蒸鍍系統(tǒng)由蒸鍍真空室腔體，金屬源鍍膜系統(tǒng)，有機(jī)源鍍膜系統(tǒng)，樣品臺系統(tǒng)，真空泵機(jī)組，膜厚檢測系統(tǒng)，設(shè)備機(jī)架和電控系統(tǒng)組成，真空室前門與手套箱對接，該設(shè)備采用了一體化的設(shè)計方案，使整套設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、布局簡潔避免了實(shí)驗設(shè)備外觀凌亂的現(xiàn)象。

各部分的技術(shù)指標(biāo)如下：

1、蒸鍍真空室腔體

a)       蒸鍍真空室腔體均為USU304優(yōu)質(zhì)不銹鋼D形前后開門結(jié)構(gòu)，真空室內(nèi)部尺寸D350*450mm（暫定），焊接前各個不銹鋼部件需進(jìn)行物理，化學(xué)式表面拋光，焊接后采用電解式拋光，真空室表面潔凈美觀，真空腔體前后門均配有DN100視窗，可對真空腔體內(nèi)部進(jìn)行實(shí)時監(jiān)控，并配有擋板以及防護(hù)玻璃，預(yù)防觀察窗污染；

b)       真空腔體底部安裝2套金屬源組件（含氣動擋板），5套有機(jī)源組件（含氣動擋板），1200L/S渦輪分子泵真空泵機(jī)組，2套烘烤照明系統(tǒng)以及3套水冷膜厚探頭等；

c)       頂部安裝多功能樣品臺一套，電動樣品托擋板，KF16氣動角閥（接通手套箱與真空室，通氣作用）以及其他輔助法蘭；

d)       左側(cè)安裝CF35氣動預(yù)抽角閥，KF16氣動放氣閥以及預(yù)留若干CF35法蘭；

e)       右側(cè)預(yù)留若干CF35法蘭；

f)        蒸鍍設(shè)備后側(cè)配有鉸鏈?zhǔn)椒介T，方便清洗真空腔體，真空室內(nèi)部調(diào)試，維修以及取放物品。

2、蒸鍍真空腔蒸發(fā)源：2套金屬蒸發(fā)源，5套有機(jī)蒸發(fā)源

a)       2套金屬蒸發(fā)源：配一臺1000W可控硅調(diào)壓電源，數(shù)字表顯示蒸發(fā)電源，電流調(diào)整精度0.1A（微調(diào)），通過2根銅電極連接，兩端可夾鎢、鉬和鉭舟，每個金屬蒸發(fā)源配有氣動擋板，以便隨時遮擋蒸發(fā)源；

b)       5套有機(jī)蒸發(fā)源：在源內(nèi)放置4CC石英舟，配日本導(dǎo)電牌SR93溫控表，精度±1℃，可以實(shí)現(xiàn)溫度或電流補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)蒸鍍速率穩(wěn)定的功能，即能實(shí)現(xiàn)手動控制電流，配三臺溫控電源，有機(jī)源溫度為室溫—500度，每個有機(jī)蒸發(fā)源配有氣動擋板，以便隨時遮擋蒸發(fā)源；

c)       金屬采用陶瓷罩密封四周以及隔板分隔，有機(jī)源采用隔板分隔，避免交叉污染。

3、蒸鍍雙真空腔樣品臺系統(tǒng)：

a)       蒸鍍真空腔體樣品臺具有可升降，可旋轉(zhuǎn)，可水冷（配有熱電偶）功能；

b)       樣片托架，可安裝15*15mm樣片25片，附著掩膜板；

c)       樣片與蒸發(fā)源之間的間距為200-320mm，樣片轉(zhuǎn)速0～30轉(zhuǎn)／分連續(xù)可調(diào)；

d)       樣品臺安裝電動樣品擋板；

4、真空泵機(jī)組：

a)       通過CF200高真空氣動插板閥將真空腔體和1200L/S渦輪分子泵對接，再通過KF40高真空電磁截止閥將分子泵與9L/S機(jī)械泵對接；

b)       真空腔體和9L/S機(jī)械泵之間需要通過CF35高真空氣動角閥連接，KF40高真空電磁截止閥和CF35高真空氣動角閥和9L/S機(jī)械泵之間都需軟管之間連接。

5、膜厚檢測系統(tǒng)：

a)       采用SQC310C四通道英?？的ず駜x，膜厚儀擁有監(jiān)測膜厚速率以及累計膜厚的功能；

b)       其中2個探頭用于監(jiān)測一套金屬蒸發(fā)源和一套有機(jī)蒸發(fā)源，1個探頭用于監(jiān)測三套有機(jī)蒸發(fā)源；

6、設(shè)備機(jī)架：

設(shè)備支撐采用碳鋼40方管焊接而成獨(dú)立機(jī)架，表面噴塑，承重主體設(shè)備相關(guān)系統(tǒng)，并且可以由萬向輪移動調(diào)整為主，通過地腳定位。

7、電控系統(tǒng)系統(tǒng)：

電氣控制部分采用機(jī)架內(nèi)置；

a)       3臺有機(jī)源控制電源；

b)       1臺金屬源控制電源；

c)       蒸發(fā)源擋板控制電源；

d)       SQC310C四通道英?？的ず駜x一臺，可實(shí)現(xiàn)膜厚監(jiān)測；

e)       渦輪分子泵電源一臺、機(jī)械泵控制電源一臺以及真空測量計（一低一高）一臺；

f)        樣品臺以及其擋板控制電源一臺；

g)       真空腔體內(nèi)烘烤系統(tǒng)控制電源一臺；

h)       PLC控制器（10寸彩色觸摸屏等）；

i)        總控制電源以及其它輔助控制器。