| 綜合型分析探針臺 | ||||
| 型號 | SH-6 | SH-8 | SH-12 | |
| 外形 | 820mm長*720mm寬*890mm高 | 960mm長*850mm寬*900mm高 | 1300mm長*920mm寬*920mm高 | |
| 重量 | 170公斤 | 約230公斤 | 約300公斤 | |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | |||
| 樣品臺 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 8英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 12英寸，可360度旋轉(zhuǎn) |
| 行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 | |
| 移動精度 | 1um | |||
| 樣品固定方式 | 真空吸附 | |||
| 背電極測試功能 | 有，樣品臺電學(xué)獨立懸空 | |||
| 針座平臺 | 規(guī)格 | U型平臺，多可放置6個針座 | U型平臺，多可放置10個針座 | U型平臺，多可放置12個針座 |
| 行程&調(diào)節(jié)方式 | 平臺可以快速升降，行程 6mm,并帶自動鎖定功能;可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um | |||
| 光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm | ||
| 顯微鏡移動精度 | 1um | |||
| 切換鏡頭方式 | 顯微鏡快速傾仰30度 | |||
| 放大倍數(shù) | 20~4000X | |||
| 鏡頭規(guī)格 | 目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配） | |||
| CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） | |||
| 點針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | ||
| 機械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | |||
| 漏電精度 | 10pA/100fA （配置屏蔽箱時） | |||
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口 | |||
| 應(yīng)用方向 | 晶圓測試，光電器件測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試，高壓/大電流測試等 | |||
| 可選附件 | 卡盤快速拉出裝置 | 加熱臺 | 光強/波長測試選件 | |
| 顯微鏡傾仰裝置（傾仰30度） | 高低溫樣品臺 | 射頻測試附件 | ||
| 顯微鏡氣動升降裝置 | 屏蔽箱 | 有源探頭 | ||
| 激光微加工 | 轉(zhuǎn)接頭 | 低電流/電容測試 | ||
| 探針卡夾具 | 防震臺 | 兼容積分球測試選件 | ||
| 顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 | 鍍金卡盤 | 光纖夾具耦合測試選件 | ||
| 液晶熱點偵測套裝 | 同軸叁軸卡盤 | 封裝器件夾具 | ||
| 高壓/大電流測試套裝 | 樣品臺快速升降，微調(diào)升降裝置選件 | PCB/封裝夾具測試選件 | ||
| 帶真空底座的活動Chuck | 樣品臺旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件 | 特殊定制 | ||
| 特點 | ||||
| 穩(wěn)定的結(jié)構(gòu) | 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動 | |||
| 針座平臺可快速升降和微調(diào)，適合針卡測試 | 大手柄驅(qū)動，操作舒適，無回程差設(shè)計 | |||
| 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動 | 芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試 | |||
| 高等院校/研究所/公司實驗室使用 | LD/LED/PD的光強/波長測試 | |||
| 可用于12英寸以內(nèi)樣品測試 | 材料/器件的IV/CV特性測試 | |||
上海蠻吉光電科技有限公司成立于 2018 年,是一家專業(yè)的設(shè)備及系統(tǒng)方案供應(yīng)商，旨在為客戶提供一站式的解決方案。公司在代理標準產(chǎn)品的同時，組建了專業(yè)的技術(shù)團隊為客戶提供客戶化的解決方案。2020年公司通過上海市企業(yè)認證。目前分別在上海、蘇州、南京、杭州設(shè)立了辦事處及服務(wù)點，為客戶提供優(yōu)質(zhì)化的售前售后服務(wù)。
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