| 晶圓測(cè)試探針臺(tái) | |||||
| 型號(hào) | SE-4 | SE-6 | SE-8 | SE-12 | |
| 外形 | 580mm長(zhǎng)* 620mm寬* 730mm高 | 640mm長(zhǎng)* 700mm寬* 730mm高 | 660mm長(zhǎng)* 660mm寬* 700mm高 | 1030mm長(zhǎng) *820mm寬* 730mm高 | |
| 重量 | 約70KG | 約80KG | 約85KG | 約180KG | |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | ||||
| 樣品臺(tái) | 尺寸 | 4英寸,可360度旋轉(zhuǎn) | 6英寸,可360度旋轉(zhuǎn) | 8英寸,可360度旋轉(zhuǎn) | 12英寸,可360度旋轉(zhuǎn) |
| X-Y行程 | 4英寸*4英寸 | 6英寸*6英寸 | 8英寸*8英寸 | 12英寸*12英寸 | |
| Z軸行程 | 6mm(快速切換)/6mm(微調(diào)) | ||||
| 移動(dòng)精度 | 10um/1um | ||||
| 樣品固定方式 | 真空吸附 | ||||
| 背電極測(cè)試功能 | 有,樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空 | ||||
| 針座平臺(tái) | U型平臺(tái),多可放置6個(gè)針座 | U型平臺(tái),多可放置8個(gè)針座 | U型平臺(tái),多可放置10個(gè)針座 | U型平臺(tái),多可放置12個(gè)針座 | |
| 光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm | |||
| 顯微鏡移動(dòng)精度 | 1um | ||||
| 切換鏡頭方式 | 顯微鏡快速傾仰30度 | ||||
| 放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X | ||||
| 鏡頭規(guī)格 | 目鏡:10X;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配) | ||||
| CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | ||||
| 點(diǎn)針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | |||
| 機(jī)械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | ||||
| 漏電精度 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱時(shí)) | ||||
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚(yú)夾/同軸/叁軸接口 | ||||
| 應(yīng)用方向 | 芯片及LD/LED/PD測(cè)試,PCB/封裝器件測(cè)試,射頻測(cè)試等。 | ||||
| 可選附件 | 顯微鏡傾仰裝置(傾仰30度) | 高低溫樣品臺(tái) | 光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試選件 | ||
| 顯微鏡氣動(dòng)升降裝置 | 屏蔽箱 | 射頻測(cè)試附件 | |||
| 激光微加工 | 轉(zhuǎn)接頭 | 有源探頭 | |||
| 探針卡夾具 | 防震臺(tái) | 低電流/電容測(cè)試 | |||
| 顯微鏡暗場(chǎng)/DIC/Normarski 檢測(cè)光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件 | 鍍金卡盤(pán) | 兼容積分球測(cè)試選件 | |||
| 液晶漏電分析套裝 | 同軸叁軸卡盤(pán) | 光纖夾具耦合測(cè)試選件 | |||
| 高壓/大電流測(cè)試套件 | 樣品臺(tái)快速升降,微調(diào)升降裝置選件 | PCB/封裝夾具測(cè)試選件 | |||
| 加熱臺(tái) | 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件 | 特殊定制 | |||
| 特點(diǎn) | 1.顯微鏡龍門(mén)柱式設(shè)計(jì),可使顯微鏡在平面內(nèi)移動(dòng)。 | ||||
| 2.顯微鏡可傾仰或氣動(dòng)升降,便于更換物鏡。 | |||||
| 3.可升級(jí)做射頻,大電流方面的測(cè)試和激光修復(fù)應(yīng)用。 | |||||
| 4.同軸驅(qū)動(dòng)卡盤(pán),移動(dòng)精度高。 | |||||
| 特點(diǎn) | |||||
| 緊湊的結(jié)構(gòu) | 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線(xiàn)性移動(dòng) | ||||
| 實(shí)惠的價(jià)格 | 無(wú)回程差設(shè)計(jì) | ||||
| 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng) | 1微米以上電極/PAD測(cè)試 | ||||
| 高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用 | LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試 | ||||
| 可用于12英寸以?xún)?nèi)樣品測(cè)試 | 材料/器件的IV/CV特性測(cè)試 | ||||
上海蠻吉光電科技有限公司成立于 2018 年,是一家專(zhuān)業(yè)的設(shè)備及系統(tǒng)方案供應(yīng)商,旨在為客戶(hù)提供一站式的解決方案。公司在代理標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的同時(shí),組建了專(zhuān)業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為客戶(hù)提供客戶(hù)化的解決方案。2020年公司通過(guò)上海市企業(yè)認(rèn)證。目前分別在上海、蘇州、南京、杭州設(shè)立了辦事處及服務(wù)點(diǎn),為客戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)化的售前售后服務(wù)。
光譜儀
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