耐腐蝕螺桿真空泵 | 嚴(yán)苛工藝下的高真空解決方案

本款螺桿真空泵專為化工、鍍膜、冶金、工業(yè)爐、半導(dǎo)體及鋰電池等對(duì)真空度和耐腐蝕性有較高要求的行業(yè)設(shè)計(jì)。采用干式無(wú)油螺桿結(jié)構(gòu)，在抽氣過(guò)程中工作腔內(nèi)無(wú)油，既避免了油蒸汽對(duì)工藝的污染，又能從容應(yīng)對(duì)鹽酸等腐蝕性氣體、粉塵及可凝蒸汽，是替代傳統(tǒng)水環(huán)泵、液環(huán)泵和油封泵的升級(jí)方案之一。

核心性能亮點(diǎn)

· 高真空度

    通過(guò)精密加工的變螺距轉(zhuǎn)子與嚴(yán)格控制的面間隙，泵的極限壓力可低至1Pa，抽速曲線平坦，能在寬壓力范圍內(nèi)保持高效抽氣，充分滿足鍍膜、半導(dǎo)體等精細(xì)工藝對(duì)真空穩(wěn)定性的需求。

· 出色的耐鹽酸腐蝕能力

    針對(duì)化工、冶金和鋰電池行業(yè)中常見(jiàn)的鹽酸、氯氣及有機(jī)溶劑腐蝕，泵腔過(guò)流部件可選配鈦合金，并配合特殊防腐密封設(shè)計(jì)。整套防腐方案可以有效抵抗酸性介質(zhì)侵蝕，延長(zhǎng)設(shè)備在腐蝕性氣氛下的使用壽命。

· 運(yùn)行穩(wěn)定可靠

    傳動(dòng)系統(tǒng)選用高品質(zhì)軸承與機(jī)械密封，配合直接聯(lián)軸器或一體化電機(jī)，整機(jī)振動(dòng)小、噪音低。無(wú)水無(wú)油的干式工作方式，大幅降低了日常維護(hù)頻次；同時(shí)，設(shè)備標(biāo)配合適的水冷/氣冷系統(tǒng)，有效控制內(nèi)部溫升，防止腐蝕性氣體凝結(jié)，長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行仍能保持抽氣性能的穩(wěn)定。

典型工藝應(yīng)用

· 化工與冶金：真空蒸餾、溶劑回收、酸性氣體抽除，在鹽酸、硫酸霧環(huán)境下實(shí)現(xiàn)無(wú)廢水排放的清潔真空。

· 鍍膜與工業(yè)爐：用于PVD、CVD鍍膜前級(jí)真空及真空熱處理、釬焊工藝，可獲得清潔無(wú)油的高真空環(huán)境，提升膜層結(jié)合力與工件光亮效果。

· 半導(dǎo)體制造：刻蝕、薄膜沉積等工藝中，提供純凈的真空背景，避免碳?xì)浠衔镂廴尽?/span>

· 鋰電池制造：合漿、注液、干燥工序抽除NMP等有機(jī)溶劑，適配溶劑回收系統(tǒng)，有助于降低生產(chǎn)成本并滿足環(huán)保要求。

周全的品質(zhì)保障

每臺(tái)螺桿真空泵在出廠前均通過(guò)氣密性、極限壓力、振動(dòng)及溫升等多項(xiàng)全檢測(cè)試，附帶真實(shí)運(yùn)行曲線報(bào)告。我們提供專業(yè)選型支持、快速售后響應(yīng)與足量備件供應(yīng)，致力于為您的連續(xù)化生產(chǎn)提供可靠的真空保障。

產(chǎn)品參數(shù)