
產(chǎn)品介紹: 名稱:可編程勻膠機(jī) 型號:HC300SE 應(yīng)用:HC300SE可編程勻膠機(jī),是專業(yè)為12英寸及以上晶圓旋涂制膜設(shè)計(jì)(尺寸向下兼容)。采用高效、節(jié)省空間的設(shè)計(jì);全彩觸屏操作;高級PLC控制;的化學(xué)兼容性;高精度,高重復(fù)性。 產(chǎn)品概述: 勻膠機(jī)旋涂儀(spin coater)是一種用于制備高質(zhì)量均勻薄膜的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。它的工作原理是將膠液滴加到旋轉(zhuǎn)的襯底表面上,勻膠機(jī)高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生離心力使膠液均勻分布在襯底表面,形成一層納米級或微米級的均勻薄膜。 HC300SE勻膠機(jī)旋涂儀,采用高效、節(jié)省空間的設(shè)計(jì);全彩觸摸屏操作;高級 PLC 控制; HDPE旋涂內(nèi)腔,的化學(xué)兼容性;伺服工業(yè)電機(jī),高精度,高重復(fù)性,適合晶元尺寸范圍Ø5-Ø300mm。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。 產(chǎn)品特點(diǎn): ● 設(shè)計(jì)緊湊,占地面積最小化; ● HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔,耐腐蝕,具有的化學(xué)兼容性; ● 全彩色8英寸觸摸屏,易學(xué)易用,方便操作; ● 高級PLC自動(dòng)程序控制,可快速旋涂和多步編程旋涂,運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示; ● 采用電機(jī)異位驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),具有電機(jī)防進(jìn)膠保護(hù)功能; ● 防進(jìn)膠設(shè)計(jì),管道易疏通設(shè)計(jì)。保護(hù)旋轉(zhuǎn)電機(jī)不進(jìn)膠,意外進(jìn)膠易于疏通; ● 旋轉(zhuǎn)速度、加速度、時(shí)間、真空泵關(guān)/停、自動(dòng)吸片、自動(dòng)釋放均可在觸屏上操作; ● 真空安全檢測互鎖,當(dāng)真空度不足時(shí),設(shè)備自動(dòng)停止運(yùn)行,防止飛片,確保安全。此功能可以在“設(shè)置”中關(guān)閉; ● 蓋子安全互鎖,當(dāng)蓋子開啟時(shí),設(shè)備自動(dòng)停止運(yùn)行,并彈出提示,確保安全。此功能可以在“設(shè)置”中關(guān)閉; ● 真空度實(shí)時(shí)數(shù)顯,真空壓力可調(diào)節(jié); ● 帶4路自動(dòng)點(diǎn)膠接口,最多可升級4路自動(dòng)點(diǎn)膠; ● 可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能; 技術(shù)參數(shù): ● 適用晶元尺寸范圍:Ø 5~300mm(更大尺寸可定制); ● 旋涂速度:0~6000rpm(更高速度可選); ● 轉(zhuǎn)速分辨率:0.1rpm; ● 旋涂加速度:0-30000rpm/s; ● 旋涂時(shí)間:3000s;旋涂時(shí)間精度:0.1s; ● 內(nèi)腔直徑427mm,內(nèi)腔采用的凹面防濺設(shè)計(jì); ● 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序100步; ● 設(shè)備尺寸:515mmX515mmX350mm(長寬高); ● 重量:65Kg; ● 功率要求:1550W; ● HCV2000無油真空泵,真空度-92KPa,抽氣速度200L/min; ● 電源輸入:AC200-230V 更多產(chǎn)品咨詢,請聯(lián)系ANALYSIS(安賽斯)工作人員,為您提供更詳細(xì)的產(chǎn)品資料或選型服務(wù)。TEL: |
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