美國MTI公司生產(chǎn)的晶圓全檢儀，適用于各種晶圓尺寸和材料的測量儀器。

產(chǎn)品系列型號包括手動、半自動和全自動三種模式。能夠測量包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，*的軟件功能能夠在幾秒內(nèi)測試晶圓的厚度、TTV、bow，此外可以通過增加一個(gè)軟件模塊，去計(jì)算晶圓在工藝處理前后產(chǎn)生的應(yīng)力。所有的計(jì)算都符ASTM(美國材料實(shí)驗(yàn)協(xié)會)和Semi標(biāo)準(zhǔn)，確保與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。

Proforma300系列手動模式

特點(diǎn)：快速、準(zhǔn)確、可靠，可測量300mm（12”）晶圓的厚度、TTV、bow，測量是通過非接觸的電容探針獲得。晶圓承載臺是特拂綸材料制成，可實(shí)現(xiàn)便利的無磨損的晶圓定位，定位時(shí)晶圓的移動通過頂針可精確的校準(zhǔn)。測試結(jié)果通過高分辨率的液晶顯示器顯示。通過與計(jì)算機(jī)相連的RS-232接口方式可實(shí)現(xiàn)的計(jì)算機(jī)監(jiān)測和控制，并可通過打印機(jī)輸出。

工藝參數(shù)設(shè)置很方便，Proforma300能讓用戶進(jìn)行精確的非接觸測量，測量快速、準(zhǔn)確、重復(fù)性高。探針與晶圓間探測距離可根據(jù)需要調(diào)節(jié)。

手動無接觸硅片測試儀 - 產(chǎn)品特點(diǎn)

φ 無接觸測量
φ 適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料
φ 厚度和 TTV 測量采用無接觸電容法探頭
φ 高分辨率液晶屏顯示厚度和 TTV 值
φ 性價(jià)比高
φ 菜單式快速方便設(shè)置
φ 高分辨率液晶 LCD 顯示
φ 提供和計(jì)算機(jī)連接的輸出端口
φ 提供打印機(jī)端口
φ 便攜且易于安裝
φ 為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供精確的無接觸測量
φ 高質(zhì)量微處理器為精確和重復(fù)精度高的測量提供強(qiáng)力保障
φ 高質(zhì)量 聚四氟乙烯晶圓測試架，為晶圓硅片精確定位提供保障

手動無接觸硅片測試儀 - 技術(shù)指標(biāo)

φ 晶圓硅片測試尺寸： 50 mm - 300mm.
φ 厚度測試范圍： 1000 u m -1mm， 可擴(kuò)展到 1700 um.
φ 厚度測試精度： +/-0.25um（±10uin）
φ 厚度重復(fù)性精度： 0.050umm
φ TTV 測試精度 : +/-0.05um
φ TTV 重復(fù)性精度 : 0.050um
φ 彎曲度測試范圍： +/-500um [+/-850um]
φ 彎曲度測試精度： +/-2.0umm
φ 彎曲度重復(fù)性精度： 0.750umm
φ 晶圓硅片導(dǎo)電型號： P 或 N 型
φ 材料： Si ， GaAs ， InP ， Ge 等幾乎 所有半導(dǎo)體材料
φ 可用在： 切片后、磨片前、后， 蝕刻，拋光 以及出廠、入廠質(zhì)量檢測等
φ 平面 / 缺口：所有的半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)平面或缺口
φ 硅片安裝：裸片，藍(lán)寶石 / 石英基底， 黏膠帶
φ 連續(xù) 5 點(diǎn)測量

手動無接觸硅片測試儀 - 應(yīng)用范圍

φ 切片
　線鋸設(shè)置——厚度，總厚度變化TTV
　監(jiān)測 ——導(dǎo)線槽，刀片更換
φ 磨片/刻蝕和拋光
　過程監(jiān)控，厚度總厚度變化TTV，材料去除率，彎曲度，翹曲度，平整度
φ研磨
材料去除率
φ最終檢測
　抽檢或全檢， 終檢厚度