| 型號(hào)MR200 | |||
| 控制 | 腳步開關(guān)控制（上/下） | 晶圓承載臺(tái)角度 | 螺旋測(cè)微儀控制，可粗/精調(diào)節(jié)，分辨率10µm（0.006°） |
| 劃片力量 | 可調(diào)（通過氣壓閥） | 晶圓承載臺(tái)旋轉(zhuǎn) | 90°固定旋轉(zhuǎn) |
| 刀頭速度 | 可調(diào) | X-Y位移臺(tái) | 手動(dòng)，有效行程200x200mm，帶有粗/精微調(diào)螺絲，精20mm/10mm |
| 刀頭角度 | 可調(diào) | 劃片距離 | 200mm |
| 刀頭高度 | 可調(diào)，以用于不同厚度的樣品 | 氣壓要求 | 6bar（對(duì)于硅晶圓，使用1.9bar) |
| 顯微鏡 | 高質(zhì)量4倍變焦，放大倍數(shù)8X/40X，無(wú)極調(diào)整 | 光源 | 冷光源，環(huán)狀，220V |
| 目鏡十字線 | 用于根據(jù)參考標(biāo)準(zhǔn)、結(jié)構(gòu)、邊界或其它精密調(diào)整劃線 | 晶圓厚度 | 所有硅晶圓標(biāo)準(zhǔn)厚度 |
| 光學(xué)元件分辨率 | 40X時(shí)優(yōu)于10µm | 可切割材質(zhì) | 硅、藍(lán)寶石等 |
| 晶圓承載臺(tái) | 抽真空，直徑100/200mm | 可選 | 視頻系統(tǒng)/圖像處理系統(tǒng)、可選更大放大倍率/分辨率的光學(xué)元件 |
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| 1、 數(shù)字測(cè)量 | |||
| 100mm/200mm橫向移動(dòng)。25mm測(cè)微計(jì)可以由數(shù)字測(cè)微計(jì)量計(jì)替代。 可選的數(shù)字計(jì)量計(jì)測(cè)量范圍100mm/200mm，讀數(shù)10um，這個(gè)選項(xiàng)能實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的劃線距離可以與90度旋轉(zhuǎn)的晶片夾相連，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的劃線。只有精定可以擴(kuò)展到100mm代替25mm、100mm和200mm數(shù)字計(jì)量計(jì)在結(jié)構(gòu)上有一些不同，當(dāng)100mm數(shù)字計(jì)量計(jì)通過粗定位不能測(cè)量時(shí)，200mm將被使用，因?yàn)闄C(jī)械施力更高，MR200可以擴(kuò)展到500mm機(jī)械寬度。 | |||
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| 2、 相機(jī)適配器升級(jí)套裝 | |||
| CCD相機(jī)適配器升級(jí)套裝由顯微鏡組建群構(gòu)成。此外，相機(jī)和用于圖像處理的顯示器或PC是的，客戶能自行選擇。 | |||
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| 3 、 彩色視頻系統(tǒng) | |||
| lUSB 2.0 CCD相機(jī) | |||
| l一體化計(jì)算機(jī) | |||
| l圖像處理軟件 | |||
| l與相機(jī)適配器相連的升級(jí)套裝能通過目鏡和顯示器同時(shí)監(jiān)測(cè)顯微鏡圖像 | |||
| 圖像處理系統(tǒng)有如下的功能： | |||
| l相機(jī)圖像由顯示器直播視頻 | |||
| l圖像格式JPG或者BMP，可以存儲(chǔ)、加載和文字 | |||
| l十字標(biāo)線、柵格和標(biāo)尺 | |||
| l可測(cè)量：距離、角度、半徑、范圍和長(zhǎng)度 | |||
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| 4、 線寬測(cè)量 | |||
| 圖像處理軟件另一個(gè)擴(kuò)展工具是線寬的測(cè)量，這個(gè)模塊用于半導(dǎo)體行業(yè)高精度的寬度和距離的測(cè)量。測(cè)量是通過圖像的灰度值分布實(shí)現(xiàn)。不需要手動(dòng)設(shè)定標(biāo)記。 | |||
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| 5、 MR200基本配置 | |||
| 一般來(lái)說(shuō)，MR200不配備顯微鏡和光源，客戶可以自己使用自己的相關(guān)組件。顯微鏡必須有一個(gè)大約70mm的工作距離。 | |||
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| 6、 氣動(dòng)電源發(fā)生器 | |||
| 電磁鐵驅(qū)動(dòng)電源，如果這種方式電力不足，可采用氣動(dòng)電源。 精確的劃線，容易的操作：晶片被裝載定位后，顯微鏡聚焦在晶片表面，通過手動(dòng)驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)的x和y方向移動(dòng)。劃線能調(diào)節(jié)到參考的標(biāo)記或樣品的指定位置。高質(zhì)量的變焦顯微鏡能快速改變距離，實(shí)現(xiàn)樣品的整體視圖和詳細(xì)監(jiān)測(cè)。通過工作臺(tái)的x/y方向微調(diào)功能，能實(shí)現(xiàn)精確定位。金剛刀的著陸點(diǎn)是可調(diào)的。目鏡或顯示器的十字標(biāo)線能確定金剛刀的著陸點(diǎn)，通過腳踏開關(guān)控制升降。因此金剛刀的移動(dòng)可以通過雙手控制的。 | |||
北京特搏萬(wàn)德科技有限公司(TOPVENDOR)成立于2007年，主營(yíng)硅片、砷化嫁、鍺片等半導(dǎo)體晶片，設(shè)計(jì)生產(chǎn)芯片盒、周轉(zhuǎn)卡塞等。提供半導(dǎo)體工藝加工服務(wù):鍍膜、刻蝕、切割等。代理國(guó)外半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)的高精密加工、測(cè)量?jī)x器和設(shè)備。硅片(氧化、低應(yīng)力SiN、鍍金/鉑/銅等金屬膜)、砷化鉞、磷化錮等IⅢI-V族晶片、鍺片等;芯片盒:1-12英寸單片晶圓盒、周轉(zhuǎn)盒、IC Tray、清洗花籃;儀器設(shè)備:金剛石劃片機(jī)、蒸發(fā)濺射儀、刻蝕沉積儀器、薄膜應(yīng)力曲率測(cè)量?jī)x、TV、BOW、WARP等全功能全檢儀、等離子去膠機(jī)、鏡頭MTF測(cè)量?jī)x等。自2007年成立以來(lái)，公司已經(jīng)發(fā)展成為一家研發(fā)、生產(chǎn)和銷售、進(jìn)出口貿(mào)易的產(chǎn)銷結(jié)合的科技企業(yè)公司，公司集科、工、貿(mào)為一體，產(chǎn)品已經(jīng)廣泛應(yīng)用于軍、大學(xué)、科研機(jī)構(gòu)、航空航天、電子、機(jī)械、食品、醫(yī)院、包裝、模具等部門行業(yè)，為其實(shí)驗(yàn)室建立、規(guī)劃、產(chǎn)品研發(fā)、檢驗(yàn)提供了軟硬件支持。我們充分考慮到很多客戶對(duì)產(chǎn)品的急需性，公司投入幾百萬(wàn)元，長(zhǎng)期保持穩(wěn)定庫(kù)存?？蓵r(shí)間滿足大部分的客戶需求。由于品種齊全，質(zhì)量穩(wěn)定，服務(wù)全面，價(jià)格合理，獲得了廣大客戶及用戶的信賴。我公司追求的是更高、更穩(wěn)定的質(zhì)量、更全面的、專業(yè)的服務(wù)、更快速的應(yīng)答。
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