國(guó)產(chǎn)V2-MW8晶圓吸筆帶有強(qiáng)力真空泵提供不間斷吸力，通過氣管連接主機(jī)和筆桿與吸筆頭，根據(jù)硅片尺寸可選擇更換4/6/8寸wafer晶圓吸筆頭，安全拾取轉(zhuǎn)移，簡(jiǎn)易操作，可通過旋鈕調(diào)節(jié)吸力大小。

V2-MW8晶圓吸筆主機(jī)內(nèi)置強(qiáng)力真空泵提供不間斷的吸力，通過氣管連接主機(jī)和筆桿與八寸Wafer吸筆頭，安全拾取轉(zhuǎn)移，簡(jiǎn)易操作。鋁合金主機(jī)外殼，堅(jiān)固環(huán)保，低噪音、攜帶便捷，可吸取500g重量物體如硅晶圓、玻璃片、太陽(yáng)能電池板等平面物體，通過旋鈕調(diào)節(jié)吸力大小?？缮炜s彈簧氣管長(zhǎng)度2米，根據(jù)硅片尺寸可選擇4寸、6寸、8寸晶圓吸筆頭，分別對(duì)應(yīng)套裝型號(hào)V2-MW4、V2-MW6、V2-MW8。如果培訓(xùn)類操作可選擇國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品，產(chǎn)線使用建議購(gòu)買美國(guó)Virtual PEEK晶圓吸筆頭，可通用互換。

 

國(guó)產(chǎn)V2真空晶圓吸筆使用說明

1、將氣管一段連接主機(jī)側(cè)面的氣孔，另一端連接吸筆桿

2、把Wafers晶圓吸筆頭插頭筆桿前端并推至盡快固定

3、電源適配器插入100V~240V插座，另一端插入真空泵DC電源孔，打開電源開關(guān)

4、預(yù)估問題的重量，轉(zhuǎn)動(dòng)吸力調(diào)節(jié)旋鈕到合適位置

5、握住吸筆桿，將吸筆頭輕輕放在晶圓平面上，試著提起晶圓，如已穩(wěn)固吸取抓住可進(jìn)行轉(zhuǎn)移到目標(biāo)位置

6、將硅晶圓轉(zhuǎn)移到指定位置，按壓筆桿上的按鈕，即可釋放物體

7、根據(jù)硅片或玻璃片等平面物體的大小、重量選擇相應(yīng)吸盤吸筆頭，并調(diào)整吸力大小

 

基于成本預(yù)算設(shè)計(jì)，此套裝的真空泵主機(jī)、氣管、筆桿等部件均為國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品，吸筆頭可選擇國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口品牌，它們規(guī)格統(tǒng)一可通用。如果是高價(jià)值物體或者對(duì)設(shè)備要求較高，建議選擇美國(guó)Vitual真空吸筆，推薦型號(hào)：

1、無(wú)繩便攜型電池式真空晶圓吸筆

VPWE7300AR-MW8八寸真空吸筆，配方形8寸筆頭，可現(xiàn)場(chǎng)更換的充電電池，帶電量及安全真空度提示燈

VPW6300AR-VWT5R-220-AR晶圓吸筆，配圓形吸筆頭專用于12英寸wafers拾取，帶安全真空度操作提示燈

2、插電臺(tái)式電動(dòng)晶圓吸筆

WVE-9000-MW8-220晶圓吸筆，條形真空度顯示，確保安全操作安全可靠

AV-5000-MW8-220真空晶圓吸筆，真空度大小可調(diào)，主要是用于調(diào)小吸力保護(hù)銦化鎵、氮化鎵等脆弱易碎晶圓

美國(guó)Virtual晶圓吸筆頭型號(hào)規(guī)格

■ PEEK聚醚醚酮材質(zhì)，模塑加工制成，ESD防靜電，耐溫100℃，頭部厚度0.1寸=2.54mm、手柄長(zhǎng)78.74mm

VMWT-A 4寸吸筆頭：盤面長(zhǎng)*寬=35.56mm x 12.70mm，用于4” (100mm) wafers

VMWT-B 6寸吸筆頭：盤面長(zhǎng)*寬35.56mm x 33.02mm，拾取轉(zhuǎn)移六寸6” (150mm) wafers晶圓

VMWT-C 8寸吸筆頭：盤面長(zhǎng)*寬53.34mm x 35.56mm，拾取八英寸(200mm) wafers

VMWT-D方形12寸吸筆頭：盤面長(zhǎng)*寬78.74mm x 53.34mm，可用于拾取12英寸wafers

特殊擴(kuò)展型號(hào)：

1、彎曲型——如果是在晶圓盒等帶槽的容器及直頭無(wú)法接觸平面物體的情況下操作，可選10°、20°、30°彎頭筆頭，在型號(hào)后面加入方向及角度代碼，如：VMWT-C30D八寸吸筆頭彎曲30度下彎。

2、加長(zhǎng)型——VMWT-B/C/D即6寸、8寸、12寸筆頭可加長(zhǎng)連接桿長(zhǎng)度，由標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)78.74mm擴(kuò)展到200mm，對(duì)應(yīng)型號(hào)分別為VMWT-B-EX200、VMWT-C-EX200、VMWT-D-EX200。

Molded PEEK吸筆頭規(guī)格說明書/download/201812/Virtual_PEEK_VMWT-ABCD.pdf

■ 高溫涂層吸筆頭，耐高溫250℃，筆頭為鋁制陽(yáng)極氧化材質(zhì)、厚度3.3mm，不銹鋼連接桿長(zhǎng)度76.20mm

VWT-100075-PF 4寸耐高溫吸筆頭：長(zhǎng)寬尺寸(1.05“ x 0.75") 26.67mm x 19.05mm，適用4” (100mm) wafers

VWT-170110-PF 6寸耐高溫吸筆頭：長(zhǎng)寬尺寸(1.70“ x 1.10") 43.18mm x 27.94mm，用于6” (150mm) wafers

VWT-250125-PF 8寸耐高溫吸筆頭，長(zhǎng)寬尺寸(2.50“ x 1.25") 63.50mm x 31.75mm，吸取8” (200mm) wafers

 

[國(guó)產(chǎn)筆桿及吸筆頭、加長(zhǎng)桿]