
產(chǎn)品介紹:
名稱(chēng):可編程勻膠機(jī)
型號(hào):HC220SE
應(yīng)用:HC220SE可編程勻膠機(jī),是專(zhuān)業(yè)為8英寸及以下晶圓旋涂制膜設(shè)計(jì)(尺寸向下兼容)。采用高效、節(jié)省空間的設(shè)計(jì);全彩觸屏操作;高級(jí)PLC控制;的化學(xué)兼容性;高精度,高重復(fù)性。
產(chǎn)品概述:
勻膠機(jī)旋涂?jī)x(spin coater)是一種用于制備高質(zhì)量均勻薄膜的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。它的工作原理是將膠液滴加到旋轉(zhuǎn)的襯底表面上,勻膠機(jī)高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生離心力使膠液均勻分布在襯底表面,形成一層納米級(jí)或微米級(jí)的均勻薄膜。
HC220SE勻膠機(jī)旋涂?jī)x,采用高效、節(jié)省空間的設(shè)計(jì);全彩觸摸屏操作;高級(jí) PLC 控制; HDPE旋涂?jī)?nèi)腔,的化學(xué)兼容性;伺服工業(yè)電機(jī),高精度,高重復(fù)性,適合晶元尺寸范圍Ø5-Ø220mm??捎糜谖㈦娮?、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。
產(chǎn)品特點(diǎn):
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設(shè)計(jì)緊湊,占地面積最小化;
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HDPE高分子材料旋涂?jī)?nèi)腔,耐腐蝕,具有的化學(xué)兼容性;
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全彩色8英寸觸摸屏,易學(xué)易用,方便操作;
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高級(jí)PLC自動(dòng)程序控制,可快速旋涂和多步編程旋涂,運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示;
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采用電機(jī)異位驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),具有電機(jī)防進(jìn)膠保護(hù)功能;
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防進(jìn)膠設(shè)計(jì),管道易疏通設(shè)計(jì)。保護(hù)旋轉(zhuǎn)電機(jī)不進(jìn)膠,意外進(jìn)膠易于疏通;
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旋轉(zhuǎn)速度、加速度、時(shí)間、真空泵關(guān)/停、自動(dòng)吸片、自動(dòng)釋放均可在觸屏上操作;
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真空安全檢測(cè)互鎖,當(dāng)真空度不足時(shí),設(shè)備自動(dòng)停止運(yùn)行,防止飛片,確保安全。此功能可以在“設(shè)置”中關(guān)閉;
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蓋子安全互鎖,當(dāng)蓋子開(kāi)啟時(shí),設(shè)備自動(dòng)停止運(yùn)行,并彈出提示,確保安全。此功能可以在“設(shè)置”中關(guān)閉;
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真空度實(shí)時(shí)數(shù)顯,真空壓力可調(diào)節(jié);
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帶4路自動(dòng)點(diǎn)膠接口,最多可升級(jí)4路自動(dòng)點(diǎn)膠;
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可設(shè)置用戶(hù)密碼保護(hù)功能;
技術(shù)參數(shù):
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適用晶元尺寸范圍:Ø 5~220mm(更大尺寸可定制);
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旋涂速度:0~10000rpm(更高速度可選);
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轉(zhuǎn)速分辨率:0.1rpm;
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旋涂加速度:0-30000rpm/s;
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旋涂時(shí)間:3000s;旋涂時(shí)間精度:0.1s;
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內(nèi)腔直徑258mm,內(nèi)腔采用的凹面防濺設(shè)計(jì);
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具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序100步;
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設(shè)備尺寸:445mmX300mmX300mm(長(zhǎng)寬高);
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重量:20Kg;
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功率要求:800W;
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HCV500無(wú)油真空泵,真空度-92KPa,抽氣速度90L/min;
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電源輸入:AC200-230V
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