運(yùn)動(dòng)和定位

小型轉(zhuǎn)臺(tái)帶用于閉環(huán)操作的位置傳感器

小型轉(zhuǎn)臺(tái)不帶位置傳感器

小型轉(zhuǎn)臺(tái)，不帶位置傳感器，用于超高真空高達(dá)10^-9 百帕

主動(dòng)軸

θ_Z

θ_Z

θ_Z

旋轉(zhuǎn)范圍

>360

>360

>360

°

集成傳感器

增量編碼器

–

–

傳感器分辨率

0.55

–

–

微弧度

最小位移

2.2

100*

100*

微弧度

典型值

單向重復(fù)精度

3

–

–

速度，開(kāi)環(huán)

70

70

70

度/秒

機(jī)械性能

負(fù)載容量

1

1

1

牛

保持力矩，斷電

6

6

6

毫牛米

最小

力矩

5

5

5

毫牛米

典型值

長(zhǎng)度

22

22

22

毫米

寬度

22

22

22

毫米

高度

10

10

10

毫米

轉(zhuǎn)臺(tái)直徑

22

22

22

毫米

驅(qū)動(dòng)性能

電機(jī)類型

壓電慣性驅(qū)動(dòng)器

壓電慣性驅(qū)動(dòng)器

壓電慣性驅(qū)動(dòng)器

其他

工作溫度范圍

0 到 40

0 到 40

0 到 40

°C

材料

鋁

鋁

鋁

不含電纜的質(zhì)量

15

12

12

克

電纜長(zhǎng)度

1

1

1

米

連接器

Sub-D

Sub-D

Sub-D

推薦控制器

E-871，E-873

E-870

E-870