| 等離子體電流 | 0-30 mA |
| 功率 | 30W |
| 輝光放電頭極性 | 正極負(fù)極可續(xù) |
| 樣品臺 | Ø75mm,可存放25 x 75mm玻片 |
| 樣品臺高度 | 1-25 mm可調(diào) |
| 處理延遲時(shí)間 | 0-14411 sec. |
| 處理時(shí)間 | 0-900 sec. |
| 樣品室大小 | Ø120 x 100mm 高 |
| 進(jìn)氣孔 | 2 個(gè)Ø6 mm 進(jìn)氣孔 |
| 高壓真空聯(lián)鎖 | 硬件,軟件雙重聯(lián)鎖 |
| 真空控制 | Pirani 規(guī)控制, 真空范圍:大氣壓~0.01 mbar |
| 工作真空范圍 | 1.1 - 0.20 mbar |
| 系統(tǒng)顯示 | 具有LED燈光的3" 觸摸,并且有5個(gè)功能鍵 |
| 操作模式 | 自動編程 (可編4個(gè)用戶程序) |
| 尺寸 | 305 長 x 292 寬 x 230mm 高 |
| 重量 | 6.26 kg |
| GD4真空泵(可選) | 337 長 x 138 寬 x 244mm 高 |
| 重量 | 11 kg |
| 真空泵性能 | 2.5 m3/hr, 極限真空0.03 mbar |
| 電源要求 | 230V 50Hz, 10A |


















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