn)品,避免不良的導(dǎo)電薄膜流入后續(xù)面板生產(chǎn)工序,造成大量的材料浪費(fèi);
在新能源產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,動力電池的正負(fù)極導(dǎo)電涂層、集流體材料、燃料電池的雙極板導(dǎo)電材料,都可以使用該設(shè)備完成導(dǎo)電性能檢測,保障電極材料的導(dǎo)電參數(shù)符合設(shè)計(jì)要求,從材料層面保障動力電池的性能與安全性;
在精密電子元器件領(lǐng)域,各類高精度線繞電阻、采樣電阻、分流電阻等小阻值精密電阻產(chǎn)品,都可以借助開爾文測試夾連接BEST-300C完成高精度直流電阻測試,完成產(chǎn)品出廠前的全檢分選,保障每一個出廠的電阻產(chǎn)品的阻值精度都符合標(biāo)稱等級要求;
在航空航天領(lǐng)域,各類高精度導(dǎo)電合金材料、航空航天線路用的低阻導(dǎo)線,都可以使用該設(shè)備完成高精度電阻測試,保障材料的導(dǎo)電性能符合的可靠性要求,避免因?yàn)閷?dǎo)電參數(shù)不達(dá)標(biāo)引發(fā)的航空航天裝備故障;
在高等院校與科研院所的新材料研發(fā)場景,各類新型復(fù)合導(dǎo)電材料、二維導(dǎo)電材料、納米導(dǎo)電材料的基礎(chǔ)研發(fā)工作,都可以借助該設(shè)備完成高精度的電阻率參數(shù)測量,獲取精準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),為新材料的性能優(yōu)化提供可靠的數(shù)據(jù)支撐。
廣泛的場景適配能力,讓這一臺設(shè)備就可以覆蓋幾乎所有導(dǎo)電材料的高精度檢測需求,大幅降低了不同領(lǐng)域用戶的多品類檢測設(shè)備采購成本,的性價比讓其成為各行各業(yè)導(dǎo)電性能檢測的優(yōu)選設(shè)備。
八、實(shí)際測試操作全流程指南
依托設(shè)備的高度自動化設(shè)計(jì),使用BEST-300C完成導(dǎo)電材料電阻率測試的操作流程非常簡便,普通操作人員經(jīng)過簡單的培訓(xùn)就可以獨(dú)立完成全部測試流程,不需要掌握復(fù)雜的電學(xué)測試專業(yè)知識:
測試前的準(zhǔn)備工作,根據(jù)待測樣品的類型選擇對應(yīng)的測試探頭或者測試夾,完成設(shè)備開機(jī)預(yù)熱,將待測樣品放置在穩(wěn)定的測試臺面上,如果是薄片類樣品,提前將樣品的厚度數(shù)值輸入到儀器的參數(shù)設(shè)置界面中,開啟儀器對應(yīng)的溫度補(bǔ)償功能,讓儀器自動適配當(dāng)前測試環(huán)境的溫度條件。
第二步是探針接觸操作,將四探針的探頭移動到待測樣品的表面,讓四根探針穩(wěn)穩(wěn)和樣品表面接觸,確認(rèn)接觸沒有虛接的情況之后,再打開儀器前面板的恒流源開關(guān),避免探針接觸瞬間打火損壞高價值樣品。
第三步是啟動測試流程,按下儀器的啟動測試按鍵,儀器會自動選擇適配的測試量程,自動通入正反向測試電流完成兩次測試,直接通過算法完成所有誤差修正,數(shù)毫秒的時間之后就可以直接在屏幕上同步顯示出電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率、當(dāng)前溫度所有參數(shù)的完整結(jié)果,同時對應(yīng)的分選指示燈直接亮起,展示當(dāng)前樣品的合格狀態(tài)。
第四步是數(shù)據(jù)歸檔操作,如果是單機(jī)測試場景,所有測試數(shù)據(jù)都會自動保存在儀器的內(nèi)部存儲中,后續(xù)可以隨時調(diào)用查看;如果連接了上位機(jī)軟件,所有測試數(shù)據(jù)會自動同步到電腦軟件中,自動生成對應(yīng)的測試報(bào)表,用戶可以按需導(dǎo)出數(shù)據(jù)進(jìn)行后續(xù)的分析、打印,完成數(shù)據(jù)歸檔工作。
整套操作流程沒有任何復(fù)雜的步驟,省去了傳統(tǒng)四探針測試儀中需要人工計(jì)算、手動查表、反復(fù)調(diào)整參數(shù)的繁瑣環(huán)節(jié),哪怕是沒有相關(guān)測試經(jīng)驗(yàn)的新員工,經(jīng)過十幾分鐘的培訓(xùn)就可以熟練操作設(shè)備完成高精度測試。
九、硬件設(shè)計(jì)可靠性與長期使用保障
BEST-300C從硬件電路設(shè)計(jì)層面就進(jìn)行了大量的可靠性優(yōu)化,核心的恒流源電路采用了高精度低溫漂的元器件,長時間連續(xù)開機(jī)工作也不會出現(xiàn)參數(shù)漂移的問題,整機(jī)通過了嚴(yán)苛的可靠性測試,可以在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境、工業(yè)生產(chǎn)車間環(huán)境下長期穩(wěn)定運(yùn)行,平均工作時間可達(dá)數(shù)萬小時,幾乎不需要復(fù)雜的日常維護(hù),僅需要日常保持測試探頭的清潔、避免油污灰塵附著即可長期保持穩(wěn)定的測試精度。
儀器的核心精度指標(biāo)在正常使用條件下可以長期保持在標(biāo)稱的0.01%電阻精度水平,可以支持在全國任意計(jì)量檢測機(jī)構(gòu)完成計(jì)量檢定,符合國家相關(guān)計(jì)量規(guī)程的要求,可以為用戶出具合規(guī)的計(jì)量檢定證書,CNAS實(shí)驗(yàn)室資質(zhì)認(rèn)定、各類工業(yè)企業(yè)質(zhì)量體系審核的設(shè)備計(jì)量溯源要求,保障所有測試結(jié)果的合法性與有效性。
和傳統(tǒng)的同類型進(jìn)口高精度四探針測試設(shè)備相比,BEST-300C在保持同等甚至更優(yōu)的精度性能前提下,大幅降低了設(shè)備的采購成本,同時用戶可以獲得更加便捷的本地化技術(shù)支持服務(wù),后續(xù)設(shè)備的使用培訓(xùn)、配件更換、故障排查都可以快速響應(yīng),沒有進(jìn)口設(shè)備維護(hù)成本高、響應(yīng)周期長的痛點(diǎn)。
作為面向高精度導(dǎo)電材料測試場景開發(fā)的專業(yè)級BEST-300C憑借萬分之一級的超高測試精度、雙電測原理帶來的高穩(wěn)定性、豐富的拓展功能、極低的操作門檻,已經(jīng)成為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新材料研發(fā)、精密電子制造等領(lǐng)域應(yīng)用極為廣泛的核心檢測設(shè)備,為國內(nèi)導(dǎo)電材料性能的提升、制造產(chǎn)業(yè)的品質(zhì)升級提供了堅(jiān)實(shí)可靠的技術(shù)支撐。



















采購中心
