HST-900 在線光譜分析儀專為半導(dǎo)體濕法清洗低濃度雙氧水監(jiān)測(cè)打造，采用深紫外雙光路鎖相解調(diào)技術(shù)，可穩(wěn)定檢測(cè) 0~0.5% 微量雙氧水，檢出精度達(dá) PPM 級(jí)別，解決產(chǎn)線光源溫漂、雜散光干擾、數(shù)據(jù)頻繁漂移難題。流通池采用切線旋流防污結(jié)構(gòu)，石英窗口持續(xù)自沖刷，減少硅渣附著；接液可選 PTFE/PEEK 高純惰性材質(zhì)，適配電子級(jí)強(qiáng)氧化藥液。整機(jī)分體式搭配觸控顯示屏，實(shí)時(shí)顯示濃度、溫度、補(bǔ)液延時(shí)，RS485 通訊對(duì)接晶圓廠中控，支持自動(dòng)加藥、濃度超限報(bào)警，7×24 小時(shí)不間斷運(yùn)行，大幅減少人工取樣頻次，穩(wěn)定清洗藥液配比，提升芯片良品率，滿足半導(dǎo)體潔凈車間監(jiān)測(cè)需求。