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  • 高純氣體過濾器 FG30
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品牌

廠商性質

經(jīng)銷商

型號

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81

產(chǎn)地

上海市

更新時間

2026/5/26 8:33:58

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產(chǎn)品簡介

FG30在線式超純氣體過濾器,專為大流量電子級氣體超純凈化開發(fā)設計,過濾精度可達1.5nm

高純氣體過濾器 FG30詳細信息

FG30 在線式超純氣體過濾器,專為大流量電子級氣體超純凈化開發(fā)設計,過濾精度可達 1.5nm。

設備結構緊湊,強度高,與多數(shù)類別的半導體工藝氣體具有良好的兼容性。推薦用于大宗氣體及惰

性氣體。

 

產(chǎn)品特點

316L 不銹鋼電子級拋光外殼

高通量低壓損

優(yōu)異的化學相容性

耐高溫、高壓

100%完整性測試

100%氦氣泄漏測試

潔凈室制造和包裝

 

技術參數(shù)

  • 濾材:聚四氟乙烯(PTFE)
  • 骨架:聚丙烯(PP)
  • O - 型圈:三元乙丙橡膠(EPDM)
  • 殼體:方案一:低硫316L;方案二:超純316L(VAR/VIM+VAR)
  • 表面處理:外表面:車加工原面,Ra<1.6μm;內表面:拋光+電解,Ra<0.6μm
  • 顆粒攔截粒徑:≥1.5nm
  • 顆粒攔截效率:≥99.999999%(9 LRV)@300 slpm(參考MPPS,所有顆粒)
  • 氦氣泄露率:驗證漏率:2 × 10?¹? atm.cc/sec;測試漏率:1 × 10?? atm.cc/sec
  • 正向壓差:4.1 bar@23℃
  • 反向壓差:0.7bar@23℃
  • 使用溫度:60℃
  • 流量范圍:N款:0~1500slpm;L款:0~3000slpm
關鍵詞:過濾器

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