精密級線性定位平臺
PILine®平臺尤其適合要求快速精密定位的應(yīng)用。關(guān)機(jī)后,自鎖驅(qū)動器保持平臺位置的機(jī)械穩(wěn)定。因而可大大減少能量消耗和熱量產(chǎn)生。蓄電池驅(qū)動或熱敏型的低占空比應(yīng)用可得益于這些特點(diǎn)。軸的位置通過一個編碼器和一個光學(xué)參考開關(guān)測量,該開關(guān)允許可靠的可重復(fù)運(yùn)動。壓電電機(jī)驅(qū)動器原理及其電氣操作成本低,可定制。
PILine®超聲波壓電電機(jī)
作為PILine®超聲波壓電電機(jī)的一部分,壓電陶瓷促動器上被施加預(yù)載,通過一個耦合元件抵住移動導(dǎo)向轉(zhuǎn)子。在100至200千赫茲的高頻交流電壓的作用下,壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波諧振。促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運(yùn)動。建立的進(jìn)給為幾納米每循環(huán);高頻率帶來高速度。在壓電陶瓷促動器上相對于動輪施加預(yù)載可確保驅(qū)動器在靜止?fàn)顟B(tài)下和關(guān)機(jī)時自鎖。
采用增量編碼器實(shí)現(xiàn)直接位置測量
非接觸式光學(xué)編碼器以的精度直接在運(yùn)動平臺上測量實(shí)際位置,因此非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。
有效
美國號6,765,335B2
歐洲號1267425B1
應(yīng)用領(lǐng)域
顯微操縱、自動化、生物科技、樣本操縱、樣本定位、有限空間內(nèi)的應(yīng)用、真空應(yīng)用可達(dá)10-6百帕(可選).
| 初步數(shù)據(jù)
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