DISP FP 濾芯采用高非對(duì)稱結(jié)構(gòu)的聚醚砜膜制成，具有高通量、低阻力、高納污容量的特點(diǎn)。聚醚

砜的天然親水性，無(wú)需做預(yù)潤(rùn)濕處理，減少濾芯的更換時(shí)間，提高設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間，是微電子

行業(yè)稀酸、稀堿、去離子水過(guò)濾的理想選擇。

產(chǎn)品特點(diǎn)

不對(duì)稱聚砜膜

高去除率和高流量

快速?zèng)_洗

99% 完整性測(cè)試

無(wú)塵環(huán)境制造

典型應(yīng)用

制程水過(guò)濾

基板清洗

超純水精密過(guò)濾

顯影、剝離、刻蝕后的超純水精密過(guò)濾

技術(shù)參數(shù)

• 濾材：親水不對(duì)稱聚砜膜（PES）
• 骨架與端蓋：聚丙烯（PP）
• 支撐與分水層：聚丙烯（PP）
• 使用溫度：90℃
• 使用壓差：5bar@20℃（80psid@68°F）；1.4bar@70℃（20psid@158°F）