雙腔甩干機
1. 應用范圍:
l 本機臺適用於半導體2”4”6”8”晶圓(含)以下之旋乾製程.
l 設備為垂直式雙槽體機臺，可同Run 50片.
l 可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).
l 具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統(tǒng)設計, 高穩(wěn)定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.
l 高潔淨設計,微塵控制於每次運轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下.
2. 操作流程
3. 圖示
4. 規(guī)格
l 機臺內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件
l 直流式馬達: DC無刷馬達750W
l 真空負封設計，隔離槽外污染
l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μm
l 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率< 200="" °c="" ±10%="">
l 壓力感測保護(加熱器空燒保護)
l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)
l Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣
l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨
l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子，並按客戶需求使用訂做
l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨，並做動態(tài)平衡校正
l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂
故障碼功能: 門鎖警告，氣體不足，傳動異常警告
5. 電控系統(tǒng)
l 控制器操作介面: 7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen，整合介面) 。
l 軟體功能
? 編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/，皆可從操作螢幕上修改。
? 儲存能力
記憶模組:參數(shù)記憶,配方設定。
6. 廠務需求
l 電力需求: AC220V單向 40A (2組電源)
l DI:3/8” PFA Tube, 30~40 psi.
l N2:1/2” PFA Tube, 30~40 psi.
l CDA :1/4” Tube, 30~50psi.
l Drain : 1-1/2” PVC Tube.
l 尺寸:480mm(W)x800mm(L)x1800mm(H)
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