產(chǎn)品介紹：

名稱：可編程勻膠機(jī)

型號：HC220SE

應(yīng)用：HC220SE可編程勻膠機(jī)，是專業(yè)為8英寸及以下晶圓旋涂制膜設(shè)計（尺寸向下兼容）。采用高效、節(jié)省空間的設(shè)計；全彩觸屏操作；高級PLC控制；的化學(xué)兼容性；高精度，高重復(fù)性。

產(chǎn)品概述：

勻膠機(jī)旋涂儀（spin coater）是一種用于制備高質(zhì)量均勻薄膜的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。它的工作原理是將膠液滴加到旋轉(zhuǎn)的襯底表面上，勻膠機(jī)高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生離心力使膠液均勻分布在襯底表面，形成一層納米級或微米級的均勻薄膜。

HC220SE勻膠機(jī)旋涂儀，采用高效、節(jié)省空間的設(shè)計；全彩觸摸屏操作；高級 PLC 控制； HDPE旋涂內(nèi)腔，的化學(xué)兼容性；伺服工業(yè)電機(jī)，高精度，高重復(fù)性，適合晶元尺寸范圍Ø5-Ø220mm?？捎糜谖㈦娮?、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• 設(shè)計緊湊，占地面積最小化；

• HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔，耐腐蝕，具有的化學(xué)兼容性；

• 全彩色8英寸觸摸屏，易學(xué)易用，方便操作；

• 高級PLC自動程序控制，可快速旋涂和多步編程旋涂，運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時顯示；

• 采用電機(jī)異位驅(qū)動結(jié)構(gòu)，具有電機(jī)防進(jìn)膠保護(hù)功能；

• 防進(jìn)膠設(shè)計，管道易疏通設(shè)計。保護(hù)旋轉(zhuǎn)電機(jī)不進(jìn)膠，意外進(jìn)膠易于疏通；

• 旋轉(zhuǎn)速度、加速度、時間、真空泵關(guān)/停、自動吸片、自動釋放均可在觸屏上操作；

• 真空安全檢測互鎖，當(dāng)真空度不足時，設(shè)備自動停止運(yùn)行，防止飛片，確保安全。此功能可以在“設(shè)置”中關(guān)閉；

• 蓋子安全互鎖，當(dāng)蓋子開啟時，設(shè)備自動停止運(yùn)行，并彈出提示，確保安全。此功能可以在“設(shè)置”中關(guān)閉；

• 真空度實(shí)時數(shù)顯，真空壓力可調(diào)節(jié)；

• 帶4路自動點(diǎn)膠接口，最多可升級4路自動點(diǎn)膠；

• 可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能；

技術(shù)參數(shù)：

• 適用晶元尺寸范圍：Ø 5~220mm（更大尺寸可定制）；

• 旋涂速度：0~10000rpm（更高速度可選）；

• 轉(zhuǎn)速分辨率：0.1rpm；

• 旋涂加速度：0-30000rpm/s；

• 旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；

• 內(nèi)腔直徑258mm，內(nèi)腔采用的凹面防濺設(shè)計；

• 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序100步；

• 設(shè)備尺寸：445mmX300mmX300mm(長寬高)；

• 重量：20Kg；

• 功率要求：800W；

• HCV500無油真空泵，真空度-92KPa，抽氣速度90L/min；

• 電源輸入：AC200-230V

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