耐腐蝕螺桿真空泵 | 嚴苛工藝下的高真空解決方案

本款螺桿真空泵專為化工、鍍膜、冶金、工業(yè)爐、半導體及鋰電池等對真空度和耐腐蝕性有較高要求的行業(yè)設計。采用干式無油螺桿結構，在抽氣過程中工作腔內無油，既避免了油蒸汽對工藝的污染，又能從容應對鹽酸等腐蝕性氣體、粉塵及可凝蒸汽，是替代傳統水環(huán)泵、液環(huán)泵和油封泵的升級方案之一。

核心性能亮點

· 高真空度

   通過精密加工的變螺距轉子與嚴格控制的面間隙，泵的極限壓力可低至1Pa，抽速曲線平坦，能在寬壓力范圍內保持高效抽氣，充分滿足鍍膜、半導體等精細工藝對真空穩(wěn)定性的需求。

· 出色的耐鹽酸腐蝕能力

   針對化工、冶金和鋰電池行業(yè)中常見的鹽酸、氯氣及有機溶劑腐蝕，泵腔過流部件可選配鈦合金，并配合特殊防腐密封設計。整套防腐方案可以有效抵抗酸性介質侵蝕，延長設備在腐蝕性氣氛下的使用壽命。

· 運行穩(wěn)定可靠

   傳動系統選用高品質軸承與機械密封，配合直接聯軸器或一體化電機，整機振動小、噪音低。無水無油的干式工作方式，大幅降低了日常維護頻次；同時，設備標配合適的水冷/氣冷系統，有效控制內部溫升，防止腐蝕性氣體凝結，長時間連續(xù)運行仍能保持抽氣性能的穩(wěn)定。

典型工藝應用

· 化工與冶金：真空蒸餾、溶劑回收、酸性氣體抽除，在鹽酸、硫酸霧環(huán)境下實現無廢水排放的清潔真空。

· 鍍膜與工業(yè)爐：用于PVD、CVD鍍膜前級真空及真空熱處理、釬焊工藝，可獲得清潔無油的高真空環(huán)境，提升膜層結合力與工件光亮效果。

· 半導體制造：刻蝕、薄膜沉積等工藝中，提供純凈的真空背景，避免碳氫化合物污染。

· 鋰電池制造：合漿、注液、干燥工序抽除NMP等有機溶劑，適配溶劑回收系統，有助于降低生產成本并滿足環(huán)保要求。

周全的品質保障

每臺螺桿真空泵在出廠前均通過氣密性、極限壓力、振動及溫升等多項全檢測試，附帶真實運行曲線報告。我們提供專業(yè)選型支持、快速售后響應與足量備件供應，致力于為您的連續(xù)化生產提供可靠的真空保障。

產品參數