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PLUTO-30(30L)等離子清洗機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海沛沅儀器設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2025/7/27 9:06:30
  • 訪問次數(shù)113
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上海沛沅儀器設備有限公司專業(yè)從事等離子體應用技術(shù)研究開發(fā)和相關設備、產(chǎn)品的生產(chǎn),并致力于等離子體應用技術(shù)的市場推進和產(chǎn)業(yè)化。公司由長期從事等離子體應用技術(shù)研究開發(fā)、多次參與國家重大科學工程研究的專家和產(chǎn)業(yè)化專家聯(lián)合創(chuàng)建,核心團隊來自中科院應用物理研究所、中國科技大學、上海科技大學,美國橡樹嶺實驗室歸國博士等科研機構(gòu)。公司擁有一批等離子體應用技術(shù)方面的專家,建立起一支經(jīng)驗豐富的融合了等離子體技術(shù)、電氣自控技術(shù)、機械設計加工和成套工程技術(shù)的精英團隊。將團隊本身科研技術(shù)植入到公司產(chǎn)品之中,拓展產(chǎn)品功能,提升產(chǎn)品性能和開發(fā)新的應用領域。公司在等離子體領域已經(jīng)積累了一整套具有自主知識產(chǎn)權(quán)的系列產(chǎn)品和技術(shù),在國內(nèi)居地位,并已與國內(nèi)外眾多家大學、科研機構(gòu)和企業(yè)等用戶有著密切的合作關系。公司的愿景是成為等離子體應用領域的優(yōu)質(zhì)供應企業(yè),用科研的沉淀和應用的創(chuàng)新,為中國的制造業(yè)崛起和化戰(zhàn)略盡自己的義務和責任。
等離子清洗機
PLUTO-30是專為研發(fā)而設計的全功能等離子體系統(tǒng),13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto30的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設置,可配置成RIE和PECVD模式,從而擴大了該系統(tǒng)的應用范圍,提供給用戶的靈活性。
PLUTO-30(30L)等離子清洗機 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品特點

專用氣體輸送系統(tǒng),提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法

不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置

的射頻系統(tǒng)提供的工藝重復性和處理效率

全自動處理能力

圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動流程并提供實時流程信息

臺式設計需要較小的占地面積


技術(shù)參數(shù)

P30參數(shù).png

應用領域

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典型應用

表面活化

提高表面能量以提高材料粘合性:預壓模粘合;預焊線粘合

增強表面膠體流動性:預成型;預倒裝芯片下溢

表面粗糙度和蝕刻

降低表面應力,改善表面粘結(jié)性

灰化和表面清潔

Plasma等離子蝕刻(配備RIE配置)

電介質(zhì)/III-IV材料

納米涂層(配備液體前體輸送裝置)

耐水納米涂層:印刷電路板表面處理

防腐納米涂層:,醫(yī)療植入物


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