精密級(jí)線性定位平臺(tái)
PILine®平臺(tái)尤其適合要求快速精密定位的應(yīng)用。關(guān)機(jī)后，自鎖驅(qū)動(dòng)器保持平臺(tái)位置的機(jī)械穩(wěn)定。因而可大大減少能量消耗和熱量產(chǎn)生。蓄電池驅(qū)動(dòng)或熱敏型的低占空比應(yīng)用可得益于這些特點(diǎn)。軸的位置通過一個(gè)編碼器和一個(gè)光學(xué)參考開關(guān)測(cè)量，該開關(guān)允許可靠的可重復(fù)運(yùn)動(dòng)。壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)器原理及其電氣操作成本低，可定制。
PILine®超聲波壓電電機(jī)
作為PILine®超聲波壓電電機(jī)的一部分，壓電陶瓷促動(dòng)器上被施加預(yù)載，通過一個(gè)耦合元件抵住移動(dòng)導(dǎo)向轉(zhuǎn)子。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下，壓電陶瓷促動(dòng)器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波諧振。促動(dòng)器的變形使耦合元件相對(duì)于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對(duì)角運(yùn)動(dòng)。建立的進(jìn)給為幾納米每循環(huán)；高頻率帶來高速度。在壓電陶瓷促動(dòng)器上相對(duì)于動(dòng)輪施加預(yù)載可確保驅(qū)動(dòng)器在靜止?fàn)顟B(tài)下和關(guān)機(jī)時(shí)自鎖。
采用增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接位置測(cè)量
非接觸式光學(xué)編碼器以的精度直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上測(cè)量實(shí)際位置，因此非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對(duì)位置測(cè)量造成影響。
有效
美國(guó)號(hào)為6,765,335B2
歐洲號(hào)為1267425B1
應(yīng)用領(lǐng)域
顯微操縱、自動(dòng)化、生物科技、樣本操作、樣本定位、空間有限的應(yīng)用、真空應(yīng)用達(dá)10-6 百帕（可選）。
| | U-521.23 | U-521.24 | 單位 | 公差 |
|---|---|---|---|---|
| | ||||
| 主動(dòng)軸 | x | x | ||
| 行程 | 18 | 18 | 毫米 | |
| 速度，閉環(huán) | 200 | 200 | 毫米/秒 |
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| 最小位移 | 2 | 0.3 | 微米 | 典型值 |
| 系統(tǒng)分辨率 | 0.4 | 0.1 | 微米 | |
| 雙向重復(fù)性 | ±2 | ±0.2 | 微米 | |
| 線性誤差（全行程范圍內(nèi)） | 8 | 4 | 微米 | |
| 螺距 | ±300 | ±300 | 微弧度 | |
| 偏轉(zhuǎn)角 | ±300 | ±300 | 微弧度 | |
| | ||||
| 傳感器類型 | 增量編碼器 | 增量編碼器 | ||
| 測(cè)量原理 | 光學(xué) | 光學(xué) | ||
| 測(cè)量方法 | 直接測(cè)量 | 直接測(cè)量 | ||
| 傳感器分辨率 | 0.4 | 0.1 | 微米 | 典型值 |
| | ||||
| 推力 | 2 | 2 | 牛 |
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| 拉力 | 2 | 2 | 牛 |
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| | ||||
| 電機(jī)類型 | PILine®超聲波壓電電機(jī)，性能級(jí)別1 | PILine®超聲波壓電電機(jī)，性能級(jí)別1 | ||
| 驅(qū)動(dòng)力 | 2 | 2 | 牛 |
|
| 保持力 | 2 | 2 | 牛 |
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| | ||||
| 電機(jī)/傳感器 | 1×Sub-D，15-針（公） | 1×Sub-D，15-針（公） | ||
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| 參考點(diǎn)開關(guān) | 光學(xué) | 光學(xué) | ||
| 工作溫度 | 0 到 40 | 0 到 40 | °C | |
| 材料 | 鋁，陽(yáng)極氧化致黑 | 鋁，陽(yáng)極氧化致黑 | ||
| 質(zhì)量（平臺(tái)不帶電纜和連接器（公頭）） | 40 | 40 | 克 | |
| 質(zhì)量（平臺(tái)帶電纜和連接器（公頭）） | 160 | 160 | 克 | |
| 電纜長(zhǎng)度 | 1.5 | 1.5 | 米 | 典型值 |
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