JJG818-2018磁性、電渦流式覆層厚度測量儀檢定規(guī)程 

Aubat-FC1000檢定裝置：

1、厚度片（板）組

測量重復(fù)性、示值誤差、示值穩(wěn)定性，電源電壓變化對儀器示值的影響。

2、基體（磁性或非磁性）、陶瓷與金屬量塊

表面粗糙度Ra≤0.2 μm、平面度≤1μm、其尺寸≥1.3Φ;

范圍

本規(guī)程適用于磁性(磁阻式和磁力式)覆層厚度測量儀和電渦流式覆層厚度測量儀/厚度儀的**檢定、后續(xù)檢定和使用中檢查。測厚儀中的磁性覆層厚度測量儀一般用于測量磁性金屬基體上的非磁性覆蓋層的厚度;電渦流式覆層厚度測量儀一般用于測量非磁性金屬基體上的非導(dǎo)電覆蓋層的厚度。測厚儀按數(shù)值顯示方式可分為數(shù)字式和指針式兩大類，測量范圍一般為(0~1 250)μm，*大可測至 30 mm，分辨力*高可達(dá) 0.1 μm。

檢定方法：

1. 測量重復(fù)性

選擇測厚儀的*小量程擋，在基體工作面位置附近放置一個(gè)數(shù)值大于 2/3 量程(無量程擋的測厚儀選擇在*小分辨力的量程 2/3 以上范圍) 的厚度片，在同一位置連續(xù)測量 9 次，取 9 次示值中的*大值與*小值之差的 1/3 作為測量重復(fù)性。

2. 示值誤差

按使用說明對測厚儀進(jìn)行零點(diǎn)調(diào)整。在測厚儀的每一量程內(nèi)大致均勻分布三至五點(diǎn)作為受檢點(diǎn) (含*接近量程上、下限的點(diǎn))，選取相應(yīng)厚度和準(zhǔn)確度級(jí)別的厚度片 (對磁力式覆層厚度測量儀需選用厚度板) 依次測量，測量時(shí)使測厚儀測頭盡量垂直對準(zhǔn)厚度片的中間位置(對磁力式覆層厚度測量儀需要水平放置在厚度板上，使測量磁鋼自動(dòng)吸附在厚度板的中間位置)，每個(gè)受檢點(diǎn)連續(xù)測量 5 次，取平均值作為測厚儀在該點(diǎn)的示值。

3. 示值穩(wěn)定性

對交流供電的測厚儀選擇測厚儀的*小量程擋，在基體工作面位置附近放置一個(gè)數(shù)值大于 1/2 量程的厚度片，將測頭裝在檢定臺(tái)上垂直壓向厚度片并使其固定。記下**次讀數(shù)，以后每間隔 15 min 記一次讀數(shù)，連續(xù)記錄 1 h，取5 次讀數(shù)中的*大值與*小值之差作為測量結(jié)果。

4. 電源電壓變化對儀器示值的影響

對交流電壓供電的測厚儀，選擇測厚儀的*小量程擋，在基體工作面位置附近放置一個(gè)數(shù)值大于 1/2 量程的厚度片 (單一量程的測厚儀選擇在*小分辨力的量程 2/3以上范圍)，將可調(diào)式直流穩(wěn)壓電源或可調(diào)式交流變壓器串接在測厚儀的電源端，并用電壓表監(jiān)視。按測厚儀要求調(diào)整電源電壓至測厚儀許可的額定電壓的一10%處，測量厚度片 5 次，取其平均值作為該點(diǎn)在該電壓下的示值，再分別將電源電壓調(diào)整到測厚儀額定工作電壓和測厚儀許可的額定電壓的+10%處，各測量厚度片 5 次，分別取其平均值作為該點(diǎn)在該電壓下的示值，各點(diǎn)示值誤差按公式處理。

5. 厚度片

用數(shù)顯電感式測微儀 (選擇 1 N 測力的測頭，不大于 50 um 的厚度片選用平面測頭) 和三等量塊或光柵測微儀等，在平面工作臺(tái)上用比較法測量或用直接法測量。直接法測量:先將數(shù)顯電感式測微儀或光柵測微儀等對零，再將被測的厚度片放在平面工作臺(tái)上，在距邊緣 5 mm 的測量區(qū)域內(nèi)均勻分布 5 個(gè)點(diǎn)測量，取中心點(diǎn) 5 次示值的平均值作為厚度片的實(shí)際值。

對于沒有與厚度片厚度標(biāo)稱值相差 20 um 以內(nèi)量塊的情況，可以使用量塊組合測量。例如測量標(biāo)稱值為 405 um 的厚度片，先用 1.4 mm 的量塊，讓數(shù)顯式電感測微儀對零，記下此時(shí)的數(shù)值，將 1 mm 的量塊墊在工作臺(tái)上，將厚度片放置在 1 mm 量塊上用數(shù)顯式電感測微儀測量。