FG22 超純氣體過濾器專為電子級(jí)氣體超純凈化開發(fā)設(shè)計(jì)，過濾精度可達(dá) 1.5nm。設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，

強(qiáng)度高，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有良好的兼容性。特別適用于用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體

的過濾。

產(chǎn)品特點(diǎn)

316L 不銹鋼電子級(jí)拋光外殼

高通量低壓損

優(yōu)異的化學(xué)相容性

耐高溫、高壓

100％完整性測(cè)試

100％氦氣泄漏測(cè)試

潔凈室制造和包裝

技術(shù)參數(shù)

• 殼體：低硫 316L
• 濾材：聚四氟乙烯（PTFE）
• O - 型圈：全氟醚橡膠（FFKM）
• 骨架與端蓋：可熔性聚四氟乙烯（PFA）；聚丙烯（PP）
• 過濾面積：PFA：＞230cm²；PP：＞400cm²
• 使用壓力：52 bar@80℃（可選 207Bar@25℃）
• 壓差：正向：7 bar@21℃；反向：3.4 bar@21℃
• 使用溫度：PP：80℃；PFA：180℃
• 流量范圍：0 - 300slpm
• 下游潔凈度：顆粒釋放：＜0.03 particles/liter（＜1 particle/ft³）@0.01μm；揮發(fā)物：＜10 ppb moisture