Vritual PORTA-WAND系列晶圓吸筆適合大硅片、半導(dǎo)體晶圓、電池片、藍(lán)寶石晶片、外延片、玻璃等。每個晶圓吸筆都經(jīng)過測試，以確保符合Class 1粒子污染要求，是晶圓鑷子的替代工具，可互換的PEEK材料吸筆頭不會損傷晶片。根據(jù)海拔和大氣壓力，可提供15至20英寸汞柱真空度吸力。SERIES 3 PORTA-WAND®系列可處理300mm Wafer晶片，VPW6300AR-VWT5R-220-AR晶圓吸筆為拾取12寸晶圓專用，充電式設(shè)計，附有指示燈可知道電量及提起操作時機(jī)，防止產(chǎn)品掉落，ESD防靜電安全。

美國VIRTUAL PORTA-WAND系列晶片吸筆規(guī)格

一、PORTA-WAND 3電池式真空吸筆，不可拆卸電池可充電

PORTA-WAND 220V套裝，內(nèi)置固定的可充電9.6V鎳氫電池和一個晶圓吸筆頭，VPW6000-CHRG-220充電座

專用于處理晶圓，運行指示燈僅當(dāng)牢牢吸住晶片時才亮起，確保操作安全，

VPW6300AR-VWT5R-220-AR：（VPW6300AR-12）12寸晶圓吸筆，300mm圓形吸筆頭VWT-5R，適用12" Wafer硅片

VPW6300AR-VWT5R-AR：300mm圓形吸筆頭VWT-5R，適用12寸wafer，110V

VPW6300AR-MW4-220：PEEK材質(zhì)吸筆頭VMWT-A, handles up to 4” (100mm) wafers

VPW6300AR-MW6-220：VMWT-B塑料吸筆頭，適合6” (150mm) wafers，110V/ 220V電源版本

VPW6300AR-MW8-220：VMWT-C吸筆頭，適合8” (200mm) wafers

VPW6300AR-TW4-220：耐高溫鐵氟龍涂層吸筆頭VWT-100075PF, handles up to 4” (100mm) wafers

VPW6300AR-TW6-220：耐高溫鐵氟龍涂層吸筆頭VWT-170110PF, handles up to 6” (150mm) wafers

VPW6300AR-TW8-220：耐高溫鐵氟龍涂層吸筆頭VWT-250125PF, 處理8” (200mm) wafers

更換備件：VPW6300AR-XWT、VPW6300AR-XWT-220，含筆桿及充電器不含吸筆頭；VPW6300AR-X僅吸筆桿

Vitual晶圓吸筆規(guī)格文檔/download/201710/Virtual_PORTA-WAND_VPW6000_VPWE7000.pdf

二、SERIES 3 PORTA-WAND® / ELITEPORTA-WAND 3 ELITE電池式真空吸筆，可拆卸互換電池

PORTA-WAND® ELITE 110 Volt Kit，潔凈室安全，可現(xiàn)場更換9.6V鎳氫充電電池VPWE-150和一個晶圓吸筆頭

晶圓拾取專用，運行指示燈僅當(dāng)牢牢吸住晶片時才亮起，確保操作安全，VPW6000-CHRG-220充電座

VPWE7300AR-VWT5R-AR：SERIES 3 PORTA-WAND ELITE w 300mm Wafer Tip VWT-5R,12” (300mm)

VPWE7300AR-VWT5R-220-AR：300mm圓形吸筆頭VWT-5R，適用12寸晶圓，220 VOLT

VPWE7300AR-MW4/ VPWE7300AR-MW4-220：PEEK材質(zhì)吸筆頭VMWT-A, handles up to 4” (100mm) wafers

