單腔立式甩干機-華林科納
南通華林科納-單腔立式甩干機系統(tǒng)應(yīng)用于各種清洗和干燥工藝
設(shè)備名稱 | 南通華林科納-單腔立式甩干機 |
優(yōu) 點 | 清洗系統(tǒng)應(yīng)用于各種清洗和干燥工藝 > 不同配置(可放置臺面操作的設(shè)備、單立、雙腔) > 適用于晶圓尺寸至200mm > 的占地,設(shè)備帶有滾輪可移動 > 的可靠性 > 的模塊化結(jié)構(gòu) > 極其便于維修 > 易于使用和操作 |
一般特征 | 適用于晶圓直徑至200mm > 25片晶圓單盒工藝 > 標準的高邊和低邊花籃 > 可選內(nèi)置電阻率檢測傳感器來控制晶圓的清洗工藝 > 用冷或熱的N2輔助晶圓干燥 > 離心頭容易更換
圖形化的界面: > 基于PLC的彩色5.7“的觸摸屏 > 可以編輯10多個菜單,每個菜單可有10步 > 多等級用戶密
去靜電裝置安裝于工藝腔室區(qū) > 去離子水回收 > 電阻率監(jiān)測裝置 > 機械手自動加載 > 可放置臺面操作的設(shè)備、單立、雙腔 > SECS/GEM > 去離子水加熱系統(tǒng) > 底座置放不銹鋼滾輪 > 溶劑滅火裝置 > 適用特殊設(shè)計的花籃 |
設(shè)備制造商 | 南通華林科納半導體設(shè)備有限公司 ; |
單腔立式甩干機

















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