產(chǎn)品介紹：

名稱：可編程勻膠機(jī)

型號：HC300SE

應(yīng)用：HC300SE可編程勻膠機(jī)，是專業(yè)為12英寸及以上晶圓旋涂制膜設(shè)計(jì)（尺寸向下兼容）。采用高效、節(jié)省空間的設(shè)計(jì)；全彩觸屏操作；高級PLC控制；的化學(xué)兼容性；高精度，高重復(fù)性。

產(chǎn)品概述：

勻膠機(jī)旋涂儀（spin coater）是一種用于制備高質(zhì)量均勻薄膜的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。它的工作原理是將膠液滴加到旋轉(zhuǎn)的襯底表面上，勻膠機(jī)高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生離心力使膠液均勻分布在襯底表面，形成一層納米級或微米級的均勻薄膜。

HC300SE勻膠機(jī)旋涂儀，采用高效、節(jié)省空間的設(shè)計(jì)；全彩觸摸屏操作；高級 PLC 控制； HDPE旋涂內(nèi)腔，的化學(xué)兼容性；伺服工業(yè)電機(jī)，高精度，高重復(fù)性，適合晶元尺寸范圍Ø5-Ø300mm。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

● 設(shè)計(jì)緊湊，占地面積最小化；

● HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔，耐腐蝕，具有的化學(xué)兼容性；

● 全彩色8英寸觸摸屏，易學(xué)易用，方便操作；

● 高級PLC自動(dòng)程序控制，可快速旋涂和多步編程旋涂，運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示；

● 采用電機(jī)異位驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，具有電機(jī)防進(jìn)膠保護(hù)功能；

● 防進(jìn)膠設(shè)計(jì)，管道易疏通設(shè)計(jì)。保護(hù)旋轉(zhuǎn)電機(jī)不進(jìn)膠，意外進(jìn)膠易于疏通；

● 旋轉(zhuǎn)速度、加速度、時(shí)間、真空泵關(guān)/停、自動(dòng)吸片、自動(dòng)釋放均可在觸屏上操作；

● 真空安全檢測互鎖，當(dāng)真空度不足時(shí)，設(shè)備自動(dòng)停止運(yùn)行，防止飛片，確保安全。此功能可以在“設(shè)置”中關(guān)閉；

● 蓋子安全互鎖，當(dāng)蓋子開啟時(shí)，設(shè)備自動(dòng)停止運(yùn)行，并彈出提示，確保安全。此功能可以在“設(shè)置”中關(guān)閉；

● 真空度實(shí)時(shí)數(shù)顯，真空壓力可調(diào)節(jié)；

● 帶4路自動(dòng)點(diǎn)膠接口，最多可升級4路自動(dòng)點(diǎn)膠；

● 可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能；

技術(shù)參數(shù)：

● 適用晶元尺寸范圍：Ø 5~300mm（更大尺寸可定制）；

● 旋涂速度：0~6000rpm（更高速度可選）；

● 轉(zhuǎn)速分辨率：0.1rpm；

● 旋涂加速度：0-30000rpm/s；

● 旋涂時(shí)間：3000s；旋涂時(shí)間精度：0.1s；

● 內(nèi)腔直徑427mm，內(nèi)腔采用的凹面防濺設(shè)計(jì)；

● 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序100步；

● 設(shè)備尺寸：515mmX515mmX350mm(長寬高)；

● 重量：65Kg；

● 功率要求：1550W；

● HCV2000無油真空泵，真空度-92KPa，抽氣速度200L/min；

● 電源輸入：AC200-230V

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