VPWE7300AR-MW6/ VPWE7300AR-MW6-220：VMWT-B吸筆頭，適合6” (150mm) wafers，110V/ 220V電源版本，

VPWE7300AR-MW8/ VPWE7300AR-MW8-220：VMWT-C吸筆頭，適合8” (200mm) wafers

VPWE7300AR-TW4/ VPWE7300AR-TW4-220：耐高溫鐵氟龍涂層吸筆頭VWT-100075PF, 4” (100mm) wafers

VPWE7300AR-TW6/ VPWE7300AR-TW6-220：耐高溫鐵氟龍涂層吸筆頭VWT-170110PF, 6” (150mm) wafers

VPWE7300AR-TW8/ VPWE7300AR-TW8-220：耐高溫鐵氟龍涂層吸筆頭VWT-250125PF, 8” (200mm) wafers

更換備件：VPWE7300AR-XWT、VPWE7300AR-XWT-220，含筆桿及充電器不含吸筆頭；VPWE7300AR-X僅吸筆桿

三、PORTA-WAND®電池式晶圓吸筆，不可拆卸電池

PORTA-WAND 110 Volt Kit，內(nèi)置固定的9.6V鎳氫充電電池，連接110V電源充電座VPW6000-CHRG

適合拾取具有堅硬平面的物體，如硅晶圓、玻璃片等，可輕松吸取500g重量

VPW6000AR-MW4：PORTA-WAND with PEEK wafer tip VMWT-A, 4” (100mm) wafers

VPW6000AR-MW6：110V電源版本，VMWT-B吸筆頭，適合6” (150mm) wafers

VPW6000AR-MW8：VMWT-C吸筆頭，適合8” (200mm) wafers

VPW6000AR-TW4：鐵氟龍涂層吸筆頭VWT-100075PF, handles up to 4” (100mm) wafers

VPW6000AR-TW6：特氟龍涂層吸筆頭VWT-170110PF, handles up to 6” (150mm) wafers

VPW6000AR-TW8：鐵氟龍涂層吸筆頭VWT-250125PF, handles up to 8” (200mm) wafers

四、PORTA-WAND® ELITE電池式晶圓吸筆，可拆卸更換電池

PORTA-WAND® ELITE 110 Volt Kit，潔凈室安全，可現(xiàn)場更換9.6V鎳氫充電電池，VPWE-150可拆卸電池組，110V電源

適合拾取具有堅硬平面的物體，如硅晶圓、玻璃片等，可輕松吸取500g重量

VPWE7000AR-MW4：PORTA-WAND ELITE含VMWT-A吸筆頭,  4” (100mm) 晶圓吸取

VPWE7000AR-MW6：VMWT-B吸筆頭，適合6” (150mm) wafers

VPWE7000AR-MW8：VMWT-C吸筆頭，適合8” (200mm) wafers

VPWE7000AR-TW4：鐵氟龍涂層吸筆頭VWT-100075PF, handles up to 4” (100mm) wafers

VPWE7000AR-TW6：特氟龍涂層吸筆頭VWT-170110PF, handles up to 6” (150mm) wafers

VPWE7000AR-TW8：鐵氟龍涂層吸筆頭VWT-250125PF, handles up to 8” (200mm) wafers

常用的威士Vitual便攜式晶圓吸筆型號

VPW6300-VWT5R-220充電式晶圓吸筆

12寸晶圓專用吸筆，充電式設(shè)計，有指示燈可知道電量，預(yù)防產(chǎn)品掉落

符合防靜電規(guī)格

含12寸晶圓吸筆頭、充電器和吸筆

可以轉(zhuǎn)接6-8寸吸筆頭使用

VPW6000AR-MW8充電式晶圓吸筆

可配4、6、8吋吸筆頭使用，適合2寸、4寸、6寸、8寸硅片等產(chǎn)品使用

充電式設(shè)計，有指示燈可知道電量，預(yù)防產(chǎn)晶掉落

符合防靜電規(guī)格

吸筆頭客戶可以自己選擇

PV4000A電池式晶圓吸筆

采用9V直流電池，容易更換

可以配2、4、6、8寸吸筆頭使用

符合防靜電規(guī)格

V3200-CLN-MW6電池式晶圓吸筆

內(nèi)置真空發(fā)生器不用外接氣源

采用9V直流電池，容易更換，可以配4、6、8寸吸筆頭使用

潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，便攜式設(shè)計，可以掛在皮帶或者放口袋里，便于隨身攜帶