產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品特點專用氣體輸送系統(tǒng)，提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法
不同工藝模式（RIE、下游等離子體等）的柔性電極配置
的射頻系統(tǒng)提供的工藝重復(fù)性和處理效率
全自動處理能力
圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅(qū)動流程并提供實時流程信息
臺式設(shè)計需要較小的占地面積
技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域
典型應(yīng)用
表面活化
提高表面能量以提高材料粘合性：預(yù)壓模粘合；預(yù)焊線粘合
增強表面膠體流動性：預(yù)成型；預(yù)倒裝芯片下溢
表面粗糙度和蝕刻
降低表面應(yīng)力，改善表面粘結(jié)性
灰化和表面清潔
Plasma等離子蝕刻（配備RIE配置)
電介質(zhì)/III-IV材料
納米涂層（配備液體前體輸送裝置）
耐水納米涂層：印刷電路板表面處理
防腐納米涂層：，醫(yī)療植入物
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