產(chǎn)品介紹：

名稱：小巧型可編程勻膠機

型號：HC120SE

應用： HC120SE小巧型可編程勻膠機，被設(shè)計為涂膠處理基片尺寸為Ø5mm~120mm或?qū)姆狡褂霉I(yè)級直流馬達和PLC控制，4.3英寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。

產(chǎn)品概述：

勻膠機（旋涂儀）制膜的原理：在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高質(zhì)量薄膜涂層的制備。

HC120SE可編程勻膠機，被設(shè)計為涂膠處理基片尺寸為Ø5mm~120mm或?qū)姆狡褂霉I(yè)級直流馬達和PLC控制，4.3英寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。該型號勻膠機在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關(guān)領(lǐng)域。

HC120SE小巧型勻膠機設(shè)計標準為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進出，具有優(yōu)異的性價比。亦可提供分體式設(shè)計，進行嵌入式安裝，與手套箱進行配合。

產(chǎn)品特點：

• 設(shè)計緊湊，可輕松放置在手套箱內(nèi)使用；

• 316不銹鋼材料旋涂內(nèi)腔，耐腐蝕；采用分體式結(jié)構(gòu)，易清潔和移動；

• 4.3英寸彩色觸屏控制，易學易用；可精確設(shè)置實驗參數(shù)，運行狀態(tài)實時顯示；

• 采用高級PLC程序控制，旋涂速度、旋涂時間、加速度等工藝參數(shù)可編程，實現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂；

• 具有電機進膠保護功能；管路易疏通結(jié)構(gòu)設(shè)計；

• 轉(zhuǎn)速、加速度、時間、真空泵關(guān)/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上操作。

• 可設(shè)置用戶密碼保護功能；

技術(shù)參數(shù)：

• 適用晶元尺寸范圍：Ø 5~120mm；

• 旋涂速度：100~12000rpm；轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；

• 旋涂加速度：100-30000rpm/s；

• 旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

• 內(nèi)腔直徑200mm，內(nèi)腔采用的凹面防濺設(shè)計；

• 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程10組程序，每組程序10步；

• 電源輸入：AC200-230V