JJF(閩)1101-2020在線式CCD圖像尺寸測(cè)量系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范

貨號(hào)：

專用尺寸標(biāo)準(zhǔn)器 AUBAT-1101A
專用槽寬標(biāo)準(zhǔn)器 AUBAT-1101B
專用直徑標(biāo)準(zhǔn)器 AUBAT-1101C
專用角度標(biāo)準(zhǔn)器 AUBAT-1101D

專用尺寸標(biāo)準(zhǔn)器組（專用槽寬標(biāo)準(zhǔn)器、專用尺寸標(biāo)準(zhǔn)器）

標(biāo)稱值5mm/10mm/20mm/40mm,允許偏差±0.01；標(biāo)稱值60mm/80mm,允許誤差±0.02；

專用直徑標(biāo)準(zhǔn)器組

標(biāo)稱值1mm,3mm,5mm,允許偏差±0.01；標(biāo)稱值10mm,20mm，允許誤差±0.02；

專用角度標(biāo)準(zhǔn)器組

標(biāo)稱值30°,45°,60°,75°,允許偏差±0.1；

注: 專用尺寸標(biāo)準(zhǔn)器、專用槽寬尺寸標(biāo)準(zhǔn)器和專用直徑標(biāo)準(zhǔn)器的*小極限標(biāo)準(zhǔn)尺寸、*大極限標(biāo)準(zhǔn)尺寸與基本標(biāo)準(zhǔn)尺寸的技術(shù)要求一致。*大極限標(biāo)準(zhǔn)尺寸通常比基本標(biāo)準(zhǔn)尺寸大0.1mm 或0.05mm，*小極限標(biāo)準(zhǔn)尺寸通常比基本標(biāo)準(zhǔn)尺寸小0.1m 或0.05mm。

校準(zhǔn)項(xiàng)目：

1. 尺寸測(cè)量誤差

(專用尺寸、槽寬、直徑標(biāo)準(zhǔn)器組，U=0.005mm，k=2；專用角度標(biāo)準(zhǔn)器組，U=0.1°，k=2；)

2. 標(biāo)定系數(shù)的重復(fù)性，測(cè)量重復(fù)性，各位置測(cè)量結(jié)果的一致性；

（20mm的專用尺寸標(biāo)準(zhǔn)器，U=0.005mm，k=2）

3. 標(biāo)定系數(shù)的非線性誤差

（5mm、10mm、20mm、40mm、60mm、80mm 的專用尺寸標(biāo)準(zhǔn)器，U=0.005mm，k=2）

計(jì)量特性：

1、標(biāo)定系數(shù)的重復(fù)性不超過0.05%。

2、標(biāo)定系數(shù)的非線性誤差不超過 0.1%。

3、照度均勻性不超過20%。

4、尺寸測(cè)量重復(fù)性不超過0.03mm。

本規(guī)范適用于測(cè)量范圍為(0~100)mm，CCD像素在200萬以上的在線式圖像尺寸測(cè)量系統(tǒng)的校準(zhǔn)。

校準(zhǔn)方法：

1、二維尺寸測(cè)量誤差

根據(jù)測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量范圍合理選擇專用尺寸標(biāo)準(zhǔn)器。用某一專用尺寸標(biāo)準(zhǔn)器進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)，先選用標(biāo)準(zhǔn)器上的基本標(biāo)準(zhǔn)尺寸用于測(cè)量系統(tǒng)的標(biāo)定。標(biāo)定時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)器在 X 軸或Y 軸方向上應(yīng)盡量充滿測(cè)量視場(chǎng)，比例應(yīng)不低于 80%。然后，在軟件系統(tǒng)中輸入標(biāo)定系數(shù)值，并測(cè)量該標(biāo)準(zhǔn)器上的*大極限標(biāo)準(zhǔn)尺寸和*小極限標(biāo)準(zhǔn)尺寸，連續(xù)測(cè)量 3 次，測(cè)得結(jié)果的平均值分別與對(duì)應(yīng)尺寸標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較，計(jì)算各自的尺寸測(cè)量誤差。校準(zhǔn)時(shí)，在垂直于 CCD 光軸的測(cè)量臺(tái)面上，專用尺寸標(biāo)準(zhǔn)器的標(biāo)準(zhǔn)尺寸應(yīng)分別平行于X 軸和Y軸方向。槽寬尺寸測(cè)量誤差校準(zhǔn)與二維尺寸測(cè)量誤差校準(zhǔn)的方法類似。

2、直徑尺寸測(cè)量誤差

在線式CCD圖像尺寸測(cè)量系統(tǒng)直徑測(cè)量誤差的校準(zhǔn)采用專用直徑標(biāo)準(zhǔn)器包括標(biāo)準(zhǔn)圓孔和標(biāo)準(zhǔn)圓柱。校準(zhǔn)時(shí)，用某一專用直徑標(biāo)準(zhǔn)器上的基本標(biāo)準(zhǔn)尺寸進(jìn)行標(biāo)定，在軟件系統(tǒng)中輸入標(biāo)定系數(shù)值，然后，測(cè)量專用直徑標(biāo)準(zhǔn)器上的*大極限標(biāo)準(zhǔn)尺寸和*小極限標(biāo)準(zhǔn)尺寸，連續(xù)測(cè)量3 次，測(cè)得結(jié)果的平均值分別與對(duì)應(yīng)直徑標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較計(jì)算各自的直徑測(cè)量誤差。

3、校準(zhǔn)時(shí)，對(duì)某一專用角度標(biāo)準(zhǔn)器上的*大標(biāo)準(zhǔn)角度、基本標(biāo)準(zhǔn)角度和*小標(biāo)準(zhǔn)角度連續(xù)測(cè)量 3 次，測(cè)得結(jié)果的平均值分別與對(duì)應(yīng)角度標(biāo)準(zhǔn)值進(jìn)行比較，計(jì)算各自的角度測(cè)量誤差。選取其中*大的角度測(cè)量誤差值作為角度測(cè)量誤差。